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公开(公告)号:TWI700553B
公开(公告)日:2020-08-01
申请号:TW108106809
申请日:2015-09-02
Applicant: 日商住友化學股份有限公司 , SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
Inventor: 城内公之 , SHIROUCHI, KIMIYUKI
IPC: G03F7/031 , C09K11/07 , C08F2/46 , C08F291/18 , G02F1/01
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公开(公告)号:TWI683178B
公开(公告)日:2020-01-21
申请号:TW104128773
申请日:2015-09-01
Applicant: 日商住友化學股份有限公司 , SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
Inventor: 城内公之 , SHIROUCHI, KIMIYUKI
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公开(公告)号:TW201619707A
公开(公告)日:2016-06-01
申请号:TW104128965
申请日:2015-09-02
Applicant: 住友化學股份有限公司 , SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
Inventor: 城内公之 , SHIROUCHI, KIMIYUKI
IPC: G03F7/031 , C09K11/08 , G02F1/13357
CPC classification number: B82Y30/00 , C08F2/44 , C08F291/00 , C08F292/00 , F21V9/30 , G03F7/004 , G03F7/029 , G03F7/031 , H01L29/06
Abstract: 以光微影法,由以往的硬化性組成物形成硬化圖案時,有顯像後的硬化圖案之殘膜率偏低的問題。殘膜率係指下式(z)所表示之值。 殘膜率(%)=Td/Te×100 (z)[式(z)中,Td是表示硬化圖案之膜厚,Te是表示光照射後的組成物層之膜厚] 本發明係關於一種含有量子點、聚合起始劑及聚合性化合物的硬化性組成物,其中,聚合起始劑含有選自肟化合物、醯基膦化合物、三化合物及聯咪唑化合物所形成之群組中的至少一種。
Abstract in simplified Chinese: 以光微影法,由以往的硬化性组成物形成硬化图案时,有显像后的硬化图案之残膜率偏低的问题。残膜率系指下式(z)所表示之值。 残膜率(%)=Td/Te×100 (z)[式(z)中,Td是表示硬化图案之膜厚,Te是表示光照射后的组成物层之膜厚] 本发明系关于一种含有量子点、聚合起始剂及聚合性化合物的硬化性组成物,其中,聚合起始剂含有选自肟化合物、酰基膦化合物、三化合物及联咪唑化合物所形成之群组中的至少一种。
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公开(公告)号:TW201616223A
公开(公告)日:2016-05-01
申请号:TW104128773
申请日:2015-09-01
Applicant: 住友化學股份有限公司 , SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
Inventor: 城内公之 , SHIROUCHI, KIMIYUKI
CPC classification number: B82Y30/00 , C08F2/44 , C08F2/50 , C08F291/00 , C08F292/00 , F21V9/30 , G03F7/004 , H01L21/027
Abstract: 由以往之硬化性組成物以光蝕刻法形成硬化圖案時,會有顯像後之硬化圖案的殘膜率低的問題。該殘膜率係指以下式(z)所示之值。 殘膜率(%)=Td/Te×100 (z)[式(z)中,Td表示硬化圖案之膜厚,Te表示光照射後的組成物層之膜厚。] 本發明之硬化性組成物係含有:量子點、聚合起始劑、聚合性化合物及硫醇化合物。前述硬化性組成物中,硫醇化合物係分子內含2個以上的氫硫基之硫醇化合物。
Abstract in simplified Chinese: 由以往之硬化性组成物以光蚀刻法形成硬化图案时,会有显像后之硬化图案的残膜率低的问题。该残膜率系指以下式(z)所示之值。 残膜率(%)=Td/Te×100 (z)[式(z)中,Td表示硬化图案之膜厚,Te表示光照射后的组成物层之膜厚。] 本发明之硬化性组成物系含有:量子点、聚合起始剂、聚合性化合物及硫醇化合物。前述硬化性组成物中,硫醇化合物系分子内含2个以上的氢硫基之硫醇化合物。
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