公开(公告)号：TWI395028B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：TW094138144

申请日：2005-10-31

Applicant: 半導體能源研究所股份有限公司 ,  SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.

Inventor： 秋元健吾 ,  AKIMOTO, KENGO ,  丸山穗高 ,  MARUYAMA, HOTAKA ,  曾根寬人 ,  SONE, NORIHITO ,  池田壽雄 ,  IKEDA, HISAO ,  坂田淳一郎 ,  SAKATA, JUNICHIRO ,  瀨尾哲史 ,  SEO, SATOSHI

IPC: G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L27/124 ,  H01L27/3244 ,  H01L27/3258 ,  H01L51/5052 ,  H01L51/5218 ,  H01L2251/5315