鈀被覆銅接合線、線接合構造、半導體裝置及半導體裝置的製造方法
    1.
    发明专利
    鈀被覆銅接合線、線接合構造、半導體裝置及半導體裝置的製造方法 审中-公开
    钯被覆铜接合线、线接合构造、半导体设备及半导体设备的制造方法

    公开(公告)号:TW202030338A

    公开(公告)日:2020-08-16

    申请号:TW108104361

    申请日:2019-02-11

    摘要: 本發明提供一種鈀被覆銅接合線、其接合構造、半導體裝置及半導體裝置的製造方法,其在第一接合時不會產生縮孔,接合可靠度高,即使在高溫、高濕環境下亦可長期穩定地維持優良的接合可靠度。 本發明之線接合構造中,接合線係具有銅芯材與Pd層、且含有硫族元素的Pd被覆銅接合線;相對於銅、Pd與硫族元素的總和,Pd的濃度為1.0質量%~4.0質量%;硫族元素濃度共50質量ppm以下,S濃度為5質量ppm~2質量ppm,或是Se濃度為5質量ppm~20質量ppm,或是Te濃度為15質量ppm~50質量ppm以下;在半導體晶片上的包含Al之電極與球體接合部的接合面附近具有Pd濃化接合區域,其中該Pd濃化接合區域的Pd濃度相對於Al、銅與Pd的總和為2.0質量%以上。

    简体摘要: 本发明提供一种钯被覆铜接合线、其接合构造、半导体设备及半导体设备的制造方法,其在第一接合时不会产生缩孔,接合可靠度高,即使在高温、高湿环境下亦可长期稳定地维持优良的接合可靠度。 本发明之线接合构造中,接合线系具有铜芯材与Pd层、且含有硫族元素的Pd被覆铜接合线;相对于铜、Pd与硫族元素的总和,Pd的浓度为1.0质量%~4.0质量%;硫族元素浓度共50质量ppm以下,S浓度为5质量ppm~2质量ppm,或是Se浓度为5质量ppm~20质量ppm,或是Te浓度为15质量ppm~50质量ppm以下;在半导体芯片上的包含Al之电极与球体接合部的接合面附近具有Pd浓化接合区域,其中该Pd浓化接合区域的Pd浓度相对于Al、铜与Pd的总和为2.0质量%以上。

    滑動接點材料以及其製造方法
    6.
    发明专利
    滑動接點材料以及其製造方法 审中-公开
    滑动接点材料以及其制造方法

    公开(公告)号:TW201631163A

    公开(公告)日:2016-09-01

    申请号:TW104143867

    申请日:2015-12-25

    摘要: 本發明係滑動接點材料,其具有6.0質量%以上9.0質量%以下之Cu、0.1質量%以上2.0質量%以下之Ni、0.1質量%以上0.8質量%以下之添加元素M、其餘為Ag之組成。該添加元素M係選自Sm、La、Zr所成之群中之至少一種元素。本發明之滑動接點材料具有於Ag合金基質中分散有分散粒子之材料組織,該分散粒子包含至少含有Ni及添加元素M之兩者之金屬間化合物。該分散粒子中之Ni含量(質量%)與添加元素M之含量(質量%)之比率(KNi/KM)被要求在特定範圍內。本發明係耐磨耗性比以往更優異之Ag合金系之滑動接點材料,且係亦可對應於微型馬達之高旋轉數化之材料。

    简体摘要: 本发明系滑动接点材料,其具有6.0质量%以上9.0质量%以下之Cu、0.1质量%以上2.0质量%以下之Ni、0.1质量%以上0.8质量%以下之添加元素M、其余为Ag之组成。该添加元素M系选自Sm、La、Zr所成之群中之至少一种元素。本发明之滑动接点材料具有于Ag合金基质中分散有分散粒子之材料组织,该分散粒子包含至少含有Ni及添加元素M之两者之金属间化合物。该分散粒子中之Ni含量(质量%)与添加元素M之含量(质量%)之比率(KNi/KM)被要求在特定范围内。本发明系耐磨耗性比以往更优异之Ag合金系之滑动接点材料,且系亦可对应于微型马达之高旋转数化之材料。