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公开(公告)号:KR101808204B1
公开(公告)日:2017-12-12
申请号:KR1020137009371
申请日:2011-08-31
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor: 바흐라흐,로버트,제트. , 왕,콘니,피. , 로파틴,세르게이,디. , 볼란디,후만 , 바바얀츠,루벤 , 브라운,칼,엠. , 쿠트니,마이클,씨. , 올가도,도날드,제이.,케이.
IPC: H01M4/04 , H01M4/1391 , H01M4/1397 , B05B7/14 , B05B15/12
CPC classification number: H01M4/0419 , H01M10/0404
Abstract: 일실시예에서, 가요성전도성기판의대향하는측면들상에양극성또는음극성의활성물질을동시에증착하기위한장치가제공된다. 장치는, 하나또는둘 이상의프로세싱영역들을규정하는챔버본체를포함하고, 프로세싱영역내에서가요성전도성기판이양면분사증착프로세스에노출되고, 하나또는둘 이상의프로세싱영역들은가요성전도성기판의일부의대향하는측면들상에양극성또는음극성의활성물질을동시에분사하기위한제 1 분사증착영역과제 2 분사증착영역으로각각더 분할되며, 제 1 및제 2 분사증착영역들은각각가요성전도성기판을향해활성화된물질을전달하기위한분사디스펜서카트리지및 가동식수집셔터를포함한다.
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公开(公告)号:KR1020140038339A
公开(公告)日:2014-03-28
申请号:KR1020137009371
申请日:2011-08-31
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor: 바흐라흐,로버트,제트. , 왕,콘니,피. , 로파틴,세르게이,디. , 볼란디,후만 , 바바얀츠,루벤 , 브라운,칼,엠. , 쿠트니,마이클,씨. , 올가도,도날드,제이.,케이.
IPC: H01M4/04 , H01M4/1391 , H01M4/1397 , B05B7/14 , B05B15/12
CPC classification number: H01M4/0419 , H01M10/0404 , H01M4/04 , B05B7/14 , H01M4/1391 , H01M4/1397
Abstract: 일 실시예에서, 가요성 전도성 기판의 반대되는 측면들 상에 양극성 또는 음극성의 활성 물질을 동시에 증착하기 위한 장치가 제공된다. 상기 장치는, 하나 또는 그 초과의 프로세싱 영역들을 규정하는 챔버 본체로서, 상기 프로세싱 영역 내에서 상기 가요성 전도성 기판이 양면 분사 증착 프로세스에 노출되고, 상기 하나 또는 그 초과의 프로세싱 영역들은 상기 가요성 전도성 기판의 일부의 반대되는 측면들 상에 상기 양극성 또는 음극성의 활성 물질을 동시에 분사하기 위한 제 1 분사 증착 영역과 제 2 분사 증착 영역으로 각각 더 분할되는, 챔버 본체; 및 가동식 수집 셔터를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 분사 증착 영역들은 각각 상기 가요성 전도성 기판을 향해 활성화된 물질을 전달하기 위한 분사 디스펜서 카트리지를 포함한다.
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公开(公告)号:KR101741447B1
公开(公告)日:2017-05-30
申请号:KR1020137007331
申请日:2010-12-01
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor: 샹,콴유안 , 양,루 , 브라운,칼,엠. , 올가도,도날드,제이.,케이. , 페베니토,빅터 , 볼란디,후만 , 이시카와,테츠야 , 바치라치,로버트,제트. , 첸,리앙-유
CPC classification number: H01G11/50 , H01G11/06 , H01M4/0419 , H01M10/04 , Y02E60/13
Abstract: 박막배터리의전기화학적층을형성하기위한방법및 장치가제공된다. 전기화학적활성금속들을포함하는액체전구체혼합물이산소와반응하여전기화학적활성금속산화물들을형성하고, 전기화학적활성금속산화물들은기판상에층으로증착된다. 반응으로의에너지입력을제어하고기판상에증착된결정들사이에전도도및 부착을제공하기위해탄소가혼합물로첨가될수 있다. 전구체들의증착결정들로의변환은 2-스테이지프로세스에서달성될수 있다.
