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公开(公告)号：KR1020160127768A
公开(公告)日：2016-11-04
申请号：KR1020167026314
申请日：2015-03-02
发明人： 반데르빌트폴
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/02 , H01L21/268 , G01N21/95 , G01N21/47 , G01N21/84 , G01N21/88 , G02B21/00
CPC分类号： H01L21/67253 , C30B1/02 , C30B29/06 , G01N21/21 , G01N21/4788 , G01N21/8422 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N2021/8461 , G01N2021/8477 , G01N2201/06113 , G01N2201/068 , G01N2201/0683 , G01N2201/0697 , G01N2201/10 , G01N2201/105 , G02B21/002 , G02B21/0092 , H01L21/02532 , H01L21/02686 , H01L21/268 , H01L22/12
摘要： 엑시머레이저로부터의펄스로조광함으로써결정화되는실리콘층(22)을평가하는방법이개시된다. 결정화는층이노출되는펄스의수와펄스내의에너지밀도(ED)에종속적인상기결정화된층 상의주기적피처들을산출한다. 층의영역은광(29)으로조광된다. 조광된영역의현미경이미지는상기주기적피처에의해상기조광된영역으로부터회절된광으로부터만들어진다. 현미경이미지는대응하는주기적피처들을포함한다. ED는현미경이미지내의주기적피처들의컨트라스트의측정으로부터판정된다.
摘要翻译： 公开了评估通过用脉冲照射形成准分子激光而结晶的硅层的方法。 结晶层上产生周期性特征，取决于层暴露于的脉冲中的数量和能量密度。 该层的一个区域用光照亮。 照明区域的显微镜图像由从被照明的周期特征衍射的光制成。 显微镜图像包括相应的周期特征。 ED是从显微镜图像中的周期特征的对比度的量度确定的。
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公开(公告)号：KR1020170120682A
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：KR1020177027242
申请日：2016-02-23
IPC分类号： G02B27/28 , G02B27/09 , B23K26/06 , B23K26/067
CPC分类号： G02B27/285 , B23K26/0604 , B23K26/0608 , B23K26/0648 , B23K26/067 , B23K26/0738 , B23K2203/56 , G02B27/0905 , G02B27/286 , H01L21/02532 , H01L21/02678 , H01L21/02686 , H01L27/1285
摘要： 레이저라인투사장치(10)에서, 6개의이격된비편광된레이저빔은박막편광기(14), 반사기(18) 및 2개의편광회전기(20A, 20B)의조합에의해낮은손실로면 편광된다. 2개의빔은 3개의편광배향각각으로편광된다. 편광배향중 2개는 P 및 S 배향으로서로직각으로배열된다. 다른편광배향은중간배향으로비직각배열된다. 빔은강도균질화되어방사선라인에투사된다. 방사선의라인상의임의의포인트는중간배향을통해 S에서 P로, 그리고중간배향을통해 S로다시편광배향의각도분포를갖는광선으로형성된다.
摘要翻译： 在激光线投影装置10中，通过组合薄膜偏振器14，反射器18和两个偏振旋转器20A和20B，六个间隔开的非偏振激光束以低损耗平面偏振。 两个光束在三个偏振方向中的每一个偏振。 两个偏振方向在P和S方向上彼此成直角排列。 其他偏振取向在中间取向上以非正交取向排列。 光束被均匀化并投射到辐射线上。 辐射线上的任何点由具有S到P的角度分布的光线通过中间取向形成，而S通过中间取向形成。
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公开(公告)号：KR1020150034186A
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：KR1020157001511
申请日：2013-06-20
发明人： 반데르빌트폴
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/268 , G01N21/95
CPC分类号： C30B13/24 , B23K26/0084 , B23K26/0622 , B23K26/083 , C30B13/28 , C30B29/06 , G01N21/4788 , G01N21/8422 , G01N2021/8461 , G01N2021/8477 , H01L21/02532 , H01L21/02587 , H01L21/02686 , H01L21/268 , H01L22/12 , G01N21/9501
摘要： 엑시머레이저로부터의펄스에의해조사함으로써결정화된실리콘층을평가하는방법이개시되어있다. 이러한결정화에의해, 실리콘층이노출된펄스의수 및에너지밀도에의존된결정화된층 상의주기적특징부가생성된다. 이러한층의영역은광으로조광된다. 상기조광된영역으로부터회절된광을검출하고이러한층이노출된펄스의에너지밀도를상기검출된회절된광으로부터판정하기위한검출기가배열된다.
摘要翻译： 公开了评估通过用脉冲照射形成准分子激光而结晶的硅层的方法。 结晶层上产生周期性特征，取决于层暴露于的脉冲的数量和能量密度。 该层的一个区域用光照亮。 检测器被布置成检测从被照射区域衍射的光并且从检测到的衍射光确定该层已经曝光的脉冲中的能量密度。
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