公开(公告)号：TWI570417B

公开(公告)日：2017-02-11

申请号：TW101124558

申请日：2012-07-06

Applicant: 色拉頓系統公司 ,  CELADON SYSTEMS, INC.

Inventor： 魯特 布萊安J ,  ROOT, BRYAN J. ,  方克 威廉A ,  FUNK, WILLIAM A.

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07307 ,  G01R1/07364 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2889

公开(公告)号：TW201534925A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：TW103144850

申请日：2014-12-22

Applicant: 色拉頓系統公司 ,  CELADON SYSTEMS, INC.

Inventor： 魯特 布萊安J ,  ROOT, BRYAN J. ,  方克 威廉A ,  FUNK, WILLIAM A.

IPC: G01R1/067 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/06755 ,  G01R1/06727 ,  G01R1/07342 ,  G01R3/00

Abstract: 本發明提供一種用於探測一半導體晶圓上之一半導體裝置之探針總成。該探針總成包含各具有一平面片材結構且界定其之一片材尖端之一平面片材堆疊體。該等平面片材經對準及堆疊以形成一層疊結構，其中該等片材尖端經堆疊以形成一探測尖端陣列。一介電質層佈置於相鄰平面片材之間以提供機械間隔及其間之電隔離。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种用于探测一半导体晶圆上之一半导体设备之探针总成。该探针总成包含各具有一平面片材结构且界定其之一片材尖端之一平面片材堆栈体。该等平面片材经对准及堆栈以形成一层叠结构，其中该等片材尖端经堆栈以形成一探测尖端数组。一介电质层布置于相邻平面片材之间以提供机械间隔及其间之电隔离。

公开(公告)号：TW201314215A

公开(公告)日：2013-04-01

申请号：TW101124558

申请日：2012-07-06

Applicant: 色拉頓系統公司 ,  CELADON SYSTEMS, INC.

Inventor： 魯特 布萊安J ,  ROOT, BRYAN J. ,  方克 威廉A ,  FUNK, WILLIAM A.

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01R1/07307 ,  G01R1/07364 ,  G01R31/2601 ,  G01R31/2889

Abstract: 本發明揭示一種探針設備，該探針設備在一側上具有帶有一觸點圖案之探針導線。該觸點圖案係用於接觸另一測試設備或組件(諸如一電路板)上之一各別觸點圖案。該等探針導線具有探測期望接受測試之一裝置之尖端。信號係穿過來自探針卡之該等探針導線(舉例而言，穿過一電路板)傳輸至其他診斷設備。該探針卡與該電路板之該接觸允許使信號穿過該等探針導線傳送至該其他診斷設備。在該探針卡之另一側上係一連接器結構。該連接器結構包含一保持器，該保持器可允許自一測試系統替換該探針卡，諸如允許該探針卡自一固持器連接及斷開連接。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种探针设备，该探针设备在一侧上具有带有一触点图案之探针导线。该触点图案系用于接触另一测试设备或组件(诸如一电路板)上之一各别触点图案。该等探针导线具有探测期望接受测试之一设备之尖端。信号系穿过来自探针卡之该等探针导线(举例而言，穿过一电路板)传输至其他诊断设备。该探针卡与该电路板之该接触允许使信号穿过该等探针导线发送至该其他诊断设备。在该探针卡之另一侧上系一连接器结构。该连接器结构包含一保持器，该保持器可允许自一测试系统替换该探针卡，诸如允许该探针卡自一固持器连接及断开连接。