-
公开(公告)号：KR101847226B1
公开(公告)日：2018-04-09
申请号：KR1020127034279
申请日：2011-06-27
Applicant: 파이퍼 배큠
Abstract: 본발명의요지는포토마스크를건조하기위한장치로, 적어도하나의포토마스크(13)를포함하는밀폐챔버(2)와, 상기챔버(2) 내에진공을제공하고유지하기위한펌핑유닛(3)과, 상기챔버(2) 내부에배치되는포토마스크(13)용홀더(12)와, 상기챔버(2) 내에배치되는적외선방사수단(6)과, 상기챔버(2) 내로가스를분사하기위한시스템(10)을포함하는포토마스크건조장치이다. 본발명에따르면, 적외선방사수단은포토마스크(13)로부터적외선방사수단까지의거리가관계식 D=1.5×d(여기서 D는적외선방사원(6)을포함하는평면과포토마스크(13) 간의거리이고, d는두 개의적외선방사원(6)의중심점간의거리이다)에의해정해지도록포토마스크(13)의평면에평행한평면에분포되는복수의적외선방사원(6)을포함하며, 가스분사시스템(10)은분사기(30)가포토마스크의중심점(13)을중심으로한 90°회전에불변하도록포토마스크(13)의평면에평행한평면에분포되는복수의가스분사기(30)를포함한다.
Abstract translation: 本发明的方面是一种设备，用于干燥一种用于提供真空的光掩模中，泵送单元（3），并保持在包括光掩模中的至少一个和所述封闭的腔室（2）（13），腔室（2） ，布置在腔室（2）中的用于光掩模（13）的支架（12），布置在腔室（2）中的红外辐射装置（6） （10）。 根据本发明，所述红外线照射装置之间的距离是光掩模13时，红外辐射装置kkajiui距离关系d = 1.5×从d（其中，d是所述平面与光掩模（13，包括红外辐射源（6））， d neundu（6）），从而由包括多个红外线辐射源确定的红外线辐射源的两个中心点之间的距离（6）分布在平行的平面中的光掩模13，气体喷射系统10中，银粉末的平面 欺诈30包括多个分布在平行于光掩模13的平面的平面内，以恒定的90°旋转对饱和六掩模的中心点13气体喷射器（30）的。
-
公开(公告)号：KR1020130124177A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020127034279
申请日：2011-06-27
Applicant: 파이퍼 배큠
Abstract: 본 발명의 요지는 포토마스크를 건조하기 위한 장치로, 적어도 하나의 포토마스크(13)를 포함하는 밀폐 챔버(2)와, 상기 챔버(2) 내에 진공을 제공하고 유지하기 위한 펌핑 유닛(3)과, 상기 챔버(2) 내부에 배치되는 포토마스크(13)용 홀더(12)와, 상기 챔버(2) 내에 배치되는 적외선 방사 수단(6)과, 상기 챔버(2) 내로 가스를 분사하기 위한 시스템(10)을 포함하는 포토마스크 건조 장치이다. 본 발명에 따르면, 적외선 방사 수단은 포토마스크(13)로부터 적외선 방사 수단까지의 거리가 관계식 D=1.5×d(여기서 D는 적외선 방사원(6)을 포함하는 평면과 포토마스크(13) 간의 거리이고, d는 두 개의 적외선 방사원(6)의 중심점 간의 거리이다)에 의해 정해지도록 포토마스크(13)의 평면에 평행한 평면에 분포되는 복수의 적외선 방사원(6)을 포함하며, 가스 분사 시스템(10)은 분사기(30)가 포토마스크의 중심점(13)을 중심으로 한 90°회전에 불변하도록 포토마스크(13)의 평면에 평행한 평면에 분포되는 복수의 가스 분사기(30)를 포함한다.
Abstract translation: 本发明的目的是一种光掩模干燥装置，其包括：密封室，其包含至少一个光掩模，用于在所述室内建立和保持真空的泵送单元，放置在所述室内的光掩模的支撑件，放置在其中的红外辐射装置 在所述室内，用于将气体注入所述室的系统，其特征在于，所述红外辐射装置包括分布在平行于光掩模平面的平面中的多个红外辐射源，使得从光掩模到红外线的距离 辐射装置由以下关系给出：D = 1.5×d其中D是包含红外辐射源的平面与光掩模之间的距离，d是两个相邻红外辐射源的中心点之间的距离，并且其中气体 喷射系统包括分布在平行于光掩模平面的平面内的多个气体喷射器， 注射器遵循关于光掩模中心点的90°旋转不变性。
-
Search Results
2
records
(took 0.01 seconds)
