公开(公告)号：TWI412090B

公开(公告)日：2013-10-11

申请号：TW095130764

申请日：2006-08-22

Applicant: 日立化成杜邦微系統股份有限公司 ,  HITACHI CHEMICAL DUPONT MICROSYSTEMS LTD.

Inventor： 小島康則 ,  KOJIMA, YASUNORI ,  板橋俊明 ,  ITABASHI, TOSHIAKI

IPC: H01L21/56 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L23/3171 ,  H01L21/563 ,  H01L23/3128 ,  H01L2224/0554 ,  H01L2224/05548 ,  H01L2224/05573 ,  H01L2224/056 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/32225 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2224/73204 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/0555 ,  H01L2224/0556

公开(公告)号：TWI386121B

公开(公告)日：2013-02-11

申请号：TW095130765

申请日：2006-08-22

Applicant: 日立化成杜邦微系統股份有限公司 ,  HITACHI CHEMICAL DUPONT MICROSYSTEMS LTD. ,  日立化成工業股份有限公司 ,  HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.

Inventor： 金谷雄一 ,  KANEYA, YUUICHI ,  田中俊明 ,  TANAKA, TOSHIAKI ,  板橋俊明 ,  ITABASHI, TOSHIAKI

IPC: H05K13/04

CPC classification number: H05K3/323 ,  H01L24/29 ,  H01L24/83 ,  H01L24/90 ,  H01L2224/2919 ,  H01L2224/2929 ,  H01L2224/293 ,  H01L2224/29311 ,  H01L2224/29339 ,  H01L2224/29344 ,  H01L2224/29347 ,  H01L2224/29355 ,  H01L2224/29357 ,  H01L2224/29369 ,  H01L2224/29384 ,  H01L2224/29387 ,  H01L2224/29388 ,  H01L2224/29393 ,  H01L2224/83101 ,  H01L2224/83851 ,  H01L2924/00013 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01045 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01051 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/0665 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/0781 ,  H01L2924/07811 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/15788 ,  H05K3/381 ,  H05K2203/095 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/3512 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/29099 ,  H01L2224/29199 ,  H01L2224/29299