公开(公告)号：KR1020170108778A

公开(公告)日：2017-09-27

申请号：KR1020160137832

申请日：2016-10-21

申请人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드

发明人： 웽밍-후에이 ,  로콴-신 ,  린웨이-리앙 ,  훙치-쳉

IPC分类号： H01L21/308 ,  H01L21/28 ,  H01L21/768 ,  H01L21/033

CPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/31144

摘要： 방법은, 기판을제공하는단계; 기판위에맨드릴패턴을형성하는단계; 및맨드릴패턴의측벽상에스페이서를형성하는단계를포함한다. 방법은, 맨드릴패턴을제거하여, 스페이서에의해적어도부분적으로둘러싸이는트렌치를형성하는단계를더 포함한다. 방법은, 유도자기조립하는(directed self-assembling) 공중합체재료를트렌치내에성막하는단계; 및공중합체재료내에미세상 분리를유도하여, 제2 구성중합체에의해둘러싸이는제1 구성중합체를형성하는단계를더 포함한다. 맨드릴패턴은제한된크기와제한된구성을가진다. 제1 구성중합체는직사각형어레이또는정사각형어레이로배열된원통이다.

摘要翻译： 该方法包括：提供衬底; 在基板上形成心轴图案; 并在心轴图案的侧壁上形成间隔物。 该方法进一步包括移除心轴图案以形成至少部分被隔离物包围的沟槽。 该方法包括在沟槽中形成定向自组装共聚物材料; 并且引起共聚物材料内的微相分离以形成被第二组分聚合物包围的第一组分聚合物。 心轴图案具有有限的尺寸和有限的构造。 第一组分聚合物是以矩形阵列或方形阵列布置的圆柱体。

公开(公告)号：KR101903853B1

公开(公告)日：2018-10-02

申请号：KR1020160137832

申请日：2016-10-21

申请人： 타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드

发明人： 웽밍-후에이 ,  로콴-신 ,  린웨이-리앙 ,  훙치-쳉

IPC分类号： H01L21/308 ,  H01L21/28 ,  H01L21/768 ,  H01L21/033

CPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/31144

摘要： 방법은, 기판을제공하는단계; 기판위에맨드릴패턴을형성하는단계; 및맨드릴패턴의측벽상에스페이서를형성하는단계를포함한다. 방법은, 맨드릴패턴을제거하여, 스페이서에의해적어도부분적으로둘러싸이는트렌치를형성하는단계를더 포함한다. 방법은, 유도자기조립하는(directed self-assembling) 공중합체재료를트렌치내에성막하는단계; 및공중합체재료내에미세상 분리를유도하여, 제2 구성중합체에의해둘러싸이는제1 구성중합체를형성하는단계를더 포함한다. 맨드릴패턴은제한된크기와제한된구성을가진다. 제1 구성중합체는직사각형어레이또는정사각형어레이로배열된원통이다.