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公开(公告)号:KR100583581B1
公开(公告)日:2006-05-26
申请号:KR1020050003671
申请日:2005-01-14
发明人: 거쉬타인블라디미르일리이
IPC分类号: H01L21/02
CPC分类号: F17C9/02 , F17C5/04 , F17C5/06 , F17C2221/013 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2225/0115 , F17C2225/0123 , F17C2225/0153 , F17C2225/035 , F17C2227/0302 , F17C2227/0337 , F17C2227/0388 , F17C2250/01 , F17C2260/044 , F17C2265/015 , F17C2270/0518 , Y10S62/928
摘要: 본 발명은 펌핑 처리를 사용하지 않고 상압보다 높은 압력에서 초고순도 액체 이산화탄소를 사용 지점으로 전달하기 위한 방법 및 장치에서의 개선에 관한 것이다. 이러한 방법에서는 고순도 이산화탄소 공급물을 용기에 공급하고 적어도 일부분을 고화시킨다. 용기가 채워지면, 슬러쉬 또는 고형물을 등체적 가열시키고, 즉 일정한 용기 부피에서 가열하여 고상 이산화탄소를 액체로 전환시킨다. 그후, 액체를 소정의 압력에서 고상 이산화탄소가 액상 이산화탄소로 전환되는 비율로 용기에서 배출시킨다. 본 발명은 이산화탄소의 부분 고화 및 재순환을 실시하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号:KR1020040069268A
公开(公告)日:2004-08-05
申请号:KR1020040004630
申请日:2004-01-26
发明人: 거쉬타인블라디미르일리이
IPC分类号: B01J3/00
CPC分类号: F17C7/04 , C01B32/50 , F04B15/08 , F04B19/24 , F04D7/00 , F17C6/00 , F17C7/02 , F17C2221/013 , F17C2223/0153 , F17C2223/035 , F17C2223/036
摘要: PURPOSE: To provide a process and apparatus for delivering an ultra high purity fluid comprising at least one component to a point of use at a required pressure without pumping. CONSTITUTION: The apparatus comprises an inlet pipe(42) for introducing a feed stream comprising at least one component wherein the feed stream is at a first pressure; an expansion nozzle(44) that is in fluid communication with the inlet pipe wherein the pressure of the feed stream is reduced to a second pressure below the first pressure to convert at least a portion of the feed stream to provide the solid phase source and an effluent vapor; a vessel(40) that is in fluid communication with the expansion nozzle having at least one selected from the solid phase source, the feed stream, the slush, a fluid product, the effluent vapor, and mixtures thereof contained therein; at least one energy source proximal to and/or contained within the vessel wherein the at least one energy source converts at least a portion of the solid phase source to produce the slush; an outlet pipe(46) in fluid communication with the vessel for the removal of at least a portion of the effluent vapor while maintaining a controlled pressure within the vessel; and a pressure control valve(48) in fluid communication with the outlet pipe.
摘要翻译: 目的:提供一种用于将包含至少一种组分的超高纯度流体以所需压力输送到使用点而不需要泵送的方法和装置。 构成:该装置包括用于引入包含至少一种组分的进料流的入口管(42),其中进料流处于第一压力; 与入口管流体连通的膨胀喷嘴(44),其中进料流的压力降低到低于第一压力的第二压力以转化至少一部分进料流以提供固相源和 废水蒸气; 与所述膨胀喷嘴流体连通的容器(40)具有选自所述固相源,所述进料流,所述浆液,流体产物,所述流出物蒸气及其混合物中的至少一种; 至少一个靠近和/或包含在容器内的能量源,其中所述至少一个能量源转换至少一部分所述固相源以产生所述浆液; 与所述容器流体连通的用于去除至少一部分所述流出物蒸气同时保持所述容器内的受控压力的出口管(46); 和与出口管流体连通的压力控制阀(48)。
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公开(公告)号:KR100512353B1
公开(公告)日:2005-09-02
申请号:KR1020040004630
申请日:2004-01-26
发明人: 거쉬타인블라디미르일리이
IPC分类号: B01J3/00
CPC分类号: F17C7/04 , C01B32/50 , F04B15/08 , F04B19/24 , F04D7/00 , F17C6/00 , F17C7/02 , F17C2221/013 , F17C2223/0153 , F17C2223/035 , F17C2223/036
摘要: 본 발명은 펌핑없이 필수 압력에서 1 이상의 성분을 포함하는 초고순도 유체를 사용 지점으로 전달하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 한 가지 구체예에서, 1 이상의 성분을 기체 또는 액체 형태로 포함하는 고순도 공급물을 용기에 충전하고, 적어도 부분적으로 고화, 즉 고상 공급원으로 전환시킨다. 공급물이 고상 공급원으로 전환되면, 용기가 적어도 실질적으로 고상 공급원 또는 슬러쉬로 충전될 때까지 추가 공급물을 첨가할 수 있다. 충전되면, 고상 공급원 또는 슬러쉬를 등체적 가열할 수 있으며, 이로써 고상 공급원은 고압에서 생성물로 전환된다. 다른 구체예에서, 1 이상의 성분을 포함하는 고순도 고상 공급원 또는 슬러쉬의 생성 및 수집을 위한 장치 및 방법이 본 명세서에 개시된다.
