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公开(公告)号：KR101789548B1
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：KR1020127018871
申请日：2011-01-07
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
IPC分类号： C23C14/08 , C23C14/24 , H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/0749 , C04B35/626 , C04B35/638
CPC分类号： H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
摘要： 증착용산화물태블릿(산화물증착재)과, 이것을사용하여제조되는증착박막및 태양전지를제공하는것을목적으로하고, 상기태블릿은산화인듐을주성분으로하고세륨을포함하고소결후의표면연삭가공이되어있지않은소결체에의해구성되어있고, 소결체표면으로부터 5㎛의깊이까지의표면층에있어서의세륨함유량을 Ce/In 원자수비(Comp)로하고소결체전체에있어서의세륨함유량의평균값을 Ce/In 원자수비(Comp)로한 경우, Comp/Comp=0.9∼1.1인것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020170104655A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：KR1020177024840
申请日：2011-01-07
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
IPC分类号： C23C14/08 , C23C14/24 , H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/0749 , C04B35/626 , C04B35/638
CPC分类号： H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
摘要： 증착용산화물태블릿(산화물증착재)과, 이것을사용하여제조되는증착박막및 태양전지를제공하는것을목적으로하고, 상기태블릿은산화인듐을주성분으로하고세륨을포함하고소결후의표면연삭가공이되어있지않은소결체에의해구성되어있고, 소결체표면으로부터 5㎛의깊이까지의표면층에있어서의세륨함유량을 Ce/In 원자수비(Comp)로하고소결체전체에있어서의세륨함유량의평균값을 Ce/In 원자수비(Comp)로한 경우, Comp/Comp=0.9∼1.1인것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020120112599A
公开(公告)日：2012-10-11
申请号：KR1020127018871
申请日：2011-01-07
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
IPC分类号： C23C14/08 , C23C14/24 , H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/0749 , C04B35/626 , C04B35/638
CPC分类号： H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
摘要： 증착용 산화물 태블릿(산화물 증착재)과, 이것을 사용하여 제조되는 증착 박막 및 태양전지를 제공하는 것을 목적으로 하고, 상기 태블릿은 산화인듐을 주성분으로 하고 세륨을 포함하고 소결 후의 표면 연삭 가공이 되어 있지 않은 소결체에 의해 구성되어 있고, 소결체 표면으로부터 5㎛의 깊이까지의 표면층에 있어서의 세륨 함유량을 Ce/In 원자수비(Comp
S )로 하고 소결체 전체에 있어서의 세륨 함유량의 평균값을 Ce/In 원자수비(Comp
A )로 한 경우, Comp
S /Comp
A =0.9?1.1인 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR101805548B1
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：KR1020177024840
申请日：2011-01-07
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
IPC分类号： C23C14/08 , C23C14/24 , H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/0749 , C04B35/626 , C04B35/638
CPC分类号： H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
摘要： 증착용산화물태블릿(산화물증착재)과, 이것을사용하여제조되는증착박막및 태양전지를제공하는것을목적으로하고, 상기태블릿은산화인듐을주성분으로하고세륨을포함하고소결후의표면연삭가공이되어있지않은소결체에의해구성되어있고, 소결체표면으로부터 5㎛의깊이까지의표면층에있어서의세륨함유량을 Ce/In 원자수비(Comp)로하고소결체전체에있어서의세륨함유량의평균값을 Ce/In 원자수비(Comp)로한 경우, Comp/Comp=0.9∼1.1인것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020130008023A
公开(公告)日：2013-01-21
申请号：KR1020127023103
申请日：2011-02-21
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
CPC分类号： C23C14/30 , C01G19/00 , C01P2004/61 , C01P2006/62 , C04B35/01 , C04B35/62625 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/604 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/786 , C23C14/086 , C23C14/32
