레이저 가공장치
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:KR101798174B1

    公开(公告)日:2017-11-15

    申请号:KR1020117011529

    申请日:2009-12-04

    Abstract: 실린드리칼렌즈(4)는레이저광(L1)을 Y축방향(즉, YZ평면내)에서발산시키고, X축방향(즉, ZX평면내)에서발산및 수속시키지않는다. 그리고, 대물렌즈(5)는실린드리칼렌즈(4)로부터출사된레이저광(L1)을 Y축방향에서점 P1으로수속시키고, X축방향에서점 P2로수속시킨다. 또한, 1쌍의나이프엣지(13)는대물렌즈(5)에입사하는레이저광(L1)의발산각θ를 Y축방향에서조절한다. 이것에의해, 레이저광(L1)의단면형상은점 P2에서 Y축방향으로연장하는길이가긴 형상이되어, Y축방향의최대길이가조절된다. 이때문에, 점 P2를가공대상물(S)의표면에위치시킴으로써, Y축방향으로소망한길이로연장하는길이가긴 형상의가공영역을가공대상물(S)의표면에형성할수 있다.

    극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공대상을 변성시키는 방법 및 장치
    4.
    发明公开
    극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공대상을 변성시키는 방법 및 장치 审中-实审
    使用超短脉冲激光来修改待处理对象的方法和设备

    公开(公告)号:KR1020170034760A

    公开(公告)日:2017-03-29

    申请号:KR1020160084874

    申请日:2016-07-05

    Inventor: 김윤석 유준호

    Abstract: 본발명은가공대상을로딩하기위한스테이지; 극초단펄스레이저빔을생성하는레이저소스및 상기레이저소스로부터생성된레이저빔을상기스테이지상에로딩된가공대상에조사시키기위한광학계를포함하는레이저빔 조사장치; 가공대상에적합한극초단펄스레이저빔을생성시키기위한레이저가공조건및 가공대상의 3차원공간좌표를설정가능한레이저빔 제어부; 및상기펄스레이저빔 조사에따른가공대상의표면을관찰가능한주사전자현미경;을포함하는, 극초단펄스레이저를이용하여가공대상의표면또는내부를변성시키는가공장치, 및이를이용하여극초단펄스레이저빔을이용해가공대상의적어도일부를절단또는표면처리하여변성시키는방법에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种处理装置,包括:用于装载工件的工作台; 一种激光束照射装置,包括用于产生超短脉冲激光束的激光源和用于将从激光源产生的激光束照射到装载在工作台上的工件上的光学系统; 激光束控制单元,其能够设定待处理对象的激光加工条件和三维空间坐标,以产生适合于待处理对象的超短脉冲激光束; 并根据目标的脉冲激光束照射处理用面观察的扫描型电子显微镜;用于通过使用脉冲激光的表面改性处理或处理对象内部作业设备,含有超,并且通过使用该超短脉冲激光 本发明涉及一种通过使用光束进行切割或表面处理来修改待处理物体的至少一部分的方法。

    레이저 조사 영역의 실시간 온도 측정을 위한 챔버 유닛 및 이를 포함하는 레이저 가공 시스템
    5.
    发明授权
    레이저 조사 영역의 실시간 온도 측정을 위한 챔버 유닛 및 이를 포함하는 레이저 가공 시스템 有权
    用于激光照射区域和激光加工系统的实时温度测量的腔室单元

    公开(公告)号:KR101715353B1

    公开(公告)日:2017-03-10

    申请号:KR1020150108865

    申请日:2015-07-31

    Abstract: 레이저조사영역의실시간온도측정을위한챔버유닛및 이를포함하는레이저가공시스템이개시된다. 개시된챔버유닛은베이스플레이트와, 상기베이스플레이트를덮도록마련되는커버플레이트와, 상기커버플레이트에마련되는것으로레이저빔이투과하는제1 윈도우와, 상기커버플레이트에상기제1 윈도우와이격되게마련되는것으로상기가공대상물의특정영역에대한온도측정을위한측정빔이투과하는제2 윈도우를포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种用于激光照射区域的实时温度测量的腔室单元和包括该腔室单元的激光处理系统。 所公开的腔室单元和设置在所述盖板,以覆盖所述基板和所述基板,并且所述第一窗口用于激光束被发送在盖板将被提供,提供了所述盖板与所述第一窗口隔开, 还有第二窗口,通过该窗口传输用于对象的特定区域的温度测量的测量光束。