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公开(公告)号:KR100704214B1
公开(公告)日:2007-04-10
申请号:KR1020040079431
申请日:2004-10-06
发明人: 거쉬타인블라디미르일리이 , 포드로버트윌리엄 , 서루치존프레드릭
CPC分类号: F17C13/083 , F17C1/14 , F17C3/00 , F17C3/12 , F17C13/004 , F17C13/025 , F17C13/026 , F17C13/04 , F17C2201/0104 , F17C2201/035 , F17C2201/052 , F17C2201/054 , F17C2203/0617 , F17C2203/0643 , F17C2205/0107 , F17C2205/0126 , F17C2205/0157 , F17C2205/0308 , F17C2205/0311 , F17C2205/0323 , F17C2205/0329 , F17C2205/0352 , F17C2205/0379 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2209/221 , F17C2209/228 , F17C2221/01 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/03 , F17C2221/031 , F17C2221/033 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/0146 , F17C2223/0153 , F17C2223/0192 , F17C2223/033 , F17C2223/035 , F17C2223/043 , F17C2223/045 , F17C2223/047 , F17C2225/0123 , F17C2225/0153 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2225/043 , F17C2225/045 , F17C2225/047 , F17C2227/0192 , F17C2227/03 , F17C2227/044 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0447 , F17C2250/0626 , F17C2260/035 , F17C2270/0105 , F17C2270/0171 , F17C2270/0173 , F17C2270/0189 , Y02E60/321 , Y10T137/6877
摘要: 제품 운송 및 저장 시스템은 원통형 벽부와 2개의 단부를 구비하는 탱크를 포함하며, 이들 원통형 벽부와 2개의 단부가 내부와 외부가 있는 원통형 탱크 외주부를 형성하고 있다. 상기 시스템은 하나 이상의 측벽, 바닥벽 및 밀봉 가능한 착탈식 상단 커버를 구비하는 밸브 박스를 사용하며, 상단 커버는 밸브 박스를 밀봉하도록 상기 하나 이상의 측벽에 부착될 수 있으며, 밸브 박스의 측벽은 상기 원통형 벽부에 밀봉 가능하게 접합된다. 하나 이상의 프로세스 밸브가 상기 밸브 박스 내에 배치되며, 각 밸브는 제1 단부 및 제2 단부가 있고, 각 제1 단부는 탱크 내부로 제품을 도입하거나 탱크로부터 제품을 취출하기 위하여 상기 밸브 박스의 벽을 관통하는 파이프에 연결되어 있다. 퍼지 밸브 및 압력 측정 수단이 상기 밸브 박스와 유체 연통 상태에 있다. 상기 탱크 내의 제품은 상기 밸브 박스가 밀봉될 때 이 탱크 주위의 대기로부터 격리된다.
