公开(公告)号：KR101812104B1

公开(公告)日：2017-12-27

申请号：KR1020160039262

申请日：2016-03-31

申请人： 주식회사 가이아

发明人： 최신묵

IPC分类号： F26B23/10 ,  F26B23/00 ,  F26B21/08 ,  F26B21/10 ,  F26B21/14 ,  F26B25/00

CPC分类号： F26B21/08 ,  F26B21/10 ,  F26B21/14 ,  F26B23/00 ,  F26B23/10 ,  F26B25/00

摘要： 본발명은가스를열원으로하는열매체유보일러를이용한악취방지용폐쇄회로형음식물쓰레기건조장치에관한것으로서, 보다상세하게는열매체유가스보일러를이용하여열매체유를가열시키고, 이를건조장치내부에충진하여사용후, 다시열매체유가스보일러로유입시켜재가열하는구조를가지도록하고, 이와더불어, 건조장치에서발생되는악취수증기는외부로배출시키지않고여과및 응축을시킨후 건조장치내부로유입되도록하는폐쇄회로구조또한가지도록함으로써, 건조장치의열효율증대및 악취발생이되지않는가스를열원으로하는열매체유보일러를이용한악취방지용폐쇄회로형음식물쓰레기건조장치에관한것이다.

摘要翻译： 使用本发明的，更具体地，热介质油，燃气涉及使用气体作为热源的热油锅炉防臭闭路型食品废物的干燥设备和加热所述热油，并将其填充到干燥装置 使用后，关闭需重新此外，这以具有一种结构，其中由入口重新加热到加热介质油，燃气，在干燥装置中生成，而无需进入干燥单元电路的内部向外部排出过滤和冷凝后的气味蒸气 结构，本发明涉及通过使也不同增加干燥设备和防臭闭路型食品废物的干燥装置，即不是一个坏的气味引起的热油锅炉的热源的气体的热效率。

公开(公告)号：KR1020170122271A

公开(公告)日：2017-11-03

申请号：KR1020177028571

申请日：2016-03-03

申请人： 엠이아이, 엘엘씨

发明人： 타이스스콧

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  F26B15/08 ,  F26B21/14 ,  F26B3/04 ,  F26B5/00

CPC分类号： F26B21/14 ,  F26B3/04 ,  F26B5/00 ,  F26B15/08 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67034

摘要： 탱크내 제1 웨이퍼캐리어상의웨이퍼들은그 웨이퍼들의마란고니건조를달성하기위해서상기탱크내 욕조및 상기제1 웨이퍼캐리어로부터들어올려진다. 그들어올려진건조웨이퍼들은챔버내 제2 웨이퍼캐리어상으로놓여지며그리고오프셋위치로이동된다. 가스의쓸어내는흐름을구비한또는구비하지않은챔버의벽일수 있는방벽은제1 웨이퍼캐리어를건조하는동안에발생한침전물들이상기웨이퍼들로통과하는것을방해한다. 정전기가상기오프셋위치내 웨이퍼지지물로부터방전될수 있다.

摘要翻译： 将槽中的第一晶片载体上的晶片从槽中的槽和第一晶片载体提起以实现晶片的栗色蜂蜜干燥。 将提起的干燥晶片放置在室中的第二晶片载体上并移动到偏移位置。 可以是具有或不具有冲洗气流的腔室的壁的阻挡物防止在干燥第一晶片载体期间发生的沉积物穿过晶片。 静电可以在偏移位置从晶片支架排出。

公开(公告)号：KR1020170103653A

公开(公告)日：2017-09-13

申请号：KR1020170024175

申请日：2017-02-23

申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

发明人： 고시겐타로 ,  기요세히로미 ,  비와사토시

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67

CPC分类号： F26B21/14 ,  F26B5/00 ,  F26B9/06 ,  H01L21/02101 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67051

摘要： 본발명은, 비교적짧은시간에, 기판의표면에부착된액체를처리유체에의해제거함과더불어, 처리유체를장시간에걸쳐사용하는것을목적으로한다. 기판처리장치(10)는웨이퍼(W)에대하여초임계처리를행하는처리용기(1)와, 유체공급라인(51)과, 유체배출라인(52)과, 제1 순환라인(53)과, 제2 순환라인(60)을구비한다. 제1 순환라인(53) 및제2 순환라인(60)에, 처리유체를받는처리용기(1)의용량보다큰 제1 저류탱크(20) 및제2 저류탱크(62)가설치되어있다.

