公开(公告)号：KR1020160090402A

公开(公告)日：2016-07-29

申请号：KR1020167019848

申请日：2009-09-21

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 브라운,칼엠. ,  샬러,제이슨

IPC: H01L21/203 ,  H01L21/02

CPC classification number: C23C14/564 ,  H01J37/3408 ,  H01J37/3447 ,  H01L21/203 ,  H01L21/02266

Abstract: 물리기상증착챔버에서기판지지체를차폐하기적절한셔터디스크가제공된다. 일실시예에서, 셔터디스크는최상부표면과바닥표면사이에위치된외경을포함하는디스크-형상본체를포함한다. 디스크-형상본체는상기바닥표면을상기외경에연결하는이중스텝부를포함한다.

公开(公告)号：KR101643133B1

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：KR1020117009308

申请日：2009-09-21

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 브라운,칼엠. ,  샬러,제이슨

IPC: H01L21/203

CPC classification number: C23C14/564 ,  H01J37/3408 ,  H01J37/3447

Abstract: 물리기상증착챔버에서기판지지체를차폐하기적절한셔터디스크가제공된다. 일실시예에서, 셔터디스크는최상부표면과바닥표면사이에위치된외경을포함하는디스크-형상본체를포함한다. 디스크-형상본체는상기바닥표면을상기외경에연결하는이중스텝부를포함한다.

Abstract translation: 提供了一种适用于在物理气相沉积室中屏蔽衬底支撑的遮盘。 在一个实施例中，遮盘包括盘形主体，该盘形主体包括定位在顶表面和底表面之间的外径。 盘形主体包括将底面连接到外径的双台阶部分。

公开(公告)号：KR101888830B1

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：KR1020167019848

申请日：2009-09-21

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 브라운,칼엠. ,  샬러,제이슨

IPC: H01L21/203 ,  H01L21/02

CPC classification number: C23C14/564 ,  H01J37/3408 ,  H01J37/3447

Abstract: 물리기상증착챔버에서기판지지체를차폐하기적절한셔터디스크가제공된다. 일실시예에서, 셔터디스크는최상부표면과바닥표면사이에위치된외경을포함하는디스크-형상본체를포함한다. 디스크-형상본체는상기바닥표면을상기외경에연결하는이중스텝부를포함한다.

公开(公告)号：KR1020110082005A

公开(公告)日：2011-07-15

申请号：KR1020117009308

申请日：2009-09-21

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 브라운,칼엠. ,  샬러,제이슨

IPC: H01L21/203

CPC classification number: C23C14/564 ,  H01J37/3408 ,  H01J37/3447 ,  H01L21/203 ,  H01L21/02266

Abstract: 물리 기상 증착 챔버에서 기판 지지체를 차폐하기 적절한 셔터 디스크가 제공된다. 일 실시예에서, 셔터 디스크는 상단 표면과 바닥 표면 사이에 위치된 외경을 포함하는 디스크-형상 본체를 포함한다. 디스크-형상 본체는 상기 바닥 표면을 상기 외경에 연결하는 이중 스텝부를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020170037644A

公开(公告)日：2017-04-04

申请号：KR1020177005389

申请日：2015-07-30

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 베라,카롤 ,  벨로르,킴 ,  콘스탄트,앤드류 ,  뉴맨,제이콥 ,  블라닉,제프리 ,  샬러,제이슨 ,  위버,윌리엄 ,  보팻,로버트 ,  라이오던,벤자민

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  F28F3/12 ,  F28D9/00

CPC classification number: F28F3/12 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67303

Abstract: 다중-기판열 관리장치의실시예들이본원에서제공된다. 몇몇실시예들에서, 다중-기판열 관리장치는, 서로의위에수직으로배열된복수의플레이트들; 복수의플레이트들각각을통해연장하는복수의채널들; 제 1 위치들에서복수의플레이트들에커플링된공급채널을포함하는공급매니폴드(supply manifold); 및제 2 위치들에서복수의레그(leg)들을통해복수의플레이트들에커플링된리턴채널을포함하는리턴매니폴드(return manifold)를포함하고, 공급및 리턴채널들은, 복수의플레이트들을통해열 전달유체를유동시키기위해복수의채널들에유체적으로결합된다.

Abstract translation: 本文提供了多基板热管理装置的实施例。 在一些实施例中，多基板热管理设备包括：多个垂直地布置在彼此之上的板; 延伸穿过多个板中的每一个的多个通道; 供应歧管，其包括在第一位置处联接到所述多个板的供应通道; 它包括一个返回歧管（返回管），其包括通过多个腿部（脚部）在mitje第二位置的耦合返回信道到所述多个板，以及供应和返回信道，通过多个板的传热 并流体地连接到多个通道用于流体流动。