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公开(公告)号:KR1020050076621A
公开(公告)日:2005-07-26
申请号:KR1020050003671
申请日:2005-01-14
发明人: 거쉬타인블라디미르일리이
IPC分类号: H01L21/02
CPC分类号: F17C9/02 , F17C5/04 , F17C5/06 , F17C2221/013 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/0153 , F17C2223/033 , F17C2225/0115 , F17C2225/0123 , F17C2225/0153 , F17C2225/035 , F17C2227/0302 , F17C2227/0337 , F17C2227/0388 , F17C2250/01 , F17C2260/044 , F17C2265/015 , F17C2270/0518 , Y10S62/928
摘要: This invention relates to an improvement in a process and apparatus for delivering ultra high purity liquid carbon dioxide to a point of use at pressures above ambient without pumping. In the process a high purity carbon dioxide feed is charged to a vessel and at least partially solidified. Once filled, the slush or solid is isochorically heated, i.e., heated at constant vessel volume whereby the solid phase carbon dioxide is converted to a liquid. Liquid, then, is withdrawn from the vessel at a desired pressure at a rate at which the solid phase carbon dioxide is converted to a liquid. The improvement resides in effecting partial solidification and recycle of carbon dioxide.
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公开(公告)号:KR1020050033489A
公开(公告)日:2005-04-12
申请号:KR1020040079431
申请日:2004-10-06
发明人: 거쉬타인블라디미르일리이 , 포드로버트윌리엄 , 서루치존프레드릭
CPC分类号: F17C13/083 , F17C1/14 , F17C3/00 , F17C3/12 , F17C13/004 , F17C13/025 , F17C13/026 , F17C13/04 , F17C2201/0104 , F17C2201/035 , F17C2201/052 , F17C2201/054 , F17C2203/0617 , F17C2203/0643 , F17C2205/0107 , F17C2205/0126 , F17C2205/0157 , F17C2205/0308 , F17C2205/0311 , F17C2205/0323 , F17C2205/0329 , F17C2205/0352 , F17C2205/0379 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2209/221 , F17C2209/228 , F17C2221/01 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/03 , F17C2221/031 , F17C2221/033 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/0146 , F17C2223/0153 , F17C2223/0192 , F17C2223/033 , F17C2223/035 , F17C2223/043 , F17C2223/045 , F17C2223/047 , F17C2225/0123 , F17C2225/0153 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2225/043 , F17C2225/045 , F17C2225/047 , F17C2227/0192 , F17C2227/03 , F17C2227/044 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0447 , F17C2250/0626 , F17C2260/035 , F17C2270/0105 , F17C2270/0171 , F17C2270/0173 , F17C2270/0189 , Y02E60/321 , Y10T137/6877
摘要: A transport and storage system for monitoring a ultrapure material storage tank during transporting and a method thereof are provided to protect a closure without mechanical damage by a valve box in sealing the system, to prevent leak, and to monitor latent pollution of materials while transporting the storage tank. A transport and storage system(1) is composed of a tank(3) having an outer periphery of a cylindrical tank with a cylindrical wall and two ends, a valve box composed of side walls bonded to the cylindrical wall, a bottom and a sealing detachable upper cover(7) mounted to the side wall to seal the valve box, a process valve arranged in the valve box and composed of a first end connected to a pipe penetrating the wall of the valve box for moving materials into or out of the tank and a second end, and a purge valve and a pressure measuring unit communicated with the valve box. The material in the tank is isolated from atmosphere around the tank in sealing the valve box.
摘要翻译: 提供一种用于在运输过程中监测超纯物料储罐的运输和存储系统及其方法,以保护封闭件而不会在密封系统时通过阀箱的机械损坏,防止泄漏,并监测物料的潜在污染,同时运输 储存罐。 运输和储存系统(1)由具有圆柱形罐的外周的圆柱形壁和两端的罐(3)组成,由侧壁结合到圆柱形壁上的阀盒,底部和密封件 安装在侧壁上以密封阀箱的可拆卸的上盖(7),安装在阀箱中的过程阀,其由连接到穿过阀箱的壁的管的第一端组成,用于将材料移入或移出 罐和第二端,以及与阀箱连通的排气阀和压力测量单元。 罐中的材料与罐体周围的大气隔离,密封阀箱。
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