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公开(公告)号：TW201712792A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105130981
申请日：2016-09-26
Inventor： 陳慶煌 , CHEN, CHING HUANG , 林書宏 , LIN, SHU HONG , 呂奎亮 , LU, KUEI LIANG , 張雅惠 , CHANG, YA HUI , 謝弘璋 , HSIEH, HUNG CHANG
IPC: H01L21/68
CPC classification number: G03F7/70141 , G03F7/70633 , G03F9/7076 , H01L22/12 , Y10S438/975
Abstract: 本發明實施例提供一種用於半導體製造的裝置。用於半導體製造的裝置包括基板和形成在基板上方的層，其中層包括對準標記。對準標記包括沿著第一方向縱向定向的第一複數個縱長構件，並且第一複數個縱長構件沿著第二方向分佈。對準標記還包括沿著與第一方向垂直的第三方向縱向定向的第二複數個縱長構件，並且第二複數個縱長構件沿著第二方向分佈，其中第二方向與第一方向和第三方向中的每一個都不同。
Abstract in simplified Chinese: 本发明实施例提供一种用于半导体制造的设备。用于半导体制造的设备包括基板和形成在基板上方的层，其中层包括对准标记。对准标记包括沿着第一方向纵向定向的第一复数个纵长构件，并且第一复数个纵长构件沿着第二方向分布。对准标记还包括沿着与第一方向垂直的第三方向纵向定向的第二复数个纵长构件，并且第二复数个纵长构件沿着第二方向分布，其中第二方向与第一方向和第三方向中的每一个都不同。
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公开(公告)号：TW201332021A
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW101123980
申请日：2012-07-04
Inventor： 余紹銘 , YU, SHAO MING , 張長昀 , CHANG, CHANG YUN , 張志豪 , CHANG, CHIH HAO , 陳欣志 , CHEN, HSIN CHIH , 張開泰 , CHANG, KAI TAI , 謝銘峯 , SHIEH, MING FENG , 呂奎亮 , LU, KUEI LIANG , 林以唐 , LIN, YI TANG
IPC: H01L21/336 , H01L27/088 , H01L29/78
CPC classification number: H01L29/7848 , H01L21/823807 , H01L21/823814 , H01L21/823821 , H01L21/823878 , H01L29/0653 , H01L29/0847 , H01L29/1608 , H01L29/161 , H01L29/165 , H01L29/41783 , H01L29/41791 , H01L29/66545 , H01L29/66636 , H01L29/66795 , H01L29/785
Abstract: 本發明提供了一種半導體結構。此半導體結構包括：一半導體基板；一隔離元件，形成於該半導體基板內；一第一主動區與一第二主動區，形成於該半導體基板內，其中該第一主動區與該第二主動區沿一第一方向沿伸並為該隔離元件所相分隔；以及一假閘極，設置於該隔離元件上，其中該假閘極沿著該第一方向自一側延伸至該第一主動區處以及自另一側延伸至該第二主動區處。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供了一种半导体结构。此半导体结构包括：一半导体基板；一隔离组件，形成于该半导体基板内；一第一主动区与一第二主动区，形成于该半导体基板内，其中该第一主动区与该第二主动区沿一第一方向沿伸并为该隔离组件所相分隔；以及一假闸极，设置于该隔离组件上，其中该假闸极沿着该第一方向自一侧延伸至该第一主动区处以及自另一侧延伸至该第二主动区处。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：TW201706889A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：TW104140488
申请日：2015-12-03
Inventor： 何育如 , HO, YU JU , 洪愛真 , HUNG, AI JEN , 謝弘璋 , HSIEH, HUNG CHANG , 呂奎亮 , LU, KUEI LIANG , 張雅惠 , CHANG, YA HUI
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5072 , G03F1/144 , G03F1/36 , G03F7/70433 , G03F7/70441 , G06F17/5081
Abstract: 本發明提供製作積體電路之方法的一實施例，包括接收包含第一主要部件的積體電路設計佈局，以及置入第一複數散色條於上述積體電路設計佈局，以形成圍繞於上述第一主要部件的第一環形圖案之散色條。上述第一主要部件係設置於上述第一環形圖案之散色條的一中央部分。
