公开(公告)号：KR1020160041982A

公开(公告)日：2016-04-18

申请号：KR1020167005800

申请日：2014-07-22

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 콕스,마이클에스. ,  하우릴책,라라 ,  샌소니,스티븐브이.

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H02N13/00 ,  B23Q3/15

CPC classification number: H01L21/6833 ,  Y10T29/49815

Abstract: 본원에서설명되는실시예들은일반적으로, 정전척(ESC)에관한것이다. ESC는, 기판을 ESC에정전기적으로커플링시키도록이루어진제 1 복수의전극들, 및 ESC를기판지지부에정전기적으로커플링시키도록이루어진제 2 복수의전극들을포함할수 있다. 기판지지부내에일체형으로(integrally) 배치되는대신, 유지보수또는교체목적들을위해, ESC는용이하게, 기판지지부로부터제거될수 있고챔버로부터제거될수 있다.

公开(公告)号：KR101876501B1

公开(公告)日：2018-07-10

申请号：KR1020167005800

申请日：2014-07-22

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 콕스,마이클에스. ,  하우릴책,라라 ,  샌소니,스티븐브이.

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H02N13/00 ,  B23Q3/15

CPC classification number: H01L21/6833 ,  Y10T29/49815

Abstract: 본원에서설명되는실시예들은일반적으로, 정전척(ESC)에관한것이다. ESC는, 기판을 ESC에정전기적으로커플링시키도록이루어진제 1 복수의전극들, 및 ESC를기판지지부에정전기적으로커플링시키도록이루어진제 2 복수의전극들을포함할수 있다. 기판지지부내에일체형으로(integrally) 배치되는대신, 유지보수또는교체목적들을위해, ESC는용이하게, 기판지지부로부터제거될수 있고챔버로부터제거될수 있다.

公开(公告)号：KR1020170124620A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：KR1020177031250

申请日：2014-07-22

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 콕스,마이클에스. ,  하우릴책,라라 ,  샌소니,스티븐브이.

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H02N13/00 ,  B23Q3/15

CPC classification number: H01L21/6833 ,  Y10T29/49815 ,  B23Q3/15 ,  H01L21/68728 ,  H01L2224/75723 ,  H02N13/00

Abstract: 본원에서설명되는실시예들은일반적으로, 정전척(ESC)에관한것이다. ESC는, 기판을 ESC에정전기적으로커플링시키도록이루어진제 1 복수의전극들, 및 ESC를기판지지부에정전기적으로커플링시키도록이루어진제 2 복수의전극들을포함할수 있다. 기판지지부내에일체형으로(integrally) 배치되는대신, 유지보수또는교체목적들을위해, ESC는용이하게, 기판지지부로부터제거될수 있고챔버로부터제거될수 있다.

Abstract translation: 这里描述的实施例通常涉及静电夹持（ESC）。 ESC可以包括被配置为将衬底静电耦合到ESC的第一多个电极以及被配置为将ESC静电耦合到衬底支撑件的第二多个电极。 为了维护或替换的目的，ESC可以容易地从基板支撑件上移除并且从腔室移除，而不是整体地布置在基板支撑件内。

公开(公告)号：KR1020160033160A

公开(公告)日：2016-03-25

申请号：KR1020167003864

申请日：2014-07-01

Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

Inventor： 판,헹 ,  하우릴책,라라 ,  올센,크리스토퍼,에스.

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02274 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/68735

Abstract: 기판상에증착되거나성장되는층들의보다균일한두께를제공하는기판지지링들의실시예들이본원에서제공된다. 몇몇실시예들에서, 기판지지링은: 기판을지지하도록중앙에위치된지지표면을갖는내측링; 및지지표면으로부터방사상외측으로연장하는외측링;을포함하며, 외측링은지지표면의지지평면에대해대체로평행한, 지지표면위에배치된반응표면지역을포함하고, 반응표면은약 24 mm 내지약 45 mm만큼상기지지표면을지나연장한다.