公开(公告)号：TWI476960B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：TW100135713

申请日：2011-10-03

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 李孝文 ,  LEE, HSIAO WEN ,  蔡尚祐 ,  TSAI, SHANG YU ,  林天敏 ,  LIN, TIEN MING ,  陳其賢 ,  CHERN, CHYI SHYUAN ,  吳欣賢 ,  WU, HSIN HSIEN ,  劉福文 ,  LIU, FU WEN ,  賴懷恩 ,  LAI, HUAI EN ,  湯友聖 ,  TANG, YU SHENG

IPC: H01L33/48

CPC classification number: H01L33/54 ,  H01L33/44 ,  H01L33/504 ,  H01L33/507 ,  H01L33/56 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/1305 ,  H01L2924/13091 ,  H01L2933/005 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00014