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公开(公告)号:TW201326898A
公开(公告)日:2013-07-01
申请号:TW101131711
申请日:2012-08-31
申请人: 光子晶片有限公司 , PHOTON CHIP INC.
发明人: 柯正浩 , KO, CHENG HAO
CPC分类号: G02B5/1857 , B32B37/24 , B32B38/0008 , B32B38/0036 , B32B2037/243 , B32B2307/416 , B32B2310/0831 , B32B2310/085 , B32B2311/04 , B32B2311/18 , B32B2551/00 , G02B5/1861 , G02B6/12007 , G02B6/138 , G02B6/29307 , G02B6/29308 , G02B27/0944 , G03F7/0005 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/201 , G03F7/2022 , G03F7/2037
摘要: 本發明揭露一種光學波長分光裝置,主要由一第一基板、一輸入單元、一光柵、一第一光學反射單元以及一第二基板所組成。該輸入單元形成於該第一基板上,並具有一狹縫以接收一光學訊號;該光柵形成於該第一基板上,可根據該光學訊號產生一輸出之第一光束。該第一光學反射單元形成於該第一基板上,用以反射來自於該光柵的該第一光束。該第二基板則覆蓋於該輸入單元與該光柵上。其中,該輸入單元、該光柵以及該第一光反射單元係利用高能量光源對一光阻層進行曝光所形成。
简体摘要: 本发明揭露一种光学波长分光设备,主要由一第一基板、一输入单元、一光栅、一第一光学反射单元以及一第二基板所组成。该输入单元形成于该第一基板上,并具有一狭缝以接收一光学信号;该光栅形成于该第一基板上,可根据该光学信号产生一输出之第一光束。该第一光学反射单元形成于该第一基板上,用以反射来自于该光栅的该第一光束。该第二基板则覆盖于该输入单元与该光栅上。其中,该输入单元、该光栅以及该第一光反射单元系利用高能量光源对一光阻层进行曝光所形成。
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公开(公告)号:TW201321903A
公开(公告)日:2013-06-01
申请号:TW101131710
申请日:2012-08-31
申请人: 光子晶片有限公司 , PHOTON CHIP INC.
发明人: 柯正浩 , KO, CHENG HAO
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G01J3/04 , G01J3/02 , G02B6/12007 , G02B6/138 , G02B6/29307 , G02B6/29308 , G02B6/2931 , G02B2006/12107 , G03F7/0005 , G03F7/16 , G03F7/2002 , G03F7/201 , G03F7/2024 , G03F7/203 , G03F7/2039 , G03F7/30
摘要: 本發明揭露一種光學波長分光裝置,主要由一第一基板、一輸入單元、一光柵以及一第二基板所組成。該輸入單元形成於該第一基板上,並具有一狹縫以接收一光學訊號;該光柵形成於該第一基板上,可根據該光學訊號產生一輸出之第一光束。其中,該輸入單元以及該光柵係利用高能量光源對一光阻層進行曝光所形成。
简体摘要: 本发明揭露一种光学波长分光设备,主要由一第一基板、一输入单元、一光栅以及一第二基板所组成。该输入单元形成于该第一基板上,并具有一狭缝以接收一光学信号;该光栅形成于该第一基板上,可根据该光学信号产生一输出之第一光束。其中,该输入单元以及该光栅系利用高能量光源对一光阻层进行曝光所形成。
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公开(公告)号:TWI489142B
公开(公告)日:2015-06-21
申请号:TW101131711
申请日:2012-08-31
申请人: 光子晶片有限公司 , PHOTON CHIP INC.
发明人: 柯正浩 , KO, CHENG HAO
CPC分类号: G02B5/1857 , B32B37/24 , B32B38/0008 , B32B38/0036 , B32B2037/243 , B32B2307/416 , B32B2310/0831 , B32B2310/085 , B32B2311/04 , B32B2311/18 , B32B2551/00 , G02B5/1861 , G02B6/12007 , G02B6/138 , G02B6/29307 , G02B6/29308 , G02B27/0944 , G03F7/0005 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/201 , G03F7/2022 , G03F7/2037
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公开(公告)号:TWI465861B
公开(公告)日:2014-12-21
申请号:TW101131710
申请日:2012-08-31
申请人: 光子晶片有限公司 , PHOTON CHIP INC.
发明人: 柯正浩 , KO, CHENG HAO
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G01J3/04 , G01J3/02 , G02B6/12007 , G02B6/138 , G02B6/29307 , G02B6/29308 , G02B6/2931 , G02B2006/12107 , G03F7/0005 , G03F7/16 , G03F7/2002 , G03F7/201 , G03F7/2024 , G03F7/203 , G03F7/2039 , G03F7/30
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