公开(公告)号：KR101881549B1

公开(公告)日：2018-07-25

申请号：KR1020167001648

申请日：2001-09-13

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 후쿠요후미츠구 ,  후쿠미츠겐시 ,  우치야마나오키 ,  와쿠다도시미츠

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/38 ,  B23K26/08 ,  B23K26/40

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23K20/023 ,  B23K20/16 ,  B23K20/233 ,  B23K20/26 ,  B23K26/03 ,  B23K26/032 ,  B23K26/034 ,  B23K26/046 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/066 ,  B23K26/073 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/16 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K26/53 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/50 ,  B28D5/0011 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/023 ,  C03B33/082 ,  C03B33/102 ,  C03C23/0025 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49144 ,  Y10T83/0341

Abstract: 본발명은가공대상물의표면에용융이나절단예정라인으로부터벗어난갈라짐이생기지않고가공대상물을절단할수 있는절단방법, 가공대상물절단방법및 광투과성재료절단방법을제공한다. 다광자흡수를일으키게하는조건으로또한가공대상물(1)의내부에집광점(P)을맞추어, 펄스레이저광(L)을가공대상물(1)의표면(3)의절단예정라인(5)에조사하고있다. 집광점(P)을절단예정라인(5)에따라이동시킴으로써, 개질영역을절단예정라인(5)에따르도록가공대상물(1)의내부에형성하고있다. 개질영역을기점으로하여절단예정라인(5)에따라가공대상물(1)을나눔으로써, 비교적작은힘으로가공대상물(1)을절단할수 있다. 이레이저광(L)의조사에있어서, 가공대상물(1)의표면(3)에서는펄스레이저광(L)이거의흡수되지않기때문에, 개질영역형성이원인이되어표면(3)이용융하지않는다.

公开(公告)号：KR101871557B1

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：KR1020157013827

申请日：2001-09-13

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 후쿠요후미츠구 ,  후쿠미츠겐시 ,  우치야마나오키 ,  와쿠다도시미츠

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/08 ,  B23K26/40

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23K20/023 ,  B23K20/16 ,  B23K20/233 ,  B23K20/26 ,  B23K26/03 ,  B23K26/032 ,  B23K26/034 ,  B23K26/046 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/066 ,  B23K26/073 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/16 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K26/53 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/50 ,  B28D5/0011 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/023 ,  C03B33/082 ,  C03B33/102 ,  C03C23/0025 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49144 ,  Y10T83/0341

Abstract: 본발명은가공대상물의표면에용융이나절단예정라인으로부터벗어난갈라짐이생기지않고가공대상물을절단할수 있는절단방법, 가공대상물절단방법및 광투과성재료절단방법을제공한다. 다광자흡수를일으키게하는조건으로또한가공대상물(1)의내부에집광점(P)을맞추어, 펄스레이저광(L)을가공대상물(1)의표면(3)의절단예정라인(5)에조사하고있다. 집광점(P)을절단예정라인(5)에따라이동시킴으로써, 개질영역을절단예정라인(5)에따르도록가공대상물(1)의내부에형성하고있다. 개질영역을기점으로하여절단예정라인(5)에따라가공대상물(1)을나눔으로써, 비교적작은힘으로가공대상물(1)을절단할수 있다. 이레이저광(L)의조사에있어서, 가공대상물(1)의표면(3)에서는펄스레이저광(L)이거의흡수되지않기때문에, 개질영역형성이원인이되어표면(3)이용융하지않는다.

公开(公告)号：KR20180042462A

公开(公告)日：2018-04-25

申请号：KR20187010932

申请日：2001-09-13

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK

Inventor： FUKUYO FUMITSUGU ,  FUKUMITSU KENSHI ,  UCHIYAMA NAOKI ,  WAKUDA TOSHIMITSU

IPC: B23K26/36 ,  B28D5/00 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08 ,  B23K26/38 ,  B23K26/40 ,  B23K101/40 ,  C03B33/023 ,  C03B33/08 ,  C03B33/10 ,  C03C23/00 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/301

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23K20/023 ,  B23K20/16 ,  B23K20/233 ,  B23K20/26 ,  B23K26/0057 ,  B23K26/03 ,  B23K26/032 ,  B23K26/034 ,  B23K26/046 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/066 ,  B23K26/073 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/16 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K2201/40 ,  B23K2203/50 ,  B28D5/0011 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/023 ,  C03B33/082 ,  C03B33/102 ,  C03C23/0025 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49144 ,  Y10T83/0341

