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公开(公告)号：KR1020130094505A
公开(公告)日：2013-08-26
申请号：KR1020120015808
申请日：2012-02-16
Applicant: 한국광기술원
CPC classification number: C01G9/02 , B01J2/003 , B82B3/00 , G03F7/004 , G03F7/0045 , G03F7/0047
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a zinc oxide nanostructure is provided to manufacture the zinc oxide (ZnO) nanostructure which has periodic arrangement by using a formed seed with forming the seed on the different kinds of substrate. CONSTITUTION: A manufacturing method of a zinc oxide nanostructure comprises the following steps. A photoresist (20) is coated on the substrate (10). A periodic nanopattern is formed on the photoresist through an exposure and a developing process. A periodic nano distribution of the zinc (Zn) (30) is formed by performing a lift-off process. A zinc oxide (ZnO) (40) is formed by heat treating the zinc (Zn) in the oxygen or the air atmosphere. The zinc oxide (ZnO) nanostructure (50) is grown by using the periodically formed zinc oxide (ZnO) as a seed. The photoresist has a form of reversed mesa, in a step of forming the periodic nanopattern in the photoresist through the exposure and the developing process. The periodic nanopattern is a form of a line or a dot.
Abstract translation: 目的：提供一种氧化锌纳米结构的制造方法，以制造具有周期排列的氧化锌（ZnO）纳米结构，其通过使用形成的种子在不同种类的基底上形成种子。 构成：氧化锌纳米结构的制造方法包括以下步骤。 光致抗蚀剂（20）涂覆在基板（10）上。 通过曝光和显影过程在光致抗蚀剂上形成周期性纳米图案。 锌（Zn）（30）的周期性纳米分布通过进行剥离工艺而形成。 通过在氧气或空气气氛中热处理锌（Zn）形成氧化锌（ZnO）（40）。 通过使用周期性形成的氧化锌（ZnO）作为种子，生长氧化锌（ZnO）纳米结构（50）。 在通过曝光和显影过程在光致抗蚀剂中形成周期性纳米图案的步骤中，光致抗蚀剂具有反向台面的形式。 周期性纳米图案是线或点的形式。
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公开(公告)号：KR1020120047532A
公开(公告)日：2012-05-14
申请号：KR1020100109152
申请日：2010-11-04
Applicant: 한국광기술원
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an infrared sensor having a micro reflection mirror is provided to enhance the sensitivity without waste of infrared ray reaching to unit pixels of each sensor and to separates pixels by coating a reflective film on a micro back mirror. CONSTITUTION: A method for manufacturing an infrared sensor having a micro reflection mirror is as follows. Sensor unit pixels are arrayed on a Si signal acquisition circuit(10) at predetermined intervals, so that an infrared sensor array is manufactured. A polymer(30) is coated on the upper part of the sensor unit pixels and the Si signal acquisition circuit and heat cured. A photo-resistor is coated and a reflection mirror pattern(50) is exposed. A photo-resister formed in the upper part of the micro reflection mirror is eliminated. A metal film is metallized on a pattern surface of the reflection mirror.
Abstract translation: 目的：提供一种具有微反射镜的红外传感器的制造方法，以提高灵敏度，而不会浪费红外线到达每个传感器的单位像素，并通过在微型后视镜上涂覆反射膜来分离像素。 构成：具有微反射镜的红外线传感器的制造方法如下。 传感器单位像素以预定间隔排列在Si信号采集电路（10）上，从而制造红外传感器阵列。 聚合物（30）涂覆在传感器单元像素和Si信号采集电路的上部，并进行热固化。 涂覆光电阻器并暴露反射镜图案（50）。 消除了在微反射镜的上部形成的光电阻。 金属膜在反射镜的图案表面上金属化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160106790A
公开(公告)日：2016-09-13
申请号：KR1020150028780
申请日：2015-03-02
Applicant: 한국광기술원
IPC: A61B5/00
CPC classification number: A61B5/44 , A61B5/0059 , A61B5/0088 , A61B5/4547
Abstract: 피부및 치아검사시스템이제공된다. 상기피부및 치아검사시스템은서로다르거나동일한가시광선대역의파장의빛을내며서로교차되도록배치되는제1광원및 제2광원, 상기광원에의해교차되어밝은빛을내는부분의표면을영상화하는영상부및 상기영상부에의해획득된영상을확대하여미세균열이나미세형태의변화를감지할수 있도록하는영상확대부를포함한다.
