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公开(公告)号：KR1020180053874A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：KR1020160150965
申请日：2016-11-14
申请人： 한국과학기술연구원
CPC分类号： C23C14/22 , C01B21/064 , C01P2004/13 , C23C14/0036 , C23C14/0057 , C23C14/0647 , C23C14/325 , C23C14/58 , C23C28/32 , C23C28/34
摘要： 반응챔버; 반응챔버내에위치하는음극전극봉; 음극전극봉과아크방전을일으키는양극전극봉으로서, 붕소섬유및 금속층을포함하는양극전극봉; 및반응챔버내에버퍼가스및 질소공급가스를주입하는가스주입구;를포함하는질화붕소나노튜브제조장치가제공된다.
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4.发明公开
公开(公告)号：KR1020170038499A
公开(公告)日：2017-04-07
申请号：KR1020150137941
申请日：2015-09-30
申请人： 한국과학기술연구원
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/205
摘要： 본원발명은원격고주파유도결합플라즈마가적용된화학적기상증착방법을이용하여금속촉매표면위에고품질육방질화붕소막 (h-BN, Hexagonal Boron Nitride, White Graphene) 을성장시키는공정기술에대한것으로, 보다구체적으로는금속촉매를가열하여금속촉매표면의그레인크기를증가시키는어닐링단계; 어닐링된 금속촉매를육방질화붕소막제조온도로급속냉각하는금속촉매냉각단계; 육방질화붕소막의전구체를공급하는전구체공급단계; 원격고주파유도결합플라즈마를적용하여금속촉매위에육방질화붕소막을형성하는육방질화붕소막제조단계; 및상기육방질화붕소막을상온으로급속냉각하는육방질화붕소막냉각단계를포함하는것을특징으로하는원격고주파유도결합플라즈마를이용한육방질화붕소막의제조방법에대한것이다. 본원발명은기존의 1,000℃이상의높은온도에서화학기상증착법을적용하여제조되던육방질화붕소막을기존에비하여매우낮은온도인 500 내지 600 ℃에서도고품질로제조할수 있는장점이있다.
摘要翻译： 本发明作为用于远程感应耦合等离子体的工艺技术是使用化学气相沉积工艺，以在高品质的六方氮化硼膜（的h-BN，六方氮化硼，白石墨烯）生长的金属催化剂的表面，具体而言施加更 加热金属催化剂以增加金属催化剂表面的晶粒尺寸的退火步骤; 将退火后的金属催化剂骤冷至氮化硼硼膜形成温度的金属催化剂冷却工序; 提供硼六叠氮化物膜的前体的前体供应步骤; 通过应用远程高频电感耦合等离子体在金属催化剂上形成六氟化硼膜来制备硼六键氮化硼膜的步骤; 并且本发明涉及使用远程感应耦合等离子体包含六方晶系氮化硼薄膜冷却的六方氮化硼薄膜快速冷却至室温步骤六方氮化硼膜的制造方法。 本发明具有产生六方氮化硼可在温度高于1000℃现有相比于常规优质甚至从500至600℃很低的温度下释放通过应用化学气相沉积工艺制备的膜的优点。
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公开(公告)号：KR101712003B1
公开(公告)日：2017-03-03
申请号：KR1020150109065
申请日：2015-07-31
申请人： 한국과학기술연구원
IPC分类号： H01L27/115 , H01L21/314 , H01L21/02
摘要： 기판상에형성된하부전극; 하부전극상에순차적으로형성된하부절연층, 활성층및 상부절연층; 및상부절연층상에형성된상부전극을포함하는메모리소자로서, 활성층은화학기상증착으로성장된이황화몰리브덴(MoS)을포함하고, 하부및 상부절연층은각각화학기상증착으로성장된육방정질화붕소(h-BN)를포함하는것을특징으로하는쌍안정성비휘발성메모리소자가제공된다.
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公开(公告)号：KR1020150049852A
公开(公告)日：2015-05-08
申请号：KR1020130130942
申请日：2013-10-31
申请人： 한국과학기술연구원
摘要： 본발명은벽재로서메틸메타크릴레이트(Methyl methacrylate, MMA), 폴리비닐알코올(Polyvinyl alcohol, PVA), 디엑시드클로라이드(Diacidchloride)와폴리올, O/W(oil in water) 에멀젼, 에틸렌디아민(ethylene diamine)과 TDI(toluene d-iso cyanate), 및폴리우레탄(Polyurethane)으로이루어진군에서선택된수지를코어재에계면중합하는단계를포함하는마이크로캡슐의제조방법, 상기의제조방법으로제조된마이크로캡슐및 상기마이크로캡슐을포함하는자가회복다기능수지코팅용조성물을제공한다.
摘要翻译： 在本发明中，提供了一种微胶囊的制造方法，包括以下步骤：将选自甲基丙烯酸甲酯（MMA），聚乙烯醇（PVA），二酰氯和多元醇，水包油乳液，乙二胺 ，甲苯d-iso氰酸酯（TDI）和作为壁材料的芯材上的聚氨酯，通过该方法制造的微胶囊和用于涂布包含微胶囊的自愈多功能树脂的组合物。
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公开(公告)号：KR1020210055400A
公开(公告)日：2021-05-17
申请号：KR1020190141796
申请日：2019-11-07
IPC分类号： C01B32/198 , C01B32/194 , B01J19/08
摘要： 본발명의일 관점에따르면, 환원된산화그래핀제조방법을제공한다. 상기환원된산화그래핀제조방법은산화그래핀분말이분산된혼합용액을탄소계전도성와이어가구비된챔버내에충진시키는단계; 및상기혼합용액에전력을인가하여상기탄소계전도성와이어를구성하는탄소물질을전기적으로폭발시켜상기혼합용액내 상기산화그래핀분말이환원되는단계;를포함한다.
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公开(公告)号：KR20210015497A
公开(公告)日：2021-02-10
申请号：KR20190094452
申请日：2019-08-02
申请人： 한국과학기술연구원
IPC分类号： C01B21/064 , B01J19/12
摘要： 본명세서에서는, 반응챔버; 반응챔버내에위치한타겟; 상기타겟상에붕소전구체또는붕소-금속촉매복합전구체를공급하는연속주입장치; 및상기타겟의일 부분에에너지를조사하여질화붕소나노튜브를생성하는에너지공급장치;를포함하는것을특징으로하는, 질화붕소나노튜브연속제조장치가제공된다.
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