公开(公告)号：TWI687523B

公开(公告)日：2020-03-11

申请号：TW105109033

申请日：2016-03-23

申请人： 日商三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

发明人： 齋藤淳 ,  SAITO, ATSUSHI ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN ,  塩野一郎 ,  SHIONO, ICHIRO

IPC分类号： C22C29/12 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  C22C1/04 ,  G02B1/00

公开(公告)号：TWI666333B

公开(公告)日：2019-07-21

申请号：TW104122043

申请日：2015-07-07

申请人： 日商三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

发明人： 梅本啓太 ,  UMEMOTO, KEITA ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN

IPC分类号： C22C9/00 ,  C23C14/34 ,  C22C1/04 ,  B22F1/00 ,  B22F3/14

公开(公告)号：TWI696715B

公开(公告)日：2020-06-21

申请号：TW105134436

申请日：2016-10-25

申请人： 日商三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION ,  日商太陽能邊陲股份有限公司 ,  SOLAR FRONTIER K. K.

发明人： 梅本啓太 ,  UMEMOTO, KEITA ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN ,  陸田雄也 ,  MUTSUDA, YUYA

IPC分类号： C22C9/00 ,  C22C1/02 ,  C22C1/04 ,  C23C14/34

公开(公告)号：TWI685477B

公开(公告)日：2020-02-21

申请号：TW105102710

申请日：2016-01-28

申请人： 日商三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

发明人： 歳森悠人 ,  TOSHIMORI, YUTO ,  齋藤淳 ,  SAITO, ATSUSHI ,  塩野一郎 ,  SHIONO, ICHIRO ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN

IPC分类号： C04B35/01 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  B32B15/04 ,  B32B9/04

公开(公告)号：TW201812061A

公开(公告)日：2018-04-01

申请号：TW106124834

申请日：2017-07-25

申请人： 日商三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

发明人： 梅本太 ,  UMEMOTO, KEITA ,  井尾謙介 ,  IO, KENSUKE ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN ,  塩野一郎 ,  SHIONO, ICHIRO

IPC分类号： C23C14/34 ,  C22C1/04 ,  C22C9/00 ,  B22F3/14 ,  H01L31/032

摘要： 本發明之Cu-Ga濺鍍靶係具有以下組成：作為金屬成分係含有Ga為5原子%以上、60原子%以下之範圍，進一步含有由K、Rb、Cs所成之群中選出的至少1種之添加元素為0.01原子%以上、5原子%以下之範圍，剩餘部分由Cu及不可避免的雜質所構成，前述添加元素的全部或一部分係以包含由F、Cl、Br及I所成之群中選出的至少1種鹵素之鹵化物粒子的狀態存在，前述鹵化物粒子之最大粒徑係設為15μm以下，氧濃度係設為1000質量ppm以下。

简体摘要： 本发明之Cu-Ga溅镀靶系具有以下组成：作为金属成分系含有Ga为5原子%以上、60原子%以下之范围，进一步含有由K、Rb、Cs所成之群中选出的至少1种之添加元素为0.01原子%以上、5原子%以下之范围，剩余部分由Cu及不可避免的杂质所构成，前述添加元素的全部或一部分系以包含由F、Cl、Br及I所成之群中选出的至少1种卤素之卤化物粒子的状态存在，前述卤化物粒子之最大粒径系设为15μm以下，氧浓度系设为1000质量ppm以下。

公开(公告)号：TWI697572B

公开(公告)日：2020-07-01

申请号：TW105123459

申请日：2016-07-25

申请人： 日商三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

发明人： 歳森悠人 ,  TOSHIMORI, YUTO ,  塩野一郎 ,  SHIONO, ICHIRO ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN

IPC分类号： C22C5/06 ,  C22C5/08 ,  C23C14/34 ,  C22F1/00 ,  C22F1/14

公开(公告)号：TWI653348B

公开(公告)日：2019-03-11

申请号：TW104128400

申请日：2015-08-28

申请人： 日商三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION ,  日商太陽能邊陲股份有限公司 ,  SOLAR FRONTIER K. K.

发明人： 梅本啓太 ,  UMEMOTO, KEITA ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN ,  井尾謙介 ,  IO, KENSUKE

IPC分类号： C22C9/00 ,  C22C27/00 ,  C22C1/04 ,  C23C14/14 ,  C23C14/34

公开(公告)号：TWI600777B

公开(公告)日：2017-10-01

申请号：TW102106207

申请日：2013-02-22

申请人： 三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

发明人： 張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN ,  梅本啓太 ,  UMEMOTO, KEITA ,  小路雅弘 ,  SHOJI, MASAHIRO

IPC分类号： C22C9/00 ,  C22C30/02 ,  C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  B22F3/10

CPC分类号： H01J37/3429 ,  B22F3/10 ,  B22F2201/20 ,  B22F2301/00 ,  B22F2999/00 ,  C22C1/0425 ,  C22C32/0089 ,  C23C14/0623 ,  C23C14/08 ,  C23C14/087 ,  C23C14/3414 ,  C23C14/35 ,  B22F3/1007

公开(公告)号：TWI576446B

公开(公告)日：2017-04-01

申请号：TW102137515

申请日：2013-10-17

申请人： 三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

发明人： 梅本啓太 ,  UMEMOTO, KEITA ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN

IPC分类号： C23C14/14 ,  C23C14/34 ,  C22C9/00 ,  C22F1/08 ,  B22F3/12

CPC分类号： H01J37/3426 ,  B22F3/10 ,  B22F3/14 ,  B22F3/15 ,  B22F3/24 ,  B22F2003/247 ,  C22C1/0425 ,  C22C9/00 ,  C22C28/00 ,  C23C14/3414

公开(公告)号：TW201710522A

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：TW105109033

申请日：2016-03-23

申请人： 三菱綜合材料股份有限公司 ,  MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION

发明人： 齋藤淳 ,  SAITO, ATSUSHI ,  張守斌 ,  ZHANG, SHOUBIN ,  塩野一郎 ,  SHIONO, ICHIRO

IPC分类号： C22C29/12 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34 ,  C22C1/04 ,  G02B1/00

摘要： 本發明提供濺鍍靶材，其特徵為含有Fe與Mo作為金屬元素，且前述金屬元素之一部分或全部以氧化物之形態存在，而且氧化物相中含有Fe-Mo-O系化合物。

简体摘要： 本发明提供溅镀靶材，其特征为含有Fe与Mo作为金属元素，且前述金属元素之一部分或全部以氧化物之形态存在，而且氧化物相中含有Fe-Mo-O系化合物。