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公开(公告)号:TWI423592B
公开(公告)日:2014-01-11
申请号:TW099130479
申请日:2010-09-09
Inventor: 彭永州 , PENG, YUNG CHOW , 黃文宏 , HUANG, WEN HUNG , 林有為 , LIN, YU WEI
IPC: H03M1/12
CPC classification number: H03M1/002 , B81B7/008 , H03M1/0626 , H03M1/12 , H03M3/30
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2.微機電系統以及其操作方法 MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), SYSTEMS AND OPERATING METHODS THEREOF 审中-公开
Simplified title: 微机电系统以及其操作方法 MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEMS (MEMS), SYSTEMS AND OPERATING METHODS THEREOF公开(公告)号:TW201121248A
公开(公告)日:2011-06-16
申请号:TW099130479
申请日:2010-09-09
Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司
IPC: H03M
CPC classification number: H03M1/002 , B81B7/008 , H03M1/0626 , H03M1/12 , H03M3/30
Abstract: 一種微機電系統,包括:一微機械架構,用於產生一第一電信號;以及一類比數位轉換器(ADC),耦接該微機械架構,其中該微機電系統不包括任何放大器位於該微機械架構與該類比數位轉換器之間。
Abstract in simplified Chinese: 一种微机电系统,包括:一微机械架构,用于产生一第一电信号;以及一模拟数码转换器(ADC),耦接该微机械架构,其中该微机电系统不包括任何放大器位于该微机械架构与该模拟数码转换器之间。
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