層合膜,及Ag合金濺鍍靶
    2.
    发明专利
    層合膜,及Ag合金濺鍍靶 审中-公开
    层合膜,及Ag合金溅镀靶

    公开(公告)号:TW202011420A

    公开(公告)日:2020-03-16

    申请号:TW108117025

    申请日:2019-05-17

    摘要: 一種具備Ag合金膜(11),與層合於該Ag合金膜(11)之一面或兩面的透明導電氧化物膜(12)之層合膜(10),其中,Ag合金膜(11),含有5.0原子%以上且13.0原子%以下之範圍內的Ge,剩餘部分為Ag及不可避免之雜質的組成,且Ag合金膜(11)之膜厚為3nm以上且10nm以下之範圍內。

    简体摘要: 一种具备Ag合金膜(11),与层合于该Ag合金膜(11)之一面或两面的透明导电氧化物膜(12)之层合膜(10),其中,Ag合金膜(11),含有5.0原子%以上且13.0原子%以下之范围内的Ge,剩余部分为Ag及不可避免之杂质的组成,且Ag合金膜(11)之膜厚为3nm以上且10nm以下之范围内。