公开(公告)号：KR20180030725A

公开(公告)日：2018-03-23

申请号：KR20187007154

申请日：2011-02-22

申请人： IDEMITSU KOSAN CO

发明人： ITOSE MASAYUKI ,  NISHIMURA MAMI ,  KASAMI MASASHI ,  YANO KOKI

IPC分类号： C04B35/01 ,  C04B35/457 ,  C04B35/626 ,  C04B37/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  H01L29/06 ,  H01L29/66 ,  H01L29/786

CPC分类号： C04B35/01 ,  C04B35/457 ,  C04B35/6261 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62675 ,  C04B35/62695 ,  C04B37/026 ,  C04B2235/3284 ,  C04B2235/3286 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/5409 ,  C04B2235/604 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/658 ,  C04B2235/6585 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/95 ,  C04B2237/02 ,  C04B2237/10 ,  C04B2237/34 ,  C04B2237/407 ,  C23C14/086 ,  C23C14/3414 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02631 ,  H01L29/66969 ,  H01L29/78693

摘要： 인듐원소(In), 갈륨원소(Ga) 및주석원소(Sn)를하기수학식 1∼3의원자비로포함하는산화물소결체. [수학식 1] 0.10≤In/(In+Ga+Sn)≤0.60 [수학식 2] 0.10≤Ga/(In+Ga+Sn)≤0.55 [수학식 3] 0.0001

摘要翻译： 一种氧化物烧结体，其特征在于，以下述式（1）〜（3）表示的原子比例含有铟元素（In），镓元素（Ga）和锡元素（Sn）：0.10＆nE; In /（In + Ga + Sn） ＆nlE; 0.60（1）0.10＆nlE; Ga /（In + Ga + Sn）＆nlE; 0.55（2）0.0001