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公开(公告)号：TWI608550B
公开(公告)日：2017-12-11
申请号：TW105135452
申请日：2016-11-02
发明人： 中村照幸 , NAKAMURA, TERUYUKI , 関野章良 , SEKINO, AKIRA , 谷口英広 , TANIGUCHI, HIDEHIRO
IPC分类号： H01L21/52
CPC分类号： H01L24/75 , H01L21/52 , H01L24/83 , H01L2224/29111 , H01L2224/29144 , H01L2224/751 , H01L2224/75251 , H01L2224/75272 , H01L2224/75281 , H01L2224/75283 , H01L2224/7565 , H01L2224/75744 , H01L2224/75745 , H01L2224/75756 , H01L2224/75804 , H01L2224/75824 , H01L2224/83048 , H01L2224/83065 , H01L2224/83075 , H01L2224/83192 , H01L2224/8321 , H01L2224/8322 , H01L2224/8323 , H01L2224/83411 , H01L2224/83444 , H01L2224/83815 , H01L2924/1011 , H01L2924/12042 , H01S5/02256 , H01S5/1039 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/0105
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公开(公告)号：TW201727777A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：TW105135452
申请日：2016-11-02
发明人： 中村照幸 , NAKAMURA, TERUYUKI , 関野章良 , SEKINO, AKIRA , 谷口英広 , TANIGUCHI, HIDEHIRO
IPC分类号： H01L21/52
CPC分类号： H01L24/75 , H01L21/52 , H01L24/83 , H01L2224/29111 , H01L2224/29144 , H01L2224/751 , H01L2224/75251 , H01L2224/75272 , H01L2224/75281 , H01L2224/75283 , H01L2224/7565 , H01L2224/75744 , H01L2224/75745 , H01L2224/75756 , H01L2224/75804 , H01L2224/75824 , H01L2224/83048 , H01L2224/83065 , H01L2224/83075 , H01L2224/83192 , H01L2224/8321 , H01L2224/8322 , H01L2224/8323 , H01L2224/83411 , H01L2224/83444 , H01L2224/83815 , H01L2924/1011 , H01L2924/12042 , H01S5/02256 , H01S5/1039 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/0105
摘要： 係將第2元件接合於第1元件之黏晶裝置，其包括：載置台，係將第1元件載置於載置區域；設置於載置台之下側的加熱器；側壁，係被設置成包圍載置台之載置區域；蓋，係具有第1及第2元件可通過之大小的孔，並被載置於側壁；筒夾，係藉由在前端部對第2元件進行真空夾住而可固持；移動機構，係使筒夾移動而使筒夾所固持之第2元件通過孔並被接合於第1元件；以及氣體供給管，係被設置於側壁，並向由側壁與蓋所形成的加熱空間供給加熱氣體；蓋係含有可將藉由加熱器及加熱氣體所產生之紅外線輻射反射或吸收．再輻射的材料。
简体摘要： 系将第2组件接合于第1组件之黏晶设备，其包括：载置台，系将第1组件载置于载置区域；设置于载置台之下侧的加热器；侧壁，系被设置成包围载置台之载置区域；盖，系具有第1及第2组件可通过之大小的孔，并被载置于侧壁；筒夹，系借由在前端部对第2组件进行真空夹住而可固持；移动机构，系使筒夹移动而使筒夹所固持之第2组件通过孔并被接合于第1组件；以及气体供给管，系被设置于侧壁，并向由侧壁与盖所形成的加热空间供给加热气体；盖系含有可将借由加热器及加热气体所产生之红外线辐射反射或吸收．再辐射的材料。
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