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公开(公告)号：KR102085191B1
公开(公告)日：2020-03-05
申请号：KR1020187012302
申请日：2016-09-28
Applicant: 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게
Inventor： 힌리치안드레아스 , 더치수잔 , 미릭안톤 , 쉐퍼마이클 , 바흐만크리스티안 , 율리히홀저 , 오스터발드프랑크 , 베닝데이비드 , 러츠키야첵 , 폴센라스 , 세푸스프랑크 , 베커마틴
IPC: H01L21/48 , H01L21/683 , H01L23/14 , H01L23/373 , H01L23/495 , H01L23/00 , H05K3/34
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