摘要翻译： 本发明的目的在于通过处理液在较短的时间内除去附着在基板表面上的液体，并且长时间使用处理液。 基板处理装置10具备：对晶圆W进行超临界处理的处理容器1，流体供给管路51，流体排出管路52，第一循环管路53， 和第二循环线（60）。 第一循环管线53和第二循环管线60设置有比处理容器1的容纳容积大的第​​一储存罐20和第二储存罐62。

公开(公告)号：KR101681190B1

公开(公告)日：2016-12-02

申请号：KR1020150067845

申请日：2015-05-15

申请人： 세메스 주식회사

发明人： 김붕 ,  한민성 ,  박주집 ,  김우영

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/324

CPC分类号： F26B21/145 ,  F26B3/04 ,  F26B9/06 ,  F26B21/10 ,  F26B21/12 ,  F26B21/14 ,  H01L21/02101 ,  H01L21/67034 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67248 ,  H01L21/67253

摘要： 본발명에따른기판건조장치는기판을처리하는공간을제공하는챔버와; 상기챔버에공정유체를공급하는유체공급유닛을포함하되, 상기유체공급유닛은, 상기유체가저장되는공급탱크와; 상기공급탱크와상기챔버를연결하는공급라인과; 상기공급라인의제1 지점에서분기되고, 상기공급라인의제2 지점에서연결되는분기라인과; 상기제1 지점과상기제2 지점사이에서상기공급라인과상기분기라인을흐르는유체의온도가상이하도록상기유체의온도를조절하는온도조절유닛;을포함한다.

公开(公告)号：KR1020160132000A

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：KR1020167015566

申请日：2014-10-22

申请人： 산드빅 마테리알스 테크놀로지 도이칠란트 게엠베하 ,  고틀뢰버 만프레드

发明人： 쉬롬한스-쿠르트 ,  클라인한스마티아스 ,  고틀뢰버만프레드

IPC分类号： F26B21/00 ,  F26B21/14 ,  F26B13/10

CPC分类号： F26B21/004 ,  F26B13/10 ,  F26B21/14

摘要： 본발명은평평한재료, 특히패널, 필름또는포일을위한건조기에관한것으로, 다공성의가스투과성금속판재가건조될평평한재료로부터거리를두고배치되도록제공되며, 금속판재를통해가스유체를전달하기위한수단이제공되고, 금속판재는금속폼으로만들어진다.

摘要翻译： 一种用于扁平材料，特别是面板，薄膜或片材的干燥器，其中设置多孔气体可渗透金属板，用于与待干燥的扁平材料一定距离排列，其中提供用于输送气态流体的装置 金属板，并且其中金属板是金属泡沫。

公开(公告)号：KR1020150033698A

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：KR1020157002179

申请日：2013-08-09

申请人： 데페익스 피네 케미칼스 오스트리아 게엠베하 운트 코 카게

发明人： 한바우어마르틴헬무트프리드리히 ,  란드쉬처헤르버흐

IPC分类号： C08J3/00 ,  C08F6/00 ,  F26B3/06 ,  F26B3/08 ,  F26B5/00

CPC分类号： F26B3/00 ,  A61K31/78 ,  A61K31/785 ,  C08F6/008 ,  C08F220/06 ,  C08G73/02 ,  C08J3/00 ,  C08J2333/02 ,  C08J2379/02 ,  F26B1/00 ,  F26B3/06 ,  F26B3/08 ,  F26B5/005 ,  F26B7/00 ,  F26B21/14 ,  F26B2200/08 ,  C08F6/00