Abstract: 본발명은가공대상물의표면에용융이나절단예정라인으로부터벗어난갈라짐이생기지않고가공대상물을절단할수 있는절단방법, 가공대상물절단방법및 광투과성재료절단방법을제공한다. 다광자흡수를일으키게하는조건으로또한가공대상물(1)의내부에집광점(P)을맞추어, 펄스레이저광(L)을가공대상물(1)의표면(3)의절단예정라인(5)에조사하고있다. 집광점(P)을절단예정라인(5)에따라이동시킴으로써, 개질영역을절단예정라인(5)에따르도록가공대상물(1)의내부에형성하고있다. 개질영역을기점으로하여절단예정라인(5)에따라가공대상물(1)을나눔으로써, 비교적작은힘으로가공대상물(1)을절단할수 있다. 이레이저광(L)의조사에있어서, 가공대상물(1)의표면(3)에서는펄스레이저광(L)이거의흡수되지않기때문에, 개질영역형성이원인이되어표면(3)이용융하지않는다.

公开(公告)号：KR101798174B1

公开(公告)日：2017-11-15

申请号：KR1020117011529

申请日：2009-12-04

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 후쿠미츠겐시 ,  오이시신고 ,  아오시마신이치로

IPC: B23K26/042 ,  B23K26/03 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073

CPC classification number: B23K26/0732 ,  B23K26/0617 ,  B23K26/073 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/08

Abstract: 실린드리칼렌즈(4)는레이저광(L1)을 Y축방향(즉, YZ평면내)에서발산시키고, X축방향(즉, ZX평면내)에서발산및 수속시키지않는다. 그리고, 대물렌즈(5)는실린드리칼렌즈(4)로부터출사된레이저광(L1)을 Y축방향에서점 P1으로수속시키고, X축방향에서점 P2로수속시킨다. 또한, 1쌍의나이프엣지(13)는대물렌즈(5)에입사하는레이저광(L1)의발산각θ를 Y축방향에서조절한다. 이것에의해, 레이저광(L1)의단면형상은점 P2에서 Y축방향으로연장하는길이가긴 형상이되어, Y축방향의최대길이가조절된다. 이때문에, 점 P2를가공대상물(S)의표면에위치시킴으로써, Y축방향으로소망한길이로연장하는길이가긴 형상의가공영역을가공대상물(S)의표면에형성할수 있다.

公开(公告)号：KR1020170009833A

公开(公告)日：2017-01-25

申请号：KR1020167029664

申请日：2015-05-19

Applicant: 닛폰고세이가가쿠고교 가부시키가이샤

Inventor： 하야카와세이이치로우 ,  와타나베아키라 ,  야마모토슈우헤이 ,  쿠보타테츠야

IPC: B29C59/16 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  C09J7/02 ,  C08J7/04 ,  G02F1/1333 ,  F21V8/00

CPC classification number: B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B29C59/16 ,  C08J7/04 ,  C08L33/08 ,  C09J7/20 ,  G02B6/0011 ,  G02F1/13338

Abstract: 고경도이며광학특성이나열기계특성에뛰어나며, 접힘성에도뛰어나고, 경량박형화, 접이식디스플레이등의요망에대응할수 있는수지시트로서, 가교수지 (A)로이루어진두께 0.1∼1㎜이고연필경도가 3H 이상의투명한수지시트로써, 면내의한 방향으로수지시트를접기위한띠 형태리세스가, 한쪽면 또는양면에적어도 1개형성되어있는것을특징으로하는수지시트

Abstract translation: 作为具有优异的光学特性和高硬度的热机械特性的树脂片，具有优异的折叠性，并且可以适应于重量轻，折叠显示等的这种要求，提供一种透明树脂片，其由 交联树脂（A），其厚度为0.1-1mm，铅笔硬度为3H以上，其特征在于，在一个面内形成有至少一个用于折叠树脂片的带状凹部 方向在一侧或两侧。

公开(公告)号：KR1020160100392A

公开(公告)日：2016-08-23

申请号：KR1020167019697

申请日：2014-12-04

Applicant: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디

Inventor： 미즈무라미치노부

IPC: C23C14/04 ,  H01L21/027

CPC classification number: C23C14/042 ,  B23K26/066 ,  B23K26/073 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  H01L21/027

