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公开(公告)号：KR1020120090098A
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：KR1020127016110
申请日：2008-05-02
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 메타,비네트에이치. , 브라운,칼엠. , 피피톤,존에이. , 호프만,다니엘제이. , 샤논,스티븐씨. , 밀러,케이쓰에이. , 파크히,비자이디.
IPC: H01L21/302
CPC classification number: B08B7/0035 , C25F7/00 , H01J37/32009 , H01J37/32541 , H01L21/02046 , H01L21/0206
Abstract: 기판 세정 챔버가 기판 지지부와 마주하는 원호형 표면을 구비하는 윤곽형 천장 전극을 포함하고 그리고 상기 기판 지지부와 원호형 표면 사이의 갭 크기가 변화되어 기판 지지부에 걸쳐 가변적인 플라즈마 밀도를 제공하도록 하기 위한 가변 단면 두께를 가지낟. 세정 챔버용 유전체 링은 베이스, 릿지, 및 기판 지지부의 둘레방향 립을 덮는 방사상 내측 렛지를 포함한다. 베이스 차폐부는 하나 이상의 둘레 벽을 구비하는 원형 디스크를 포함한다. 세정 챔버를 위한 세정 및 컨디셔닝 프로세스들도 역시 포함된다.
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公开(公告)号：KR1020160090402A
公开(公告)日：2016-07-29
申请号：KR1020167019848
申请日：2009-09-21
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01L21/203 , H01L21/02
CPC classification number: C23C14/564 , H01J37/3408 , H01J37/3447 , H01L21/203 , H01L21/02266
Abstract: 물리기상증착챔버에서기판지지체를차폐하기적절한셔터디스크가제공된다. 일실시예에서, 셔터디스크는최상부표면과바닥표면사이에위치된외경을포함하는디스크-형상본체를포함한다. 디스크-형상본체는상기바닥표면을상기외경에연결하는이중스텝부를포함한다.
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公开(公告)号：KR101466584B1
公开(公告)日：2014-12-01
申请号：KR1020127016110
申请日：2008-05-02
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 메타,비네트에이치. , 브라운,칼엠. , 피피톤,존에이. , 호프만,다니엘제이. , 샤논,스티븐씨. , 밀러,케이쓰에이. , 파크히,비자이디.
IPC: H01L21/302
CPC classification number: B08B7/0035 , C25F7/00 , H01J37/32009 , H01J37/32541 , H01L21/02046 , H01L21/0206
Abstract: 기판세정챔버가기판지지부와마주하는원호형표면을구비하는곡선형천장전극을포함하고그리고상기기판지지부와원호형표면사이의갭 크기가변화되어기판지지부에걸쳐가변적인플라즈마밀도를제공하도록하기위한가변단면두께를가진다. 세정챔버용유전체링은베이스, 릿지, 및기판지지부의둘레방향립을덮는방사상내측렛지를포함한다. 베이스차폐부는하나이상의둘레벽을구비하는원형디스크를포함한다. 세정챔버를위한세정및 컨디셔닝프로세스들도역시포함된다.
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公开(公告)号：KR1020140012100A
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：KR1020137024645
申请日：2012-02-22
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 볼란디,후만 , 오릴랄,마헨드라씨. , 페베니토,빅터 , 브라운,칼엠. , 쿠트니,마이클씨. , 왕,콘니피. , 바치라치,로버트제트.
IPC: H01M4/139 , H01M2/16 , H01M10/0525 , H01M10/058 , B05D1/02
CPC classification number: C23C26/00 , H01M2/162 , H01M2/1686 , H01M4/0404 , H01M4/0419
Abstract: 전기-활성 물질을 유연한 전도성 기판 위에 증착하기 위한 스프레이 모듈이 제공된다. 스프레이 모듈은 유연한 전도성 기판을 가열 및 이송하기 위한 제 1 가열된 롤러, 유연한 전도성 기판을 가열 및 이송하기 위한 제 2 가열된 롤러, 제 1 가열된 롤러 근처에 위치되고, 유연한 전도성 기판이 제 1 가열된 롤러에 의해 가열됨에 따라 전기-활성 물질을 유연한 전도성 기판 상에 증착하기 위한 제 1 스프레이 디스펜서, 및 제 2 가열된 롤러 근처에 위치되고, 유연한 전도성 기판이 제 2 가열된 롤러에 의해 가열됨에 따라 전기-활성 물질을 유연한 전도성 기판 상에 증착하기 위한 제 2 스프레이 디스펜서를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101888830B1
公开(公告)日：2018-09-20
申请号：KR1020167019848
申请日：2009-09-21
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01L21/203 , H01L21/02
CPC classification number: C23C14/564 , H01J37/3408 , H01J37/3447
Abstract: 물리기상증착챔버에서기판지지체를차폐하기적절한셔터디스크가제공된다. 일실시예에서, 셔터디스크는최상부표면과바닥표면사이에위치된외경을포함하는디스크-형상본체를포함한다. 디스크-형상본체는상기바닥표면을상기외경에연결하는이중스텝부를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020120063495A
公开(公告)日：2012-06-15
申请号：KR1020127007598
申请日：2010-08-24
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 샹,쿠안유안 , 양,루 , 브라운,칼엠. , 올가도,도날드제이.케이. , 페베니토,빅터 , 볼란디,휴만 , 이시카와,테츠야 , 바크라크,로버트제트. , 첸,리앙-유
CPC classification number: H01M4/0419 , H01M4/1391
Abstract: 박막 필름 배터리의 전기화학적 층을 형성하기 위한 방법 및 장치가 제공된다. 이송 매체 내에 분산된 전기화학적으로 활성인 전구체 입자들을 포함하는 전구체 혼합물이 프로세싱 챔버로 제공되고 그리고 상기 챔버로 또한 제공되는 연소가능한 가스 혼합물을 이용하여 열적으로 처리된다. 전구체는 열적 에너지에 의해서 나노결정으로 변환되고, 그리고 나노결정은 기판 상에 부착된다. 제 2 전구체가 표면 상에 부착됨에 따라, 그러한 제 2 전구체는 나노결정과 혼합되어 접착력 및 전도성을 높인다.
