公开(公告)号：KR101837354B1

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：KR1020170121659

申请日：2017-09-21

Applicant: 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드

Inventor： 송쉐메이 ,  브라운로이드앤서니 ,  톰슨토마스 ,  존슨데이비드씨

IPC: F17C11/00 ,  B01D11/04

CPC classification number: F17C11/002 ,  Y02E60/321

Abstract: 본발명은부분적으로승압에서고순도아세틸렌을수용하기위한압력용기를제조하는방법에관한것이다. 본방법은다공성충전제함유압력용기를제공하는단계, 다공성충전제함유압력용기를딥클리닝하는단계, 용매를정제하는단계, 및딥클리닝된다공성충전제함유압력용기에정제된용매를충전하는단계를포함한다. 그런다음, 고순도아세틸렌의저장, 수송및/또는전달을위해압력용기에고순도아세틸렌을충전한다. 고순도아세틸렌은반도체용품에탄소및 탄소함유필름을침착시키기위한원료물질로유용할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造用于在高压下接收高纯度乙炔的压力容器的方法。 该方法包括的充电溶剂纯化步骤的步骤中，在多孔含填料的压力容器，以提供含压力容器中的多孔填料与浸渍清洁方法，其包括，包括纯化所述溶剂，mitdip清洗多孔填料的压力容器中。 然后用于存储所述高纯度乙炔，运输和/或输送中填充有高纯度的乙炔的压力容器。 高纯度乙炔可用作在半导体制品中沉积含碳和碳膜的原料。

公开(公告)号：KR1020170110559A

公开(公告)日：2017-10-11

申请号：KR1020170121659

申请日：2017-09-21

Applicant: 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드

Inventor： 송쉐메이 ,  브라운로이드앤서니 ,  톰슨토마스 ,  존슨데이비드씨

IPC: F17C11/00 ,  B01D11/04

CPC classification number: F17C11/002 ,  Y02E60/321 ,  B01D11/04 ,  F17C11/005 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/017 ,  F17C2221/018 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2225/0123

Abstract: 본발명은부분적으로승압에서고순도아세틸렌을수용하기위한압력용기를제조하는방법에관한것이다. 본방법은다공성충전제함유압력용기를제공하는단계, 다공성충전제함유압력용기를딥클리닝하는단계, 용매를정제하는단계, 및딥클리닝된다공성충전제함유압력용기에정제된용매를충전하는단계를포함한다. 그런다음, 고순도아세틸렌의저장, 수송및/또는전달을위해압력용기에고순도아세틸렌을충전한다. 고순도아세틸렌은반도체용품에탄소및 탄소함유필름을침착시키기위한원료물질로유용할수 있다.

公开(公告)号：KR1020100128250A

公开(公告)日：2010-12-07

申请号：KR1020100049025

申请日：2010-05-26

Applicant: 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드

Inventor： 송쉐메이 ,  브라운로이드앤서니 ,  톰슨토마스 ,  존슨데이비드씨

IPC: F17C11/00 ,  B01D11/04

CPC classification number: F17C11/002 ,  Y02E60/321 ,  B01D11/04 ,  F17C11/005 ,  F17C2221/012 ,  F17C2221/016 ,  F17C2221/017 ,  F17C2221/018 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2225/0123

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a cylinder for accepting high purity acetylene is provided to prevent the contamination by pressing a solvent container using gas and charging solvent in an acetylene cylinder. CONSTITUTION: Provided is a porous filler containing pressure vessel. The porous filler containing pressure vessel is deep-cleaned. Solvent is refined. The refined solvent is charged in the deep-cleaned porous filler containing pressure vessel. Solvent is exhausted from a vacuum container. The vacuum container comprises the vapor space solvent. When the refined solvent is charged in the deep-cleaned porous filler containing pressure vessel, pressure is applied in the vacuum container using hydrocarbon gas, helium, hydrogen, argon or gas.

Abstract translation: 目的：提供用于接收高纯度乙炔的气缸的制造方法，以防止在乙炔气缸中使用气体和加料溶剂压制溶剂容器来污染。 构成：提供含有压力容器的多孔填料。 含有多孔填料的压力容器被深层清洗。 溶剂精制。 将精制溶剂装入含有压力容器的深度清洁的多孔填料中。 溶剂从真空容器中排出。 真空容器包含蒸气空间溶剂。 当将精制溶剂装入含有压力容器的深度清洁的多孔填料中时，使用烃气体，氦气，氢气，氩气或气体在真空容器中施加压力。