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    基板之製造方法
    1.
    发明专利
    基板之製造方法 审中-公开
    基板之制造方法

    公开(公告)号：TW201706075A

    公开(公告)日：2017-02-16

    申请号：TW105114739

    申请日：2016-05-12

    申请人： 信越化學工業股份有限公司 ,  SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.

    发明人： 松井晴信 ,  MATSUI, HARUNOBU ,  原田大実 ,  HARADA, DAIJITSU ,  竹內正樹 ,  TAKEUCHI, MASAKI

    IPC分类号： B24B37/10 ,  B24B7/24

    摘要： 一種在基板尤其是合成石英玻璃基板之加工中，可抑制可能成為致命缺陷之基板表面缺陷，且不使用昂貴裝置或高精度壓盤，使用既有設備即可減低加工中之不良率，且可提高良率之基板之製造方法。 一種基板之製造方法，其包含如下步驟：將基板保持於設於下壓盤上之載具上形成之工件孔中，以對該基板表面塗佈衝擊吸收液之狀態邊旋轉下壓盤邊將上壓盤盤壓於上述基板表面，其次邊於上述基板表面添加研磨漿料邊使上下壓盤旋轉而研磨加工上述基板。

    简体摘要： 一种在基板尤其是合成石英玻璃基板之加工中，可抑制可能成为致命缺陷之基板表面缺陷，且不使用昂贵设备或高精度压盘，使用既有设备即可减低加工中之不良率，且可提高良率之基板之制造方法。 一种基板之制造方法，其包含如下步骤：将基板保持于设于下压盘上之载具上形成之工件孔中，以对该基板表面涂布冲击吸收液之状态边旋转下压盘边将上压盘盘压于上述基板表面，其次边于上述基板表面添加研磨浆料边使上下压盘旋转而研磨加工上述基板。

    基板之製造方法
    5.
    发明专利
    基板之製造方法 审中-公开
    基板之制造方法

    公开(公告)号：TW201338914A

    公开(公告)日：2013-10-01

    申请号：TW101142441

    申请日：2012-11-14

    申请人： 信越化學工業股份有限公司 ,  SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.

    发明人： 松井晴信 ,  MATSUI, HARUNOBU ,  原田大実 ,  HARADA, DAIJITSU ,  渡部厚 ,  WATABE, ATSUSHI ,  上田修平 ,  UEDA, SHUHEI ,  竹內正樹 ,  TAKEUCHI, MASAKI

    IPC分类号： B24B37/04

    CPC分类号： B24B37/042 ,  B24B37/044 ,  B24B37/24 ,  B24D3/28

    摘要： 本發明之解決手段為一種基板之製造方法，其特徵係使用接觸到基板、具有多數空孔的NAP層被以基底樹脂含醚樹脂之具有至少3種類樹脂形成之研磨布，包含使其伴隨研磨漿研磨基板表面的步驟。本發明之效果係根據本發明可以製造出基板表面缺陷數少、且被高平滑性化之基板。此外，由於可以延長研磨布的使用時間，所以連帶使生產成本降低及生產性提高。

    简体摘要： 本发明之解决手段为一种基板之制造方法，其特征系使用接触到基板、具有多数空孔的NAP层被以基底树脂含醚树脂之具有至少3种类树脂形成之研磨布，包含使其伴随研磨浆研磨基板表面的步骤。本发明之效果系根据本发明可以制造出基板表面缺陷数少、且被高平滑性化之基板。此外，由于可以延长研磨布的使用时间，所以连带使生产成本降低及生产性提高。

    合成石英玻璃蓋及光學元件用封裝
    7.
    发明专利
    合成石英玻璃蓋及光學元件用封裝 审中-公开
    合成石英玻璃盖及光学组件用封装

    公开(公告)号：TW201823176A

    公开(公告)日：2018-07-01

    申请号：TW106125223

    申请日：2017-07-27

    申请人： 日商信越化學工業股份有限公司 ,  SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.

