公开(公告)号：TWI397964B

公开(公告)日：2013-06-01

申请号：TW100105312

申请日：2011-02-17

申请人： 宇芯(毛里求斯)控股有限公司 ,  UNISEM (MAURITIUS) HOLDINGS LIMITED

发明人： 聖 安東尼歐 洛瑪瑞可S ,  SAN ANTONIO, ROMARICO S. ,  麥凱雷恩 麥克H ,  MCKERREGHAN, MICHAEL H. ,  蘇巴喬 安納 ,  SUBAGIO, ANANG ,  多利加 安倫C ,  TORIAGA, ALLAN C.

IPC分类号： H01L21/50

CPC分类号： H01L24/73 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/16245 ,  H01L2224/32145 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/37 ,  H01L2224/37139 ,  H01L2224/37147 ,  H01L2224/40 ,  H01L2224/40245 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48145 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/48257 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/73221 ,  H01L2224/73263 ,  H01L2224/8385 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/351 ,  H01L2224/83 ,  H01L2224/85 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/84801 ,  H01L2224/8485