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    包含抗反射塗層的透明末端執行器的處理室
    4.
    发明专利
    包含抗反射塗層的透明末端執行器的處理室 审中-公开
    包含抗反射涂层的透明末端运行器的处理室

    公开(公告)号：TW202018839A

    公开(公告)日：2020-05-16

    申请号：TW108123795

    申请日：2019-07-05

    申请人： 美商瓦里安半導體設備公司 ,  VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.

    发明人： 佩敢堵 保羅 E ,  PERGANDE, PAUL E.

    IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  G02B1/115 ,  C09D1/00 ,  C09D5/00

    摘要： 例如末端執行器等的工件支撐件在其至少一個表面上塗布有抗反射材料。抗反射材料改善了光透過工件支撐件的透射。工件支撐件可設置在腔室中，加熱元件設置在工件支撐件下方，使得工件支撐件設置在加熱元件與工件之間。在某些實施例中，加熱元件可以是LED或鎢鹵素燈。抗反射材料允許從加熱元件到工件的更高效的能量傳遞。這可使得工件上的溫度均勻性改善。抗反射材料可以是氟化鎂或多層光學塗層。作為另一選擇，加熱元件可設置在工件上方。在此種情況下，自工件支撐件減少的反射可使工件設置在工件支撐件上方的部分上的溫度升高最小化。

    简体摘要： 例如末端运行器等的工件支撑件在其至少一个表面上涂布有抗反射材料。抗反射材料改善了光透过工件支撑件的透射。工件支撑件可设置在腔室中，加热组件设置在工件支撑件下方，使得工件支撑件设置在加热组件与工件之间。在某些实施例中，加热组件可以是LED或钨卤素灯。抗反射材料允许从加热组件到工件的更高效的能量传递。这可使得工件上的温度均匀性改善。抗反射材料可以是氟化镁或多层光学涂层。作为另一选择，加热组件可设置在工件上方。在此种情况下，自工件支撑件减少的反射可使工件设置在工件支撑件上方的部分上的温度升高最小化。

    用於載運低溫流體的旋轉管套節及工件處理系統
    7.
    发明专利
    用於載運低溫流體的旋轉管套節及工件處理系統 审中-公开
    用于载运低温流体的旋转管套节及工件处理系统

    公开(公告)号：TW202004944A

    公开(公告)日：2020-01-16

    申请号：TW108108294

    申请日：2019-03-12

    申请人： 美商瓦里安半導體設備公司 ,  VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.

    发明人： 米歇爾 羅伯特 ,  MITCHELL, ROBERT ,  費許 羅傑 B ,  FISH, ROGER B. ,  佩特爾 沙杜 S ,  PATEL, SHARDUL S.

    IPC分类号： H01L21/67

    摘要： 本發明公開一種包括經加熱鐵磁流體密封件的旋轉管套節。旋轉管套節包括內旋轉軸件、中間旋轉軸件及外旋轉軸件。內旋轉軸件是中空以允許低溫流體在一個方向上流動。內旋轉軸件與中間軸件間隔開以形成低溫流體返回的通道。中間旋轉軸件與外旋轉軸件通過間隙分隔開以減小熱導率。如此一來，外旋轉軸件的溫度高於低溫流體的溫度。經加熱鐵磁流體密封件設置在外旋轉軸件與殼體之間。

    简体摘要： 本发明公开一种包括经加热铁磁流体密封件的旋转管套节。旋转管套节包括内旋转轴件、中间旋转轴件及外旋转轴件。内旋转轴件是中空以允许低温流体在一个方向上流动。内旋转轴件与中间轴件间隔开以形成低温流体返回的信道。中间旋转轴件与外旋转轴件通过间隙分隔开以减小热导率。如此一来，外旋转轴件的温度高于低温流体的温度。经加热铁磁流体密封件设置在外旋转轴件与壳体之间。