    레이저 조사 영역의 실시간 온도 측정을 위한 챔버 유닛 및 이를 포함하는 레이저 가공 시스템
    6.
    发明公开
    레이저 조사 영역의 실시간 온도 측정을 위한 챔버 유닛 및 이를 포함하는 레이저 가공 시스템 有权
    实时检测激光照射区域温度的腔室单元,包括腔室单元的激光加工系统

    公开(公告)号:KR1020170014871A

    公开(公告)日:2017-02-08

    申请号:KR1020150108865

    申请日:2015-07-31

    Abstract: 레이저조사영역의실시간온도측정을위한챔버유닛및 이를포함하는레이저가공시스템이개시된다. 개시된챔버유닛은베이스플레이트와, 상기베이스플레이트를덮도록마련되는커버플레이트와, 상기커버플레이트에마련되는것으로레이저빔이투과하는제1 윈도우와, 상기커버플레이트에상기제1 윈도우와이격되게마련되는것으로상기가공대상물의특정영역에대한온도측정을위한측정빔이투과하는제2 윈도우를포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种用于激光照射区域的实时温度测量的室单元和包括其的激光处理系统。 所公开的室单元包括:基板; 设置为覆盖所述基板的盖板; 第一窗口,设置在盖板上,激光束穿过该第一窗口; 以及第二窗口,其设置在所述盖板上以与所述第一窗口分离,并且用于待处理物体的特定区域的温度测量的测量光束穿过所述第二窗口。 。

    레이저 가공 장치
    7.
    发明公开
    레이저 가공 장치 审中-实审
    激光加工设备

    公开(公告)号:KR1020160143840A

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:KR1020167031990

    申请日:2015-04-21

    Abstract: 피가공재(F)를재치하는정반(D); 레일(E); 새들(1), 가터(2), 횡행캐리지(3) 및레이저노즐(5)을가지며, 새들을레일에따라주행시키고횡행캐리지를가터에따라횡행시키면서레이저노즐(5)에서피가공재(F)를향해레이저광을조하사여절단또는용접하는가공대차(A); 가공대차의거의전면을덮는커버(B)로상면커버체(11), 레이저노즐측커버체(12), 가터측커버체(13) 및측면커버체(14, 15)를가지는커버; 레이저노즐측커버체와가터측커버체의하단측에상기하단부와정반의상면사이의간극에서레이저광이새어나가는것을방지하기위한가요성을가지는차광부재(C);가설치되어있다.

    Abstract translation: 一种激光加工装置,其具有放置有待加工材料(F)的表面板(D),轨道(E),鞍座(1),突起(2),水平支架(3)和 激光喷嘴(5),并附接有:使所述鞍座沿着所述轨道行进的加工台车(A),使所述水平滑架沿着所述支架水平行进,将来自所述激光喷嘴(5)的激光照射到所述激光喷嘴 要加工的材料(F),切割或焊接相同; 盖子(B),其基本上覆盖加工台车的整个表面,并且具有上表面盖(11),激光喷嘴侧盖(12),吊耳侧盖(13)和侧表面盖 ,15); 并且在激光喷嘴侧盖的下端侧和吊架侧罩上设有用于防止激光从所述下端部与所述下端部的上表面之间的间隙泄漏的柔性遮光部件(C) 表面板。

    초정밀 복합 가공 장치 및 초정밀 복합 가공 방법
    9.
    发明授权
    초정밀 복합 가공 장치 및 초정밀 복합 가공 방법 有权
    超声波复合加工设备和超声波复合加工方法

    公开(公告)号:KR101485048B1

    公开(公告)日:2015-01-22

    申请号:KR1020137023422

    申请日:2012-03-13

    Abstract: 본 발명은, 피가공재로부터 미세 가공물을 제조하는 초정밀 복합 가공 장치로서, 피가공재를 러프하게 절삭하기 위한 전자파 가공 수단; 러프하게 절삭된 피가공재에 대하여 정밀 가공을 행하기 위한 정밀 기계 가공 수단으로서, 플래너(planar) 가공구, 쉐이퍼(shaper) 가공구, 플라이 커팅(fly cutting) 가공구, 다이아몬드 터닝(diamond turning) 가공구 및 마이크로 밀링(micro-milling) 가공구로 이루어지는 군으로부터 선택되는 절삭 가공구가 교체 가능하게 되어 있는 정밀 기계 가공 수단; 전자파 가공 수단 및 정밀 기계 가공 수단의 사용 시에 있어서 피가공재의 형상을 측정하기 위한 형상 측정 수단; 및 형상 측정 수단에 의해 측정된 피가공재의 형상의 정보에 기초하여, 전자파 가공 수단 또는 정밀 기계 가공 수단을 제어하는 제어 수단;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초정밀 복합 가공 장치에 대한 것이다.

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