摘要： 본발명은, 건조된중합체물질을수득하기위해습윤된중합체물질을건조하는방법으로서, 습윤된중합체물질을탄수화물수용액과혼합하여, 탄수화물과습윤된중합체물질의혼합물을제공하는단계; 상기탄수화물과습윤된중합체물질의혼합물을가열및/또는여과하여일정량의휘발성물질을제거하여서, 휘발성물질함량 VC를갖는예비-건조된중합체물질을수득하는단계(예비-건조단계); 상기예비-건조된물질을유동화층에서유동화하여, 일정량의휘발성물질을추가로제거하여, 휘발성물질함량 VC를갖는건조된중합체물질을수득하는단계(유동화층 건조단계); 및상기유동화층으로부터건조된중합체물질을회수및 수집하는단계를포함하되, 이때상기 VC가 VC보다크고, 상기습윤된중합체물질이적어도중합체물질을포함하고, 상기중합체물질이, 상기중합체물질에영구적으로결합된불소를포함하는, 방법에관한것이다. 본발명은, 본발명의방법에의해수득가능한건조된중합체물질에관한것이다. 게다가, 본발명은건조된중합체물질의다양한용도뿐만아니라, 본발명의방법의다양한용도에관한것이다.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于干燥湿聚合材料以获得干燥的聚合物材料的方法，包括以下步骤：将湿的聚合物材料与碳水化合物的水溶液混合，得到湿聚合材料与碳水化合物的混合物; 并加热和/或过滤湿聚合材料的混合物与碳水化合物以除去一定量的挥发物，以获得具有挥发物含量VC干燥（预干燥步骤）的预干燥聚合材料; 在流化床中使预干燥的材料流化，以进一步除去一定量的挥发物以获得挥发物含量VC干燥（流化床干燥步骤）的干燥聚合物材料; 并从流化床中取出和收集干燥的聚合物材料; 其中VC干燥高于VC干燥，并且湿的聚合物材料至少包含聚合物材料，所述聚合物材料包括永久地结合到所述聚合物材料上的氟。 本发明还涉及通过本发明的方法可获得的干燥的聚合物材料。 此外，本发明涉及本发明方法的各种用途以及干燥的聚合物材料的各种用途。

公开(公告)号：KR101335441B1

公开(公告)日：2013-12-02

申请号：KR1020117004259

申请日：2009-08-05

申请人： 에스엠에스 그룹 게엠베하

发明人： 자이델위르겐 ,  주다우페터 ,  올레르트요아힘 ,  바흐스만랄프 ,  바움게르타이우베

IPC分类号： B21B45/02 ,  B08B5/00

CPC分类号： B21B45/0281 ,  B21B45/0218 ,  B26B13/28 ,  B26B21/14 ,  F26B13/10 ,  F26B13/28 ,  F26B21/14

摘要： 본 발명은, 압연기에서 통과하는 스트립(3) 또는 금속 박판을 건조하기 위한 방법에 있어서, 상기 스트립(3)이 열간 압연 스트립 압연기열(1) 후방에서, 또는 상기 금속 박판이 적어도 하나의 롤 스탠드(2)를 통과한 후에 냉각 구간에서 냉각제, 특히 냉각액에 의해 보다 낮은 온도로 냉각되고, 상기 냉각제, 특히 냉각액과, 그에 이어 스트립(3) 또는 금속 박판 상에 잔류하는 습기가 건조 장치(10)에 의해 스트립(3) 또는 금속 박판으로부터 제거되는 것을 특징으로 하는 상기 건조 방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020130124177A