Abstract: 본발명은수지제의필름(20)에레이저광(L)을조사하여평면에서보았을때 다각형인개구패턴(4)을형성하는성막마스크의제조방법에있어서, 상기레이저광이투과하는투광창(18)을가지고, 이투광창(18)의외측에서, 이투광창(18)의적어도한 대변의측방영역에서의광 투과율을상기투광창의가장자리부로부터측방을향하여점차감소시킨빔 정형용마스크(10)를사용하여정형된레이저광(L)을상기필름(20)에조사하여개구가상기필름(20)의상기레이저광(L)의조사면과는반대측으로부터상기조사면측을향하여넓어지도록경사진적어도한 쌍의대향측벽(4a)을가진개구패턴(4)을형성하는것이다.

公开(公告)号：KR101523672B1

公开(公告)日：2015-05-28

申请号：KR1020130162602

申请日：2013-12-24

Applicant: 에이피에스홀딩스 주식회사

Inventor： 함상근 ,  서영덕 ,  한승범 ,  양상희

IPC: H01S3/10 ,  B23K26/064

CPC classification number: B23K26/06 ,  B23K26/073 ,  G02B27/0927

Abstract: 본발명은레이저빔 보정장치및 레이저빔 보정방법에관한것으로서, 레이저를발진하는레이저광원과, 레이저광원에서발진된레이저빔을기판으로반사시키며, 나머지반사되지않는잔여레이저빔을투과시키는출력단반사미러, 레이저빔의출력방향을기준으로상기출력단반사미러의전방에구비되는적어도하나이상의보정렌즈를구비하고, 출력단반사미러에서투과되는잔여레이저라인빔의프로파일데이터를수집하는보정계및 보정계에연결되어보정계로부터수집된라인빔 프로파일데이터의변형에따라보정렌즈의이동을제어하는제어기를포함하여, 레이저빔 중반사미러를투과하는잔여레이저빔의라인빔 프로파일데이터를수집하여, 수집된라인빔 프로파일데이터를기존의라인빔 프로파일데이터와비교하는과정에서수집된라인빔 프로파일데이터와기존의라인빔 프로파일데이터의값이상이한경우, 변형된라인빔 프로파일데이터의변화량을산출하는과정및 변화량에따라레이저라인빔의프로파일을보정하는과정을수행함으로써, 레이저라인빔의보정을위한광학계의조율이요구되지않아, 레이저라인빔 프로파일의보정시간을단축할수 있으며피조사물로의레이저라인빔의조사위치의오차발생을억제할수 있어피조사물의불량률을감소시켜공정의효율성을증가시킬수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及激光束校正装置和激光束校正方法。 激光束校正装置包括： 照射激光的激光光源; 输出端反射镜，其将从激光光源照射的激光束反射到基板中; 包括在激光束的输出方向的输出端反射镜的前侧中的一个或多个校正透镜; 收集从输出端反射镜传送的残留激光线束的轮廓数据的校正系统; 以及控制器，其根据从校正系统收集的线束轮廓数据的变化来控制校正透镜的移动。 收集在激光束之间透射反射镜的残余激光束的线束轮廓数据。 如果将收集的线束轮廓数据与现有线束轮廓数据进行比较的处理中收集的线束分布数据与现有线束轮廓数据的值不同，则用于校正 不需要激光线束，并且可以通过执行根据变化量来计算改变的线束轮廓数据的改变量并校正激光线束的轮廓的处理来减小激光束线轮廓的校正时间。 此外，可以通过抑制激光束光束对物体的照射位置的误差的产生和减少物体的不合格率来提高处理效率。

公开(公告)号：KR101506429B1

公开(公告)日：2015-03-26

申请号：KR1020147005486

申请日：2001-09-13

Applicant: 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤

Inventor： 후쿠요후미츠구 ,  후쿠미츠겐시 ,  우치야마나오키 ,  와쿠다도시미츠

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/08 ,  B23K26/40

CPC classification number: H01L21/78 ,  B23K20/023 ,  B23K20/16 ,  B23K20/233 ,  B23K20/26 ,  B23K26/0057 ,  B23K26/03 ,  B23K26/032 ,  B23K26/034 ,  B23K26/046 ,  B23K26/0624 ,  B23K26/066 ,  B23K26/073 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/16 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K2201/40 ,  B23K2203/50 ,  B28D5/0011 ,  B65G2249/04 ,  C03B33/023 ,  C03B33/082 ,  C03B33/102 ,  C03C23/0025 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/6836 ,  H01L2221/68327 ,  Y02P40/57 ,  Y10T29/49144 ,  Y10T83/0341