Abstract translation: 提供皮肤和牙齿检查系统。 皮肤和牙齿检查系统包括：第一光源和第二光源，其布置成彼此交叉，同时发射不同或相同可见光带的波长的光; 图像单元，其被配置为使得发出亮光的部分的表面成为图像，其中所述亮光通过所述光源交叉而产生; 以及图像放大单元，被配置为放大由所述图像单元获得的图像以检测微小裂纹或微小形状的变化。
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公开(公告)号：KR101345256B1
公开(公告)日：2013-12-27
申请号：KR1020120015808
申请日：2012-02-16
Applicant: 한국광기술원
Abstract: 본발명은산화아연나노구조체제조방법에관한것으로서, 수열합성에의해나노구조를형성함에있어요구되는시드(seed)를, 이종기판상에주기적으로형성하고, 형성된시드를이용하여주기적인배열을가지는산화아연(ZnO) 나노구조체를제조하는방법을제공함에그 목적이있다. 이러한목적을달성하기위한본 발명은, (a) 기판상에포토레지스트(Photo Resist: PR)를코팅하는단계; (b) 상기포토레지스트를주기적인나노패턴을갖도록노광(expose) 및현상(develop)하는단계; (c) 아연(Zn)의주기적인나노분포를갖도록하기위하여, 리프트오프(lift-off) 공정을수행하는단계; (d) 상기아연(Zn)을산소또는공기분위기에서열처리하여산화아연(ZnO)을형성하는단계; 및 (e) 주기적으로형성된산화아연(ZnO)을시드(seed)로하여산화아연(ZnO) 나노구조체를성장(growing)시키는단계; 를포함한다.
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公开(公告)号：KR101199227B1
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020100109152
申请日：2010-11-04
Applicant: 한국광기술원
Abstract: 본 발명은 마이크로 반사경을 구비한 적외선 센서 제조방법에 관한 것으로서, Si 신호취득회로 상에 센서 단위픽셀들을 소정 간격으로 배열하여 적외선 센서 어레이를 제작하고 폴리머를 코팅한 후, 복수개의 단위픽셀 사이에 마이크로 반사경을 패터닝함으로써, 입사된 적외선이 집중될 수 있어 유효감지영역을 충분히 확보하여 필팩터를 증가시킬 수 있으며, 각 센서 단위픽셀에 도달하는 적외선을 낭비하지 않고 센서의 감도를 높일 수 있는 마이크로 반사경을 구비한 적외선 센서 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 (a) Si 신호취득회로(Readout Integrated circuit: ROIC) 상에 소정 간격으로 센서 단위픽셀들을 배열함으로써 적외선 센서 어레이 제작하는 단계; (b) 상기 Si 신호취득회로 및 센서 단위픽셀의 상부에 폴리머(Polymer)를 코팅하며, 소정 온도로 열 경화시키는 단계; (c) 포토레지스터를 코팅하고, 반사경 패턴을 형성하는 단계; (d) 상기 폴리머를 건식 식각함으로써, 마이크로 반사경 패턴을 노출시키는 단계; (e) 상기 마이크로 반사경 패턴 상부에 형성되어 있는 포토레지스터를 제거하는 단계; 및 (f) 상기 마이크로 반사경 패턴면에 금속막을 증착하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR101104309B1
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：KR1020090088242
申请日：2009-09-17
Applicant: 한국광기술원
Abstract: 본 발명은 압전체 물질을 이용한 공진기 센서에 관한 것으로 주도파로와 이격하여 공진기를 형성하고, 인가되는 압력에 따라 굴절률이 변화되는 압전체 물질을 박막 또는 광결정 구조로 공진기의 소정부분에 형성하여, 외부조건(압력) 발생 시 공진기의 공진조건을 변화시킨다. 그리고, 이때 공진기의 공진조건이 변화됨으로써 주도파로를 통과하는 광 신호가 변하게 되고 이를 통해 외부조건(압력)을 감지할 수 있다. 본 발명에 의하면 공진기를 구비한 구조에서 공진조건의 변화로 발생하는 광의 특성을 이용하여 압력의 양을 감지할 수 있다.
공진기, 광도파로, 압전체, 센서, 광결정-
公开(公告)号：KR1020110030213A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：KR1020090088242
申请日：2009-09-17
Applicant: 한국광기술원
Abstract: PURPOSE: A resonator sensor based on photonic crystal is provided to detect external conditions such as pressure through change of an optical signal passing through a main waveguide by forming a piezoelectric material into a thin film or a photonic crystal structure. CONSTITUTION: In a resonator sensor based on photonic crystal, a resonator sensor comprises a main waveguide(100), and a resonator(200). The main waveguide is comprised of a core and a cladding surrounding the core and also includes an optical coupling region. The resonator is adjacent to the optical coupling region and receives a branched optical signal while including a piezoelectric material(220) in a certain part.
Abstract translation: 目的：提供一种基于光子晶体的谐振器传感器，通过将压电材料形成为薄膜或光子晶体结构来检测通过主波导通过的光信号的变化的外部条件，例如压力。 构成：在基于光子晶体的谐振器传感器中，谐振器传感器包括主波导（100）和谐振器（200）。 主波导由芯和围绕芯的包层组成，并且还包括光耦合区域。 谐振器与光耦合区域相邻，并且在一定部分包括压电材料（220）的同时接收分支的光信号。
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