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：KR1020127034279

申请日：2011-06-27

申请人： 파이퍼 배큠

发明人： 또벡스씬디 ,  벨레베뜨랑

IPC分类号： F26B5/04 ,  F26B7/00 ,  F26B21/14

CPC分类号： G03F1/68 ,  F26B5/048 ,  F26B7/00 ,  F26B21/14 ,  G03F1/82

摘要： 본 발명의 요지는 포토마스크를 건조하기 위한 장치로, 적어도 하나의 포토마스크(13)를 포함하는 밀폐 챔버(2)와, 상기 챔버(2) 내에 진공을 제공하고 유지하기 위한 펌핑 유닛(3)과, 상기 챔버(2) 내부에 배치되는 포토마스크(13)용 홀더(12)와, 상기 챔버(2) 내에 배치되는 적외선 방사 수단(6)과, 상기 챔버(2) 내로 가스를 분사하기 위한 시스템(10)을 포함하는 포토마스크 건조 장치이다. 본 발명에 따르면, 적외선 방사 수단은 포토마스크(13)로부터 적외선 방사 수단까지의 거리가 관계식 D=1.5×d(여기서 D는 적외선 방사원(6)을 포함하는 평면과 포토마스크(13) 간의 거리이고, d는 두 개의 적외선 방사원(6)의 중심점 간의 거리이다)에 의해 정해지도록 포토마스크(13)의 평면에 평행한 평면에 분포되는 복수의 적외선 방사원(6)을 포함하며, 가스 분사 시스템(10)은 분사기(30)가 포토마스크의 중심점(13)을 중심으로 한 90°회전에 불변하도록 포토마스크(13)의 평면에 평행한 평면에 분포되는 복수의 가스 분사기(30)를 포함한다.

摘要翻译： 本发明的目的是一种光掩模干燥装置，其包括：密封室，其包含至少一个光掩模，用于在所述室内建立和保持真空的泵送单元，放置在所述室内的光掩模的支撑件，放置在其中的红外辐射装置 在所述室内，用于将气体注入所述室的系统，其特征在于，所述红外辐射装置包括分布在平行于光掩模平面的平面中的多个红外辐射源，使得从光掩模到红外线的距离 辐射装置由以下关系给出：D = 1.5×d其中D是包含红外辐射源的平面与光掩模之间的距离，d是两个相邻红外辐射源的中心点之间的距离，并且其中气体 喷射系统包括分布在平行于光掩模平面的平面内的多个气体喷射器， 注射器遵循关于光掩模中心点的90°旋转不变性。

公开(公告)号：KR101099147B1

公开(公告)日：2011-12-27

申请号：KR1020040045614

申请日：2004-06-18

申请人： 미츠비시 가스 가가쿠 가부시키가이샤

发明人： 시다다카토시 ,  고노이히로유키 ,  구로세히데유키 ,  다나카가즈미

IPC分类号： B01J19/28 ,  B01J8/38

CPC分类号： B01J8/10 ,  B01J2208/00212 ,  B01J2208/00796 ,  F26B11/028 ,  F26B11/049 ,  F26B21/14

摘要： 본발명은회전하는밀폐식용기내부에서고분자입자를불활성기체분위기또는감압하에가열하는회분식가열장치로서, 회전중에도온도측정이가능한온도검출부가장착되고또한회전중에도감압및/또는불활성기체의교환이가능한흡/배기구가내부에장착된용기; 및상기흡/배기구와소통하기위하여용기내부에삽입되는흡/배기관을포함하고, 또한상기흡/배기관의회전시일링부가용기의외부에배치되어있는회분식가열장치에관한것이다.

公开(公告)号：KR100498528B1

公开(公告)日：2005-07-01

申请号：KR1020027016601

申请日：2001-06-05

申请人： 더 프록터 앤드 갬블 캄파니

发明人： 딕존크리스토퍼 ,  프랜스폴애마트레이몬드 ,  갠슬크리스티나마리로 ,  노예스안나바디모브나 ,  라도마이셀스키아세니브이. ,  세번스존코트 ,  토엔크리스티안아써 ,  베베르스예안

IPC分类号： C02F1/26

CPC分类号： B01J20/28033 ,  B01D17/0202 ,  B01D17/04 ,  B01J20/26 ,  B01J20/28014 ,  C10G33/02 ,  C11D3/162 ,  C11D3/3905 ,  C11D3/3932 ,  C11D3/3942 ,  C11D3/3945 ,  C11D3/395 ,  C11D3/40 ,  C11D3/43 ,  C11D7/24 ,  C11D7/263 ,  C11D7/3209 ,  C11D7/3218 ,  C11D7/5009 ,  C11D11/0017 ,  C11D11/0094 ,  D06F58/28 ,  D06F2058/2854 ,  D06L1/10 ,  D06L1/12 ,  D06M13/005 ,  D06M23/06 ,  F26B21/14

摘要： The present invention relates to a process for treating a lipophilic fluid contained in an emulsion of water and lipophilic fluid. The process includes the steps of pretreating the emulsion, removing lipophilic fluid from the emulsion, and purifying the lipophilic fluid to remove at least a portion of the impurities collected during the use of the emulsion. Method options are provided for each of the aforementioned steps.