摘要： 본 발명의 산화물 증착재는, 산화인듐을 주성분으로 하고, Sn/In 원자수비로 0.001～0.614의 주석을 포함하는 산화물 소결체에 의해 구성되며, CIE1976 표색계에 있어서의 L
* 값이 54～75인 것을 특징으로 한다. L
* 값이 54～75인 상기 산화물 증착재는 최적의 산소량을 갖기 때문에, 성막 진공조로의 산소 가스 도입량이 적어도 저저항이고 가시역에 있어서의 고투과성의 투명 도전막을 진공증착법으로 제조할 수 있고, 산소 가스의 도입량이 적기 때문에 막과 증착재와의 조성차를 작게 할 수 있어, 양산시의 막 조성의 변동이나 특성의 변동도 저감하는 것이 가능하게 된다.摘要翻译： 沉积的氧化物材料，主要由本发明的氧化铟，并且由0.001的氧化物烧结含锡体配置为0.614，为的Sn / In原子数比，L CIE1976比色体系
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公开(公告)号：KR1020170104654A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：KR1020177024839
申请日：2011-01-07
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
IPC分类号： C23C14/08 , C23C14/24 , H01L31/0224 , H01L31/0392 , H01L31/0749 , C04B35/626 , C04B35/638
CPC分类号： H01L31/022466 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/638 , C04B2235/3229 , C04B2235/3286 , C04B2235/656 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/75 , C04B2235/77 , C23C14/086 , C23C14/24 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521 , Y10T428/21
摘要： 증착용산화물태블릿(산화물증착재)과, 이것을사용하여제조되는증착박막및 태양전지를제공하는것을목적으로하고, 상기태블릿은산화인듐을주성분으로하고세륨을포함하고소결후의표면연삭가공이되어있지않은소결체에의해구성되어있고, 소결체표면으로부터 5㎛의깊이까지의표면층에있어서의세륨함유량을 Ce/In 원자수비(Comp)로하고소결체전체에있어서의세륨함유량의평균값을 Ce/In 원자수비(Comp)로한 경우, Comp/Comp=0.9∼1.1인것을특징으로한다.
摘要翻译： 沉积龙山货物片剂（氧化物蒸镀材料），其目的是提供一种沉积膜，并通过使用本制造的太阳能电池，并且该片剂不包含铈作为烧结后的主氧化物组分铟和表面磨削 由烧结体构成，作为铈的Ce / kkajiui深度的5㎛表面层的从烧结体，并在整个烧结体中的Ce的铈含量的/平均值在原子比的表面上（该内容在原子比（对比例）比较 ），Comp / Comp = 0.9至1.1。
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公开(公告)号：KR101322800B1
公开(公告)日：2013-10-29
申请号：KR1020127023103
申请日：2011-02-21
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
CPC分类号： C23C14/30 , C01G19/00 , C01P2004/61 , C01P2006/62 , C04B35/01 , C04B35/62625 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/604 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/786 , C23C14/086 , C23C14/32
摘要： 본 발명의 산화물 증착재는, 산화인듐을 주성분으로 하고, Sn/In 원자수비로 0.001∼0.614의 주석을 포함하는 산화물 소결체에 의해 구성되며, CIE1976 표색계에 있어서의 L
* 값이 54∼75인 것을 특징으로 한다. L
* 값이 54∼75인 상기 산화물 증착재는 최적의 산소량을 갖기 때문에, 성막 진공조로의 산소 가스 도입량이 적어도 저저항이고 가시역에 있어서의 고투과성의 투명 도전막을 진공증착법으로 제조할 수 있고, 산소 가스의 도입량이 적기 때문에 막과 증착재와의 조성차를 작게 할 수 있어, 양산시의 막 조성의 변동이나 특성의 변동도 저감하는 것이 가능하게 된다.-
8.发明授权
公开(公告)号：KR101301662B1
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：KR1020070024254
申请日：2007-03-13
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
IPC分类号： H01B1/08
CPC分类号： H01B1/08 , C04B35/453 , C04B35/457 , C04B35/6261 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3251 , C04B2235/3256 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/664 , C04B2235/80
摘要： 본 발명은 높은 DC 전력을 투입하여도 아크나 균열이 발생되지 않고 스퍼터링될 수 있는 타겟으로서 유용하고 실질적으로 아연, 주석 및 산소를 포함하는 산화물 소결체, 산화물 투명 도전막을 고속으로 성막하는 제조방법, 및 내약품성이 우수한 산화물 투명 도전막을 제공한다.
