摘要:
본 발명은 반도체 공정에서 화학적 기계적 연마시, 질화규소막 대비 산화규소막의 제거 선택비 및/또는 광역평탄도를 향상시킬 수 있는 CMP 연마재용 산화세륨 분말에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 육방정계 결정구조의 탄산세륨을 전구 물질로 하여 제조된 산화세륨 분말; 이를 연마재로 포함하는 것이 특징인 CMP슬러리; 및 상기 CMP슬러리를 연마액으로 적용하는 것이 특징인 반도체 소자의 얕은 트랜치 소자 분리방법에 관한 것이다.
摘要:
고 발광 효율을 표시하는 도프된 금속 질화물 분말을 대량으로 생산하기 위한 간단하고, 저렴한 방법이며, 금속-도펀트 합금을 제1 형성하고 반응기의 제어된 조건으로 고순도 암모니아를 가지는 합금을 생성한다. 상기 생성된 도프된 금속 질화물 분말은 순수 도프되지 않은 질화 갈륨 분말, 도프된 질화 갈륨 박막 및 황화 아연 분말에서 보여지는 매우 뛰어난 발광 효율을 표시할 수 있다. 금속-도펀트 합금, 도프된 질화 갈륨, 도프되지 않은 질화 갈륨.
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고 발광 효율을 표시하는 도프된 금속 질화물 분말을 대량으로 생산하기 위한 간단하고, 저렴한 방법이며, 금속-도펀트 합금을 제1 형성하고 반응기의 제어된 조건으로 고순도 암모니아를 가지는 합금을 생성한다. 상기 생성된 도프된 금속 질화물 분말은 순수 도프되지 않은 질화 갈륨 분말, 도프된 질화 갈륨 박막 및 황화 아연 분말에서 보여지는 매우 뛰어난 발광 효율을 표시할 수 있다. 금속-도펀트 합금, 도프된 질화 갈륨, 도프되지 않은 질화 갈륨.
摘要:
Provided are magnesium hydroxide particles having a hexagonal crystal form and having an aspect ratio (H) which satisfies the following expression (I), (wherein H is an aspect ratio, A is an average secondary particle diameter ( mu m) of all of the particles measured by a laser diffraction scattering method and B is a specific surface area (m /g) of all of the particles measured by a BET method), a flame-retardant comprising the particles, a flame-retardant resin composition comprising 100 parts by weight of a synthetic resin and a 5 to 300 parts by weight of the magnesium hydroxide particles, and a molded article therefrom. The magnesium hydroxide particles are hexagonal single crystals, the hexagonal form thereof are not necessarily required to be regular hexagonal, and the size thereof are not necessarily constant. However, the aspect ratio thereof has a specific value in relation to the specific surface area and the average particle diameter, and the magnesium hydroxide particles have excellent properties as a flame retardant for synthetic resins.
摘要:
[과제] 화장료 원료, 방열성 필러 등으로서 사용할 수 있는 육각판상 산화아연 입자, 그 제조 방법, 그것을 배합한 화장료, 방열성 필러, 방열성 수지 조성물, 방열성 그리스, 방열성 도료 조성물을 얻는다. [해결 수단] 일차 입자경이 0.01㎛ 이상, 어스펙트비가 2.5 이상이고, 투과형 전자현미경 사진에 있어서의 250개의 입자 중, 이하의 (1)(2)를 전부 만족시키는 입자가 50% 이상으로 되는 육각형상면을 갖는 것을 특징으로 하는 육각판상 산화아연 입자. (1) 육각형상의 면을 가지는 것 (2) Dmin/Dmax≥0.3 Dmax : 육각판상 산화아연 입자의 육각형상면의 3개의 대각선 중, 최대로 되는 대각선의 길이를 의미함 Dmin : 육각판상 산화아연 입자의 육각형상면의 3개의 대각선 중, 최소로 되는 대각선의 길이를 의미함