Abstract: 본 발명은 가공 대상물의 표면에 용융이나 절단 예정 라인으로부터 벗어난 갈라짐이 생기지 않고 가공 대상물을 절단할 수 있는 절단방법, 가공대상물 절단방법 및 광투과성 재료 절단방법을 제공한다. 다광자 흡수를 일으키게 하는 조건으로 또한 가공 대상물(1)의 내부에 집광점(P)을 맞추어, 펄스 레이저 광(L)을 가공 대상물(1)의 표면(3)의 절단 예정 라인(5)에 조사하고 있다. 집광점(P)을 절단 예정 라인(5)에 따라 이동시킴으로써, 개질 영역을 절단 예정 라인(5)에 따르도록 가공 대상물(1)의 내부에 형성하고 있다. 개질 영역을 기점으로 하여 절단 예정 라인(5)에 따라 가공 대상물(1)을 나눔으로써, 비교적 작은 힘으로 가공 대상물(1)을 절단할 수 있다. 이 레이저 광(L)의 조사에 있어서, 가공 대상물(1)의 표면(3)에서는 펄스 레이저 광(L)이 거의 흡수되지 않기 때문에, 개질 영역 형성이 원인이 되어 표면(3)이 용융하지 않는다.

公开(公告)号：KR1020140043950A

公开(公告)日：2014-04-14

申请号：KR1020120104116

申请日：2012-09-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김상현 ,  로만찰릭 ,  박종주 ,  이동근 ,  김성수

IPC: G03F1/78 ,  G03F1/68 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/268 ,  B23K26/0081 ,  B23K26/037 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  B23K26/073 ,  B23K26/352 ,  B23K26/354 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0955 ,  G02B27/0977 ,  G02B27/0988 ,  G03F1/24 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/0275 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/324 ,  G03F1/78 ,  G03F1/68

Abstract: Provided are a beam shaper, a laser annealing system, and a method for fabricating a reflective photomask using the system. The laser annealing system comprise a light source generating a laser beam, a stage formed to load the object, and a beam shaping device arranged on a path of the laser beam proceeding. The beam shaping device comprises a beam intensity shaper converting an incident beam being incident on the same into an emitted beam substantially having a concave intensity distribution and emitted from the same.

Abstract translation: 提供了一种光束整形器，激光退火系统和使用该系统制造反射光掩模的方法。 激光退火系统包括产生激光束的光源，形成为加载物体的台，以及布置在激光束进行路径上的光束整形装置。 光束整形装置包括光束成形器，其将入射到其上的入射光束转换成基本上具有凹强度分布并从其发射的发射光束。

公开(公告)号：KR101356656B1

公开(公告)日：2014-02-03

申请号：KR1020060115033

申请日：2006-11-21

Applicant: 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼

Inventor： 미야이리히데카주

IPC: G02F1/13

CPC classification number: B23K26/073 ,  B23K26/032 ,  B23K26/142 ,  B23K26/705 ,  H01L27/1266 ,  H01L27/1285 ,  H01L27/13

Abstract: 종래의 레이저 조사장치에 이용되는 기체를 분사시키는 판의 사이즈는 크고, 레이저 광이 최후에 통과하는 광학계와 판 사이의 거리는 충분하지 않기 때문에, 레이저 광이 최후에 통과하는 광학계로부터 조사된 레이저 광의 상태를 확인하는 것이 어렵다. 레이저 조사장치는, 레이저 발진기, 상기 레이저 발진기에 의해 생성된 레이저 광을 정형하는 광학계와, 기체를 분사하기 위한 개구부를 갖는 분사기와, 상기 분사기의 하부에 배치된 스테이지와, 상기 분사기와 상기 스테이지 사이의 거리를 일정하게 유지시키는 지지기구와, 상기 광학계와 상기 분사기 사이에 설치되어 상기 광학계를 통과한 레이저 광을 관찰하는 유닛을 구비한다.
레이저 조사, 광학계, 레이저광, 레이저 발진기