公开(公告)号：KR102085191B1

公开(公告)日：2020-03-05

申请号：KR1020187012302

申请日：2016-09-28

Applicant: 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게

Inventor： 힌리치안드레아스 ,  더치수잔 ,  미릭안톤 ,  쉐퍼마이클 ,  바흐만크리스티안 ,  율리히홀저 ,  오스터발드프랑크 ,  베닝데이비드 ,  러츠키야첵 ,  폴센라스 ,  세푸스프랑크 ,  베커마틴

IPC: H01L21/48 ,  H01L21/683 ,  H01L23/14 ,  H01L23/373 ,  H01L23/495 ,  H01L23/00 ,  H05K3/34

公开(公告)号：KR102015995B1

公开(公告)日：2019-10-21

申请号：KR1020177002363

申请日：2015-06-15

Applicant: 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게

Inventor： 바이젤러엘리사 ,  크뤼거프랑크 ,  블레이퍼쓰마틴 ,  샤퍼미카엘 ,  힌리치안드레아스 ,  클레인안드레아스슈테펜 ,  바흐만크리스티안 ,  율리히홀저 ,  오스터발드프랑크 ,  베닝데이비드 ,  러츠키야첵 ,  폴센라스 ,  세푸스프랑크 ,  베커마틴

IPC: H01L23/00 ,  H01L21/48 ,  H01L21/683 ,  H01L21/78

公开(公告)号：KR102047899B1

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：KR1020150164613

申请日：2015-11-24

Applicant: 헤레우스 도이칠란트 게엠베하 운트 코. 카게

Inventor： 블레이퍼쓰마틴 ,  힌리치안드레아스 ,  클레인안드레아스 ,  샤퍼미카엘 ,  크릴엘리사 ,  바흐만크리스티안 ,  율리히홀저 ,  오스터발드프랑크 ,  베닝데이비드 ,  러츠키야첵 ,  폴센라스 ,  세푸스프랑크 ,  베커마틴

IPC: H01L23/498 ,  H01L23/00