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公开(公告)号：KR20210027782A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：KR20190108639
申请日：2019-09-03
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은환경차폐코팅층에관한것이고, 이러한환경차폐코팅층이이용된비산화물기판에관한것이며, 또한이러한환경차폐코팅층을포함한비산화물기판의제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른환경차폐코팅층을포함한비산화물기판은, 비산화물기판(10); 및환경차폐코팅층(20)을포함한다. 환경차폐코팅층(20)은 3개의층으로이루어지며, 본드코팅층(bond coating; 22); 중간코팅층(intermediate coating; 24); 및탑 코팅층(top coating; 26)으로이루어진다.
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公开(公告)号：KR101466946B1
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：KR1020120151642
申请日：2012-12-24
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: C04B35/58 , C04B35/565 , C04B35/64 , C04B37/00
Abstract: 본발명은, 지르코늄디보라이드분말, 상기지르코늄디보라이드분말평균입경의 1/10 보다작거나같은평균입경을갖는나노실리콘카바이드분말, 상기지르코늄디보라이드분말과상기나노실리콘카바이드분말의응집을억제하기위한분산제및 분말표면의산화층을제거하기위한환원제를혼합하고습식분쇄하는단계와, 습식분쇄된결과물을건조하는단계와, 건조된결과물을고온가압소결로에장입하고 1800∼2200℃의소결온도로승온하는단계및 상기소결온도에서가압하면서소결하는단계를포함하는지르코늄디보라이드-실리콘카바이드복합소재의제조방법에관한것이다. 본발명에의하면, 열보호시스템으로사용될수 있고, 지르코늄디보라이드의입성장이억제되면서실리콘카바이드간의접촉도(contiguity)가증가하고분말표면의산화층이제거되어열전도도가향상된지르코늄디보라이드-실리콘카바이드복합소재를제조할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101226633B1
公开(公告)日：2013-01-25
申请号：KR1020100130402
申请日：2010-12-20
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: C04B35/50 , C04B35/48 , C04B35/622 , C01F17/00
Abstract: 본 발명은, 플루오라이트-파이로클로어 이중구조를 이루어 (A,B)O
2 -C
2 D
2 O
7 으로 표시되며, 상기 A는 La 이고, 상기 B는 Zr
x Ce
1-x (0 y Ce
1-y (0.5-
公开(公告)号：KR1020120132247A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：KR1020110050951
申请日：2011-05-27
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: C04B35/50 , C04B35/10 , C04B35/622 , C04B35/64
CPC classification number: C04B35/50 , C04B35/10 , C04B35/64 , C04B2235/764 , C04B2235/9607
Abstract: PURPOSE: A rare earth oxide-alumina based ceramic with plasma resistance and excellent mechanical strength and a manufacturing method thereof are provided to obtain a ceramic which has phase stability and an excellent plasma-proof property. CONSTITUTION: A rare earth oxide-alumina based ceramics with plasma resistance is rare earth oxide-alumina based ceramic with a composition of A3Al5O12. A site is composed of GdxY1-x(0
Abstract translation: 目的：提供具有等离子体电阻和优异的机械强度的稀土氧化物 - 氧化铝基陶瓷及其制造方法，以获得具有相稳定性和优异的耐等离子体性能的陶瓷。 构成：具有等离子体电阻的稀土氧化物 - 氧化铝基陶瓷是具有A3Al5O12组成的稀土氧化物 - 氧化铝基陶瓷。 一个位点由GdxY1-x（0
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公开(公告)号：KR101183021B1
公开(公告)日：2012-09-14
申请号：KR1020100037282
申请日：2010-04-22
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: C23C24/08 , H01L21/205 , H01L21/02
Abstract: 본 발명은, 기판과 상기 기판 상에 형성된 Y
2 O
3 코팅막을 포함하며, 상기 Y
2 O
3 코팅막은 상기 기판의 표면과 수평한 결정면에 기인한 2θ=52.2±0.5°에서의 X-선 회절 피크와 Y
2 O
3 의 (222)면에 기인한 X-선 회절 피크가 존재하는 주상 구조의 막이며, 상기 기판의 표면과 수평한 결정면에 기인한 2θ=52.2±0.5°에서의 X-선 회절 피크의 강도가 상기 Y
2 O
3 의 (222)면에 기인한 X-선 회절 피크의 강도 대비 0.03～4.7 범위를 이루는 내플라즈마 부재 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 내플라즈마 특성이 우수하고, 오염입자 발생이 억제되며, 균열이 없고, 플라즈마에서 생성되어 가속화된 입자에 의한 선택적 식각이 되지 않도록 충분히 낮은 표면조도를 가지며, 0.1㎛ 이상의 큰 기공이 없고 플라즈마에서 발생한 반응가스가 내부로 유입되지 않는 치밀하고 안정한 세라믹 코팅막이 형성될 수 있다.-
公开(公告)号：KR101123719B1
公开(公告)日：2012-03-15
申请号：KR1020090050123
申请日：2009-06-05
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 고밀도 플라즈마 환경에서 탑 코트의 박리 현상을 방지하여 내구성을 향상시킬 수 있는 전자빔증착 세라믹 피막 부재에 대하여 개시한다.
본 발명에 따른 전자빔증착 세라믹 피막 부재는 세라믹 기재 표면에 세라믹 소재의 전자빔 증착막(electron-beam deposition film)이 세라믹 탑 코트(ceramics top coat)로서 피복되어 있는 것을 특징으로 한다. 이때, 세라믹 탑 코트 하부에는 세라믹 탑 코트와 세라믹 기재와의 열팽창 계수 차이를 완화하기 위하여, 교대형 또는 농도 구배형으로 형성된 중간층이 형성되어 있다.-
公开(公告)号：KR100966249B1
公开(公告)日：2010-06-28
申请号：KR1020080030567
申请日：2008-04-02
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: B01D69/00
Abstract: 본 발명은, 수소 가스가 배출되는 통로를 제공하는 관이 내부에 형성되어 있고 다공성을 갖는 관형 지지체와, 상기 관형 지지체의 외측에 형성되어 있고 수소 이온 전도성을 가져 수소를 포함하는 혼합 가스에서 수소를 분리시켜 상기 관형 지지체로 배출하는 수소 분리막을 포함하며, 상기 수소 분리막의 기공율은 0보다 크고 0.05보다 작거나 같으며 수소 이온 전도성(log σT)은 900℃에서 측정된 값이 0.01보다 크거나 같고 1보다 작거나 같은 관형의 수소 분리막체 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 수소 이온 전도도를 갖는 수소 분리막 소재가 가능한 얇은 두께로 다공성의 관형 지지체 상에 코팅됨으로써 수소 분리 특성을 향상시킬 수 있다.
수소 분리막, 관형 지지체, 다공성 코팅막, 기공율, 수소 가스
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