Abstract in simplified Chinese: 本发明提供制作集成电路之方法的一实施例，包括接收包含第一主要部件的集成电路设计布局，以及置入第一复数散色条于上述集成电路设计布局，以形成围绕于上述第一主要部件的第一环形图案之散色条。上述第一主要部件系设置于上述第一环形图案之散色条的一中央部分。
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公开(公告)号：TWI557584B
公开(公告)日：2016-11-11
申请号：TW103125647
申请日：2014-07-28
Inventor： 鄭文立 , CHENG, WEN LI , 池明輝 , CHIH, MING HUI , 唐于博 , TANG, YU PO , 江嘉評 , CHIANG, CHIA PING , 蔡正隆 , TSAI, CHENG LUNG , 林盛文 , LIN, SHENG WEN , 呂奎亮 , LU, KUEI LIANG , 黃文俊 , HUANG, WEN CHUN , 劉如淦 , LIU, RU GUN
CPC classification number: G06F17/5081 , G03F1/36
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公开(公告)号：TW201523309A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：TW103125647
申请日：2014-07-28
Inventor： 鄭文立 , CHENG, WEN LI , 池明輝 , CHIH, MING HUI , 唐于博 , TANG, YU PO , 江嘉評 , CHIANG, CHIA PING , 蔡正隆 , TSAI, CHENG LUNG , 林盛文 , LIN, SHENG WEN , 呂奎亮 , LU, KUEI LIANG , 黃文俊 , HUANG, WEN CHUN , 劉如淦 , LIU, RU GUN
CPC classification number: G06F17/5081 , G03F1/36
Abstract: 詳述包括執行OPC之積體電路設計之方法及系統。在一實施例中，提供具有一幾何特徵之設計資料。從該幾何特性形成一基底特徵，該幾何特性具有一實質線性邊緣。決定該基極層特性上之一虛擬切開點。從該基極層特性增加或修剪一多邊形以形成一修改特性。於該修改特性上執行一OPC程序以產生一輸出設計。該輸出設計用於製造一半導體基板上之一半導體裝置。
Abstract in simplified Chinese: 详述包括运行OPC之集成电路设计之方法及系统。在一实施例中，提供具有一几何特征之设计数据。从该几何特性形成一基底特征，该几何特性具有一实质线性边缘。决定该基极层特性上之一虚拟切开点。从该基极层特性增加或修剪一多边形以形成一修改特性。于该修改特性上运行一OPC进程以产生一输出设计。该输出设计用于制造一半导体基板上之一半导体设备。
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公开(公告)号：TWI619035B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW104140488
申请日：2015-12-03
Inventor： 何育如 , HO, YU JU , 洪愛真 , HUNG, AI JEN , 謝弘璋 , HSIEH, HUNG CHANG , 呂奎亮 , LU, KUEI LIANG , 張雅惠 , CHANG, YA HUI
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5072 , G03F1/144 , G03F1/36 , G03F7/70433 , G03F7/70441 , G06F17/5081
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公开(公告)号：TWI480958B
公开(公告)日：2015-04-11
申请号：TW101123980
申请日：2012-07-04
Inventor： 余紹銘 , YU, SHAO MING , 張長昀 , CHANG, CHANG YUN , 張志豪 , CHANG, CHIH HAO , 陳欣志 , CHEN, HSIN CHIH , 張開泰 , CHANG, KAI TAI , 謝銘峯 , SHIEH, MING FENG , 呂奎亮 , LU, KUEI LIANG , 林以唐 , LIN, YI TANG
IPC: H01L21/336 , H01L27/088 , H01L29/78
CPC classification number: H01L29/7848 , H01L21/823807 , H01L21/823814 , H01L21/823821 , H01L21/823878 , H01L29/0653 , H01L29/0847 , H01L29/1608 , H01L29/161 , H01L29/165 , H01L29/41783 , H01L29/41791 , H01L29/66545 , H01L29/66636 , H01L29/66795 , H01L29/785
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