公开(公告)号：TWI431778B

公开(公告)日：2014-03-21

申请号：TW100106853

申请日：2011-03-02

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 林宏達 ,  LIN, HUNG TA ,  傅竹韻 ,  FU, CHU YUN ,  黃信燁 ,  HUANG, SHIN YEH ,  楊淑婷 ,  YANG, SHU TINE ,  陳宏銘 ,  CHEN, HUNG MING

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L27/0886 ,  H01L21/02293 ,  H01L29/165 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7842 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/785 ,  H01L29/7855