신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물 및 그 제작방법
    6.
    发明公开
    신축성 향상을 위한 메타 계면 구조물 및 그 제작방법 审中-实审
    用于改善灵活性的石墨元接口结构及其方法

    公开(公告)号:KR1020170010680A

    公开(公告)日:2017-02-01

    申请号:KR1020150102655

    申请日:2015-07-20

    CPC classification number: H01B1/08 H01B5/14 H01B13/00

    Abstract: 본발명은신축성향상을위한메타계면구조물에관한것으로, 더욱상세하게는적층구조로형성된기판및 소자(전극) 사이에단원자층의 2차원재료가 2층이상적층되어이루어진메타계면이슬라이딩됨에따라, 기판에가해진변형량보다작은변형량을소자(전극)에전달함으로써전체구조물의신축성을향상시키는메타계면구조물에관한것이다. 본발명은기판(100); 상기기판(100) 상에구비되는소자층(200); 및상기기판(100) 및소자층(200) 사이에구비되며, 단원자층의 2차원재료가 2층이상적층되어형성되는메타계면층(300);을포함하여이루어진다. 또한, 메타계면구조물의제작방법은지지필름을제1 이차원재료가합성된제1 포일에코팅하는제1 포일코팅단계(S100); 에칭공정을통해상기제1 포일을제거하는제1 포일제거단계(S200); 상기지지필름이코팅된제1 이차원재료를제2 이차원재료가합성된제2 포일상에전사하는제1 전사단계(S300); 에칭공정을통해상기제2 포일을제거하는제2 포일제거단계(S400); 상기지지필름이코팅된상기제1 및제2 이차원재료를기판상에전사하는제2 전사단계(S500); 상기지지필름을제거하는지지필름제거단계(S600); 및상기제1 및제2 이차원재료인메타계면층(300) 상에소자층을적층하는소자층적층단계(S700); 로이루어진다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种具有改进的弹性的元接口结构,更具体而言涉及一种元接口结构,其中通过在元件和衬底之间层叠具有单原子层的两层或更多层二维材料形成的元界面 形成在层叠结构中的部件滑动以将其量相对于施加到基板的变形量的量变小,从而提高整个结构的弹性。

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