Abstract translation: 提供一种用于形成薄膜电池的电化学层的方法和装置。 包含分散在携带介质中的前体颗粒的前体混合物通过施加电场在活化室中活化，以电离至少一部分前体混合物。 然后将活化的前体混合物与可燃气体混合物混合，以向前体颗粒添加热能，将其转化成沉积在基材上的纳米晶体。 当第二前体沉积在表面上以增强粘附性和导电性时，可与纳米晶体共混。
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公开(公告)号：KR1020110082005A
公开(公告)日：2011-07-15
申请号：KR1020117009308
申请日：2009-09-21
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01L21/203
CPC classification number: C23C14/564 , H01J37/3408 , H01J37/3447 , H01L21/203 , H01L21/02266
Abstract: 물리 기상 증착 챔버에서 기판 지지체를 차폐하기 적절한 셔터 디스크가 제공된다. 일 실시예에서, 셔터 디스크는 상단 표면과 바닥 표면 사이에 위치된 외경을 포함하는 디스크-형상 본체를 포함한다. 디스크-형상 본체는 상기 바닥 표면을 상기 외경에 연결하는 이중 스텝부를 포함한다.
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公开(公告)号：KR101734819B1
公开(公告)日：2017-05-12
申请号：KR1020127007598
申请日：2010-08-24
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 샹,쿠안유안 , 양,루 , 브라운,칼엠. , 올가도,도날드제이.케이. , 페베니토,빅터 , 볼란디,휴만 , 이시카와,테츠야 , 바크라크,로버트제트. , 첸,리앙-유
CPC classification number: H01M4/0419 , H01M4/1391
Abstract: 박막필름배터리의전기화학적층을형성하기위한방법및 장치가제공된다. 이송매체내에분산된전기화학적으로활성인전구체입자들을포함하는전구체혼합물이프로세싱챔버로제공되고그리고상기챔버로또한제공되는연소가능한가스혼합물을이용하여열적으로처리된다. 전구체는열적에너지에의해서나노결정으로변환되고, 그리고나노결정은기판상에부착된다. 제 2 전구체가표면상에부착됨에따라, 그러한제 2 전구체는나노결정과혼합되어접착력및 전도성을높인다.
Abstract translation: 提供了用于形成薄膜电池的电化学层的方法和设备。 包含分散在所述转印介质的电化学活性前体颗粒被提供给处理腔室和使用的可燃气体混合物的前体混合物也被提供给该腔室和热处理。 前体通过热能转化为纳米晶体，并且纳米晶体沉积在基底上。 当第二前体附着在表面上时，这种第二前体与纳米晶体混合以增加粘附性和导电性。
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公开(公告)号：KR101643133B1
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：KR1020117009308
申请日：2009-09-21
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01L21/203
CPC classification number: C23C14/564 , H01J37/3408 , H01J37/3447
Abstract: 물리기상증착챔버에서기판지지체를차폐하기적절한셔터디스크가제공된다. 일실시예에서, 셔터디스크는최상부표면과바닥표면사이에위치된외경을포함하는디스크-형상본체를포함한다. 디스크-형상본체는상기바닥표면을상기외경에연결하는이중스텝부를포함한다.
Abstract translation: 提供了一种适用于在物理气相沉积室中屏蔽衬底支撑的遮盘。 在一个实施例中，遮盘包括盘形主体，该盘形主体包括定位在顶表面和底表面之间的外径。 盘形主体包括将底面连接到外径的双台阶部分。
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