公开(公告)号：KR1020170120682A

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：KR1020177027242

申请日：2016-02-23

申请人： 코히런트 레이저시스템즈 게엠바하 운트 컴파니 카게

发明人： 사이먼프랑크 ,  벤젤토마스 ,  슈벵거루드비흐 ,  반데르빌트폴

IPC分类号： G02B27/28 ,  G02B27/09 ,  B23K26/06 ,  B23K26/067

CPC分类号： G02B27/285 ,  B23K26/0604 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/067 ,  B23K26/0738 ,  B23K2203/56 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/286 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02678 ,  H01L21/02686 ,  H01L27/1285

摘要： 레이저라인투사장치(10)에서, 6개의이격된비편광된레이저빔은박막편광기(14), 반사기(18) 및 2개의편광회전기(20A, 20B)의조합에의해낮은손실로면 편광된다. 2개의빔은 3개의편광배향각각으로편광된다. 편광배향중 2개는 P 및 S 배향으로서로직각으로배열된다. 다른편광배향은중간배향으로비직각배열된다. 빔은강도균질화되어방사선라인에투사된다. 방사선의라인상의임의의포인트는중간배향을통해 S에서 P로, 그리고중간배향을통해 S로다시편광배향의각도분포를갖는광선으로형성된다.

摘要翻译： 在激光线投影装置10中，通过组合薄膜偏振器14，反射器18和两个偏振旋转器20A和20B，六个间隔开的非偏振激光束以低损耗平面偏振。 两个光束在三个偏振方向中的每一个偏振。 两个偏振方向在P和S方向上彼此成直角排列。 其他偏振取向在中间取向上以非正交取向排列。 光束被均匀化并投射到辐射线上。 辐射线上的任何点由具有S到P的角度分布的光线通过中间取向形成，而S通过中间取向形成。