    发明人： 松井晴信 ,  MATSUI, HARUNOBU ,  原田大実 ,  HARADA, DAIJITSU ,  竹內正樹 ,  TAKEUCHI, MASAKI

    IPC分类号： C03C27/00 ,  C22C45/00

    摘要： 本發明之解決手段為一種合成石英玻璃蓋，其係在由合成石英玻璃所構成之窗材之主表面的外周緣部具有接著劑之合成石英玻璃蓋，前述接著劑為含有碲及銀，且進一步含有選自由鎢、釩、磷、鋇及鋯所組成之群組的1種以上之低熔點金屬玻璃。 　　本發明之效果如下：根據本發明，可解決常見於以往所使用之有機系接著劑之由短波長的光所造成之破裂或剝離，或是金錫系等之具有緊密的金屬結晶結構之金屬系接著劑的弱項之不同種類材料接合時的應力問題。此外，使用此合成石英玻璃蓋之光學元件用封裝，在必將到來之用以取代汞燈之光學元件的登場時，可有效地用作為封裝材料。

    简体摘要： 本发明之解决手段为一种合成石英玻璃盖，其系在由合成石英玻璃所构成之窗材之主表面的外周缘部具有接着剂之合成石英玻璃盖，前述接着剂为含有碲及银，且进一步含有选自由钨、钒、磷、钡及锆所组成之群组的1种以上之低熔点金属玻璃。 　　本发明之效果如下：根据本发明，可解决常见于以往所使用之有机系接着剂之由短波长的光所造成之破裂或剥离，或是金锡系等之具有紧密的金属结晶结构之金属系接着剂的弱项之不同种类材料接合时的应力问题。此外，使用此合成石英玻璃盖之光学组件用封装，在必将到来之用以取代汞灯之光学组件的登场时，可有效地用作为封装材料。

    合成石英玻璃基板之製造方法
    9.
    发明专利
    合成石英玻璃基板之製造方法 审中-公开
    合成石英玻璃基板之制造方法

    公开(公告)号：TW201542474A

    公开(公告)日：2015-11-16

    申请号：TW104101668

    申请日：2015-01-19

    申请人： 信越化學工業股份有限公司 ,  SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.

    发明人： 松井晴信 ,  MATSUI, HARUNOBU ,  原田大実 ,  HARADA, DAIJITSU ,  竹內正樹 ,  TAKEUCHI, MASAKI

    IPC分类号： C03B20/00 ,  C03C19/00 ,  B24B29/02 ,  B24B37/10 ,  B24B37/24 ,  C09K3/14

    CPC分类号： B24B7/241 ,  C03C3/06 ,  C03C2204/08

    摘要： 本發明之解決手段為一種合成石英玻璃基板之製造方法，其特徵為在精密研磨前使合成石英玻璃基板浸漬於添加有界面活性劑之水溶液後，使用膠體氧化矽水分散液對合成石英玻璃基板進行精密研磨。 本發明效果為根據本發明，相較於利用使用了一般膠體氧化矽磨粒的研磨漿體之情況而言係使研磨速率提升，同時，基板表面的缺陷數減少，進而能夠製造面粗糙度較小的合成石英玻璃基板。此外，由於用來製造基板的時間減少，亦導致製造步驟的縮減化、成本降低。

    简体摘要： 本发明之解决手段为一种合成石英玻璃基板之制造方法，其特征为在精密研磨前使合成石英玻璃基板浸渍于添加有界面活性剂之水溶液后，使用胶体氧化硅水分散液对合成石英玻璃基板进行精密研磨。 本发明效果为根据本发明，相较于利用使用了一般胶体氧化硅磨粒的研磨浆体之情况而言系使研磨速率提升，同时，基板表面的缺陷数减少，进而能够制造面粗糙度较小的合成石英玻璃基板。此外，由于用来制造基板的时间减少，亦导致制造步骤的缩减化、成本降低。