Abstract translation: 提供了用于形成薄膜电池的电化学层的方法和设备。 包含电化学活性金属的液体前体混合物与氧反应形成电化学活性金属氧化物,并且电化学活性金属氧化物作为层沉积在基底上。 可以将碳添加到混合物中以控制输入反应的能量并提供沉积在基底上的晶体之间的导电性和粘附性。 前体到沉积晶体的转化可以在两阶段过程中实现。
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公开(公告)号:KR1020140012100A
公开(公告)日:2014-01-29
申请号:KR1020137024645
申请日:2012-02-22
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor: 볼란디,후만 , 오릴랄,마헨드라씨. , 페베니토,빅터 , 브라운,칼엠. , 쿠트니,마이클씨. , 왕,콘니피. , 바치라치,로버트제트.
IPC: H01M4/139 , H01M2/16 , H01M10/0525 , H01M10/058 , B05D1/02
CPC classification number: C23C26/00 , H01M2/162 , H01M2/1686 , H01M4/0404 , H01M4/0419
Abstract: 전기-활성 물질을 유연한 전도성 기판 위에 증착하기 위한 스프레이 모듈이 제공된다. 스프레이 모듈은 유연한 전도성 기판을 가열 및 이송하기 위한 제 1 가열된 롤러, 유연한 전도성 기판을 가열 및 이송하기 위한 제 2 가열된 롤러, 제 1 가열된 롤러 근처에 위치되고, 유연한 전도성 기판이 제 1 가열된 롤러에 의해 가열됨에 따라 전기-활성 물질을 유연한 전도성 기판 상에 증착하기 위한 제 1 스프레이 디스펜서, 및 제 2 가열된 롤러 근처에 위치되고, 유연한 전도성 기판이 제 2 가열된 롤러에 의해 가열됨에 따라 전기-활성 물질을 유연한 전도성 기판 상에 증착하기 위한 제 2 스프레이 디스펜서를 포함한다.
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公开(公告)号:KR1020140000213A
公开(公告)日:2014-01-02
申请号:KR1020137007331
申请日:2010-12-01
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor: 샹,콴유안 , 양,루 , 브라운,칼,엠. , 올가도,도날드,제이.,케이. , 페베니토,빅터 , 볼란디,후만 , 이시카와,테츠야 , 바치라치,로버트,제트. , 첸,리앙-유
CPC classification number: H01G11/50 , H01G11/06 , H01M4/0419 , H01M10/04 , Y02E60/13 , H01G11/22 , H01M4/04 , H01M10/0525
Abstract: 박막 배터리의 전기화학적 층을 형성하기 위한 방법 및 장치가 제공된다. 전기화학적으로 활성적인 금속들을 포함하는 액체 전구체 혼합물이 산소와 반응하여 전기화학적으로 활성적인 금속 산화물들을 형성하고, 그러한 전기화학적으로 활성적인 금속 산화물들은 기판 상에 층으로 증착된다. 탄소가 혼합물로 첨가되어, 반응으로의 에너지 입력을 제어할 수 있고 기판 상에 증착된 결정들 사이에 전도도 및 부착을 제공할 수 있다. 전구체들의 증착 결정들로의 변환은 2-스테이지 프로세스에서 달성될 수 있을 것이다.
기판 상에 전기화학적 층을 형성하기 위한 장치를 제공한다. 그러한 장치는 제 1 분배기에 커플링된 액체 전구체 공급원, 원자화(atomizing) 가스 공급원, 및 건조 에너지 공급원을 가지는 제 1 프로세싱 스테이지를 가진다. 제 1 분배기 근처의 수집 스테이지가 고체들 수용기(receptacle)를 가진다. 제 2 프로세싱 스테이지가 수집 스테이지 근처의 제 2 분배기 및 상기 제 2 분배기에 커플링된 활성화 에너지의 공급원을 가진다.
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