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公开(公告)号:KR1020200081855A
公开(公告)日:2020-07-08
申请号:KR1020180171801
申请日:2018-12-28
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: H01L21/027 , H01L29/16 , H01L21/3065 , H01L21/78 , H01L21/67 , H01L21/311
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公开(公告)号:KR102173057B1
公开(公告)日:2020-11-03
申请号:KR20180167284
申请日:2018-12-21
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: C01B32/184 , B01J8/00 , B01J19/08
Abstract: 본발명은도체에전류를흘려열을발생시키는줄 히팅(Joule heating)을이용한그래핀제조장치를제공함에있다. 이를위한본 발명은그래핀합성을위한공간이마련되는챔버; 및상기챔버내부에서서로이격되게배치되어, 상기챔버내부를관통하는촉매금속을지지하고그래핀합성을위해전류를공급받아상기촉매금속을줄 히팅하는제1 롤러부및 제2 롤러부;를포함하며, 상기제1 롤러부와상기제2 롤러부사이를통과하는상기촉매금속의온도편차를보상하기위하여, 상기제1 롤러부와가까운상기촉매금속의제1 영역과상기제2 롤러부와가까운상기촉매금속의제2 영역이서로마주하는이동경로를가지도록배치되는특징을개시한다.
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公开(公告)号:KR102230701B1
公开(公告)日:2021-03-22
申请号:KR1020190069765
申请日:2019-06-13
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: B41F16/00
Abstract: 본발명의일실시예는일정한변형구간에서동일한응력을가질수 있는제로탄성계수구간을가지는메타구조체및 제로탄성계수구간을가지는메타구조체설계방법을제공한다. 여기서, 제로탄성계수구간을가지는메타구조체는제1유닛그리고제2유닛을포함한다. 제1유닛은좌굴(Buckling) 가능한구조로형성되고, 응력변형률관계에서음의탄성계수를가지는구간을포함한다. 제2유닛은제1유닛에이웃하게배치되고, 응력변형률관계에서양의탄성계수를가지는구간을포함한다. 제1유닛의음의탄성계수와제2유닛의양의탄성계수의합성에의해, 미리설정된타깃변형구간에서제로탄성계수를가진다.
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公开(公告)号:KR1020200142686A
公开(公告)日:2020-12-23
申请号:KR1020190069765
申请日:2019-06-13
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: B41F16/00
Abstract: 본발명의일실시예는일정한변형구간에서동일한응력을가질수 있는제로탄성계수구간을가지는메타구조체및 제로탄성계수구간을가지는메타구조체설계방법을제공한다. 여기서, 제로탄성계수구간을가지는메타구조체는제1유닛그리고제2유닛을포함한다. 제1유닛은좌굴(Buckling) 가능한구조로형성되고, 응력변형률관계에서음의탄성계수를가지는구간을포함한다. 제2유닛은제1유닛에이웃하게배치되고, 응력변형률관계에서양의탄성계수를가지는구간을포함한다. 제1유닛의음의탄성계수와제2유닛의양의탄성계수의합성에의해, 미리설정된타깃변형구간에서제로탄성계수를가진다.
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公开(公告)号:KR102140248B1
公开(公告)日:2020-07-31
申请号:KR1020180171801
申请日:2018-12-28
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: H01L21/027 , H01L29/16 , H01L21/3065 , H01L21/78 , H01L21/67 , H01L21/311
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公开(公告)号:KR1020170010680A
公开(公告)日:2017-02-01
申请号:KR1020150102655
申请日:2015-07-20
Applicant: 한국기계연구원 , 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
Abstract: 본발명은신축성향상을위한메타계면구조물에관한것으로, 더욱상세하게는적층구조로형성된기판및 소자(전극) 사이에단원자층의 2차원재료가 2층이상적층되어이루어진메타계면이슬라이딩됨에따라, 기판에가해진변형량보다작은변형량을소자(전극)에전달함으로써전체구조물의신축성을향상시키는메타계면구조물에관한것이다. 본발명은기판(100); 상기기판(100) 상에구비되는소자층(200); 및상기기판(100) 및소자층(200) 사이에구비되며, 단원자층의 2차원재료가 2층이상적층되어형성되는메타계면층(300);을포함하여이루어진다. 또한, 메타계면구조물의제작방법은지지필름을제1 이차원재료가합성된제1 포일에코팅하는제1 포일코팅단계(S100); 에칭공정을통해상기제1 포일을제거하는제1 포일제거단계(S200); 상기지지필름이코팅된제1 이차원재료를제2 이차원재료가합성된제2 포일상에전사하는제1 전사단계(S300); 에칭공정을통해상기제2 포일을제거하는제2 포일제거단계(S400); 상기지지필름이코팅된상기제1 및제2 이차원재료를기판상에전사하는제2 전사단계(S500); 상기지지필름을제거하는지지필름제거단계(S600); 및상기제1 및제2 이차원재료인메타계면층(300) 상에소자층을적층하는소자층적층단계(S700); 로이루어진다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有改进的弹性的元接口结构,更具体而言涉及一种元接口结构,其中通过在元件和衬底之间层叠具有单原子层的两层或更多层二维材料形成的元界面 形成在层叠结构中的部件滑动以将其量相对于施加到基板的变形量的量变小,从而提高整个结构的弹性。
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公开(公告)号:KR102018576B1
公开(公告)日:2019-09-05
申请号:KR1020170181982
申请日:2017-12-28
Applicant: 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
IPC: C01B32/184 , B01J8/00 , B01J37/16
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