公开(公告)号：KR1020120002452A

公开(公告)日：2012-01-05

申请号：KR1020110062452

申请日：2011-06-27

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 코다마쿠니히코 ,  코다마켄이치

IPC分类号： C11D7/26 ,  B41J2/165

CPC分类号： G03F7/0045 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C11D3/0063 ,  C11D3/2068 ,  C11D3/2093 ,  C11D7/263 ,  C11D7/266 ,  G03F7/0002 ,  C11D7/26 ,  B41J2/165 ,  C11D7/00

摘要： PURPOSE: Maintenance liquid is provided to reduce the defect of pattern transfer in case of ultra fine pattern transferring. CONSTITUTION: Maintenance liquid comprises compounds containing an ester and/or an ether functional group. The maintenance liquid is used for a pattern forming method including: a step of discharging a photo curable composition mainly containing polymerizable monomers, on a substrate or a mold having ultra fine patterns, by using ink-jet device; and a step of photo-radiating with a state inserted by the substrate and the mold.

摘要翻译： 目的：提供维护液，以减少在超细图案转印的情况下图案转印的缺陷。 构成：维护液体包含含有酯和/或醚官能团的化合物。 维护液用于图案形成方法，包括：通过使用喷墨装置将主要含有可聚合单体的光固化组合物，在具有超细图案的基材或模具上排出的步骤; 以及由基板和模具插入的状态进行光辐射的步骤。

公开(公告)号：KR101917169B1

公开(公告)日：2019-01-24

申请号：KR1020110062452

申请日：2011-06-27

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 코다마쿠니히코 ,  코다마켄이치

IPC分类号： C11D7/26 ,  B41J2/165

公开(公告)号：KR101574990B1

公开(公告)日：2015-12-07

申请号：KR1020127027090

申请日：2011-03-15

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 코다마켄이치

IPC分类号： B05C5/02 ,  B05D1/26 ,  H01L21/027 ,  B05C11/10

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B41M7/0081 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： 액체도포장치는: 기판상에기능성을갖는액체의액적을방출하는복수의노즐을포함하는헤드, 헤드및 기판을서로상대이동방향으로상대이동시키는상대이동장치, 소정액적방출주기로헤드를동작시켜기판상에액적을이산적으로착탄시키는액적방출제어장치, 상대이동방향과직교하는 x 방향에있어서기판상에액적의착탄간격을가변시키는 x-방향액적착탄간격변경장치, 및상대이동방향과평행한 y 방향에있어서기판상의액적의착탄간격을가변시키는 y-방향액적착탄간격변경장치를포함한다.

公开(公告)号：KR101808128B1

公开(公告)日：2017-12-13

申请号：KR1020157036543

申请日：2014-06-23

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 고토유이치로 ,  오오마츠타다시 ,  키타가와히로타카 ,  에노모토유이치로 ,  코다마켄이치

IPC分类号： B05D1/26 ,  B05D7/24 ,  C09D11/38 ,  C09D11/30 ,  C09D11/101 ,  C08L71/00 ,  C08K5/06 ,  C08K5/103 ,  C08K5/12

CPC分类号： C09D11/30 ,  B41J2/01 ,  C08G65/007 ,  C08G65/3322 ,  C08K5/06 ,  C08K5/103 ,  C08K5/12 ,  C09D11/101 ,  C09D11/106 ,  C09D11/38 ,  C09D133/06 ,  G03F7/0002

摘要： 잔막의제어(박막화, 균일화)에필요한 6pL 이하의미적토출용헤드를사용한경우에도, 적절히토출가능하며, 이토출방법을이용하여얻어진패턴이이형성이우수하고, 또한그 패턴이양호해지는토출방법을제공하는것이다. 하기 (a)~(c)를충족하는광경화성조성물을 6pL 이하의액적사이즈로토출하는것을포함하는, 잉크젯토출방법; (a) 함불소재료를, 상기조성물의 4질량% 이상의비율로함유한다; (b) 상기조성물의표면장력이, 25~35mN/m이다; (c) 비점이 200℃이하인용제의함유량이상기조성물의 5질량% 이하이다.

公开(公告)号：KR1020160013166A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：KR1020157036543

申请日：2014-06-23

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 고토유이치로 ,  오오마츠타다시 ,  키타가와히로타카 ,  에노모토유이치로 ,  코다마켄이치

IPC分类号： B05D1/26 ,  B05D7/24 ,  C09D11/38 ,  C09D11/30 ,  C09D11/101 ,  C08L71/00 ,  C08K5/06 ,  C08K5/103 ,  C08K5/12

CPC分类号： C09D11/30 ,  B41J2/01 ,  C08G65/007 ,  C08G65/3322 ,  C08K5/06 ,  C08K5/103 ,  C08K5/12 ,  C09D11/101 ,  C09D11/106 ,  C09D11/38 ,  C09D133/06 ,  G03F7/0002

摘要： 잔막의제어(박막화, 균일화)에필요한 6pL 이하의미적토출용헤드를사용한경우에도, 적절히토출가능하며, 이토출방법을이용하여얻어진패턴이이형성이우수하고, 또한그 패턴이양호해지는토출방법을제공하는것이다. 하기 (a)~(c)를충족하는광경화성조성물을 6pL 이하의액적사이즈로토출하는것을포함하는, 잉크젯토출방법; (a) 함불소재료를, 상기조성물의 4질량% 이상의비율로함유한다; (b) 상기조성물의표면장력이, 25~35mN/m이다; (c) 비점이 200℃이하인용제의함유량이상기조성물의 5질량% 이하이다.

公开(公告)号：KR1020130016291A

公开(公告)日：2013-02-14

申请号：KR1020127027090

申请日：2011-03-15

申请人： 후지필름 가부시키가이샤

发明人： 코다마켄이치

IPC分类号： B05C5/02 ,  B05D1/26 ,  H01L21/027 ,  B05C11/10

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B41M7/0081 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  B05C5/0216 ,  B05C5/027 ,  B05C11/101 ,  B05D1/26 ,  H01L21/0274

摘要： 액체 도포 장치는: 기판 상에 기능성을 갖는 액체의 액적을 방출하는 복수의 노즐을 포함하는 헤드, 헤드 및 기판을 서로 상대 이동 방향으로 상대 이동시키는 상대 이동 장치, 소정 액적 방출 주기로 헤드를 동작시켜 기판 상에 액적을 이산적으로 착탄시키는 액적 방출 제어 장치, 상대 이동 방향과 직교하는 x 방향에 있어서 기판 상에 액적의 착탄 간격을 가변시키는 x-방향 액적 착탄 간격 변경 장치, 및 상대 이동 방향과 평행한 y 방향에 있어서 기판 상의 액적의 착탄 간격을 가변시키는 y-방향 액적 착탄 간격 변경 장치를 포함한다.