用於終止半導體晶圓探針裝置之裝置與方法
    3.
    发明专利
    用於終止半導體晶圓探針裝置之裝置與方法 审中-公开
    用于终止半导体晶圆探针设备之设备与方法

    公开(公告)号:TW201403075A

    公开(公告)日:2014-01-16

    申请号:TW102128885

    申请日:2006-02-17

    IPC分类号: G01R1/067 H01L21/66

    摘要: 本發明揭示一種終止一探針之探針裝置及方法,該探針採用來自一測試器之一信號電纜於該探針之一近端及該信號電纜之一遠端並排地探測一半導體器件。本具體實施例中,該探針裝置包括:一底盤;黏著於該底盤內之一介電區塊,其用於固定該探針,該探針於該底盤上自該探針之一近端延伸至該介電區塊,穿過該介電區塊,並於該探針之一遠端從該介電區塊向該半導體器件突出;以及一終止裝置,其係黏著於該底盤內,用於並排地終止該探針之該近端於該信號電纜之一遠端。

    简体摘要: 本发明揭示一种终止一探针之探针设备及方法,该探针采用来自一测试器之一信号电缆于该探针之一近端及该信号电缆之一远程并排地探测一半导体器件。本具体实施例中,该探针设备包括:一底盘;黏着于该底盘内之一介电区块,其用于固定该探针,该探针于该底盘上自该探针之一近端延伸至该介电区块,穿过该介电区块,并于该探针之一远程从该介电区块向该半导体器件突出;以及一终止设备,其系黏着于该底盘内,用于并排地终止该探针之该近端于该信号电缆之一远程。

    具有探針心搭配閂機構之測試設備
    5.
    发明专利
    具有探針心搭配閂機構之測試設備 审中-公开
    具有探针心搭配闩机构之测试设备

    公开(公告)号:TW201531716A

    公开(公告)日:2015-08-16

    申请号:TW103146642

    申请日:2014-12-31

    IPC分类号: G01R1/073

    CPC分类号: G01R1/06705 G01R31/2863

    摘要: 本發明提供一種可相對於一電路板鎖定及解鎖一探針心之閂總成。該閂總成可與該探針心嚙合以相對於一電路板對準該探針心且藉由旋轉而將該探針心向下壓抵於該電路板以鎖定該探針心與該電路板。一安裝工具經提供以將該探針心夾持至一閂總成或一探針心載體或自該閂總成或該探針心載體釋放該探針心。該安裝工具可與該探針心及/或該閂總成對準以相對於一電路板鎖定及解鎖該探針心。

    简体摘要: 本发明提供一种可相对于一电路板锁定及解锁一探针心之闩总成。该闩总成可与该探针心啮合以相对于一电路板对准该探针心且借由旋转而将该探针心向下压抵于该电路板以锁定该探针心与该电路板。一安装工具经提供以将该探针心夹持至一闩总成或一探针心载体或自该闩总成或该探针心载体释放该探针心。该安装工具可与该探针心及/或该闩总成对准以相对于一电路板锁定及解锁该探针心。

    模組化軌道系統、軌道系統、機構及用於受測試器件之設備
    7.
    发明专利
    模組化軌道系統、軌道系統、機構及用於受測試器件之設備 审中-公开
    模块化轨道系统、轨道系统、机构及用于受测试器件之设备

    公开(公告)号:TW201730567A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:TW105143727

    申请日:2016-12-28

    IPC分类号: G01R1/073 H01L21/66

    摘要: 本文中之系統、裝置及方法可提供一種多位點定位機構,其適合於結合或不結合一受控環境跨一溫度範圍長期測試一(若干)受測試器件(DUT)(例如,半導體晶圓)。本文中之該等系統、裝置及方法包含安裝組件、機構及結構,其等可提供極佳機械穩定性,允許具有高解析度之相對緊密工作距離光學器件,憑藉最小熱擾動在一受控環境中之高溫下實現精細定位。本文中之該等系統、裝置及方法可具備模組化,例如,模組化以具有可經容易地添加或移除且可允許接達至一密集堆積陣列中之探針模組之軌道及測試位點。

    简体摘要: 本文中之系统、设备及方法可提供一种多位点定位机构,其适合于结合或不结合一受控环境跨一温度范围长期测试一(若干)受测试器件(DUT)(例如,半导体晶圆)。本文中之该等系统、设备及方法包含安装组件、机构及结构,其等可提供极佳机械稳定性,允许具有高分辨率之相对紧密工作距离光学器件,凭借最小热扰动在一受控环境中之高温下实现精细定位。本文中之该等系统、设备及方法可具备模块化,例如,模块化以具有可经容易地添加或移除且可允许接达至一密集堆积数组中之探针模块之轨道及测试位点。

    具有一探針裝置之測試系統及轉位機構
    8.
    发明专利
    具有一探針裝置之測試系統及轉位機構 审中-公开
    具有一探针设备之测试系统及转位机构

    公开(公告)号:TW201712355A

    公开(公告)日:2017-04-01

    申请号:TW105141498

    申请日:2012-07-06

    IPC分类号: G01R31/28

    摘要: 本發明揭示一種探針裝置,該探針裝置在一側上具有帶有一觸點圖案之探針導線。該觸點圖案係用於接觸另一測試設備或組件(諸如一電路板)上之一各別觸點圖案。該等探針導線具有探測期望接受測試之一器件之尖端。信號係穿過來自探針卡之該等探針導線(舉例而言,穿過一電路板)傳輸至其他診斷設備。該探針卡與該電路板之該接觸允許使信號穿過該等探針導線傳送至該其他診斷設備。在該探針卡之另一側上係一連接器結構。該連接器結構包含一保持器,該保持器可允許自一測試系統替換該探針卡,諸如允許該探針卡自一固持器連接及斷開連接。

    简体摘要: 本发明揭示一种探针设备,该探针设备在一侧上具有带有一触点图案之探针导线。该触点图案系用于接触另一测试设备或组件(诸如一电路板)上之一各别触点图案。该等探针导线具有探测期望接受测试之一器件之尖端。信号系穿过来自探针卡之该等探针导线(举例而言,穿过一电路板)传输至其他诊断设备。该探针卡与该电路板之该接触允许使信号穿过该等探针导线发送至该其他诊断设备。在该探针卡之另一侧上系一连接器结构。该连接器结构包含一保持器,该保持器可允许自一测试系统替换该探针卡,诸如允许该探针卡自一固持器连接及断开连接。