실질적으로 아연, 주석 및 산소를 포함하는 산화물 소결체로서, 주석을 0.23 ~ 0.50의 Sn/(Zn + Sn) 원자수비로 포함하고, 주로 산화아연상과 적어도 1 종의 주석산아연 화합물상으로 구성되거나, 적어도 1 종의 주석산아연 화합물상으로 구성된다; 주석산아연 화합물 분말 또는 산화주석 분말과 산화아연 분말의 혼합분말을 포함하는 원료분말을 수계 용매에 배합하여 제조된 슬러리를 15 시간 이상 혼합한 후, 고액분리, 건조, 조립화하고, 그런 다음, 상기 조립을 금형에 넣어 성형한 후 얻어진 성형물을 소성분위기 중 1300 ~ 500℃에서 15 시간 이상 소결하여 산화물 소결체를 제조하는 방법을 제공한다.-
9.发明公开
公开(公告)号：KR1020070093840A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：KR1020070024254
申请日：2007-03-13
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
IPC分类号： H01B1/08
CPC分类号： H01B1/08 , C04B35/453 , C04B35/457 , C04B35/6261 , C04B2235/3217 , C04B2235/3232 , C04B2235/3251 , C04B2235/3256 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/3293 , C04B2235/3294 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/6562 , C04B2235/6565 , C04B2235/6567 , C04B2235/6585 , C04B2235/6586 , C04B2235/664 , C04B2235/80
摘要： An oxide sintered body is provided to form film in a stable manner and at high speed without generating any arc or crack under supply of high DC power. An oxide sintered body comprises substantially zinc, tin, and oxygen. The oxide sintered body contains the tin in an atomic number ratio(Sn/(Zn+Sn)) of 0.23-0.50 and consists of mainly a zinc oxide phase and at least one zinc stannate compound phase, or consists of at least one zinc stannate compound phase. The oxide sintered body does not substantially include a tin oxide crystal phase and a tin oxide crystal phase containing zinc as a solid solution. The oxide sintered body has a resistivity of 5kФcm or less.
摘要翻译： 提供氧化物烧结体，以高速度稳定地形成膜，而不会在高直流电源的供给下产生任何电弧或裂纹。 氧化物烧结体基本上由锌，锡和氧组成。 氧化物烧结体含有原子序数比（Sn /（Zn + Sn））为0.23-0.50的锡，主要由氧化锌相和至少一种锡酸锌化合物相组成，或者由至少一种锡酸锌 复合相。 氧化物烧结体基本上不包含氧化锡晶相和含有锌作为固溶体的氧化锡晶相。 氧化物烧结体的电阻率为5kΩ·cm以下。
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公开(公告)号：KR100737494B1
公开(公告)日：2007-07-09
申请号：KR1020050034356
申请日：2005-04-26
申请人： 스미토모 긴조쿠 고잔 가부시키가이샤
CPC分类号： C23C14/08 , C04B35/01 , C04B35/6261 , C04B35/62625 , C04B35/62655 , C04B35/64 , C04B37/026 , C04B2235/3258 , C04B2235/3284 , C04B2235/3286 , C04B2235/408 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/656 , C04B2235/6584 , C04B2235/6586 , C04B2235/664 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/96 , C04B2237/12 , C04B2237/124 , C04B2237/34 , C04B2237/403 , C23C14/3414 , Y10S428/918
摘要： 본 발명은 비저항이 작고, 막의 내부 응력의 절대값이 낮고, 가시광영역의 투과율이 높은 비정질의 투명 도전성 박막 및 그 투명 도전성 박막을 제조하기 위한 산화물 소결체와, 그것으로부터 얻어지는 스퍼터링 타겟을 제공하는 것이다.
평균 입자지름이 1㎛ 이하인 In
2 O
3 분말, WO
3 분말, ZnO 분말을 텅스텐이 W/In 원자수비로 0.004 내지 0.023의 비율, 아연이 Zn/In 원자수비로 0.004 내지 0.100의 비율이 되도록 조합하고, 10 내지 30시간 혼합하여 얻어진 분말을 평균 입자지름 20 내지 150㎛가 될 때까지 펠릿화(造粒)하고, 그 펠릿가루를 냉간 정수압 프레스로 2 내지 5 ton/㎠의 압력을 가하여 성형하고, 그 성형체를 노 내 용적 0.1㎥당 50 내지 250 리터/분의 비율로 소결로 내의 대기에 산소를 도입하는 분위기에서 1200 내지 1500℃로 10 내지 40시간 소결하여, 산화물 소결체를 얻는다.
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