公开(公告)号：TWI511854B

公开(公告)日：2015-12-11

申请号：TW102102990

申请日：2013-01-25

Applicant: 旭化成電子材料股份有限公司 ,  ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION

Inventor： 三田村哲理 ,  MITAMURA, YOSHIMICHI

IPC: B29C33/38 ,  H01L21/027 ,  G03F7/004

CPC classification number: B29C33/3842 ,  B29C33/38 ,  B29C33/42 ,  B29C59/002 ,  B29K2905/06 ,  B29L2031/757 ,  B81C99/0085 ,  C09K13/00 ,  C23F1/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/04 ,  G03F7/0755 ,  H01L21/0337 ,  Y10T428/24612

公开(公告)号：TWI448539B

公开(公告)日：2014-08-11

申请号：TW100101531

申请日：2011-01-14

Applicant: 旭化成電子材料股份有限公司 ,  ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION

Inventor： 中川義清 ,  NAKAGAWA, NORIKIYO ,  中田卓人 ,  NAKATA, TAKUTO ,  三田村哲理 ,  MITAMURA, YOSHIMICHI

IPC: C09K13/00 ,  H01L21/306

CPC classification number: C09K13/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/32134

公开(公告)号：TWI531086B

公开(公告)日：2016-04-21

申请号：TW102111965

申请日：2013-04-02

Applicant: 旭化成電子材料股份有限公司 ,  ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION

Inventor： 古池潤 ,  KOIKE, JUN ,  三田村哲理 ,  MITAMURA, YOSHIMICHI ,  山口布士人 ,  YAMAGUCHI, FUJITO

IPC: H01L33/20 ,  H01L33/22 ,  H01L21/306 ,  G01M11/00

CPC classification number: H01L33/58 ,  H01L21/0243 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02658 ,  H01L22/12 ,  H01L33/007 ,  H01L33/20 ,  H01L33/22 ,  H01L33/32

公开(公告)号：TWI592758B

公开(公告)日：2017-07-21

申请号：TW101143570

申请日：2012-11-21

Applicant: 旭化成電子材料股份有限公司 ,  ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION

Inventor： 三田村哲理 ,  MITAMURA, YOSHIMICHI ,  中田卓人 ,  NAKATA, TAKUTO

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/38 ,  B29C33/3857 ,  B29C33/424 ,  B29C59/022 ,  B29C2059/023 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C04B35/45 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0017 ,  G03F7/0043 ,  G03F7/32 ,  G03F7/322 ,  G11B7/14 ,  G11B7/261

公开(公告)号：TWI543959B

公开(公告)日：2016-08-01

申请号：TW098134816

申请日：2009-10-14

Applicant: 旭化成電子材料股份有限公司 ,  ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION

Inventor： 三田村哲理 ,  MITAMURA, YOSHIMICHI ,  古谷一之 ,  FURUYA, KAZUYUKI ,  中川義清 ,  NAKAGAWA, NORIKIYO ,  前田雅俊 ,  MAEDA, MASATOSHI

IPC: C07C19/10 ,  C08K3/10

CPC classification number: G11B7/261 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/31504 ,  Y10T428/31678

公开(公告)号：TWI417181B

公开(公告)日：2013-12-01

申请号：TW098103164

申请日：2009-01-23

Applicant: 旭化成電子材料股份有限公司 ,  ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION

Inventor： 鈴木勝 ,  SUZUKI, MASARU ,  三田村哲理 ,  MITAMURA, YOSHIMICHI ,  前田雅俊 ,  MAEDA, MASATOSHI

IPC: B29C33/38 ,  B23K26/18

CPC classification number: B29C33/424 ,  B29C33/3842 ,  B29C33/56 ,  B29K2833/04 ,  B29K2905/00 ,  B41C1/05 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C23C14/3407 ,  G03F7/0002 ,  H01J2237/281

公开(公告)号：TW201427928A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：TW103112018

申请日：2009-10-14

Applicant: 旭化成電子材料股份有限公司 ,  ASAHI KASEI E-MATERIALS CORPORATION

Inventor： 三田村哲理 ,  MITAMURA, YOSHIMICHI ,  古谷一之 ,  FURUYA, KAZUYUKI ,  中川義清 ,  NAKAGAWA, NORIKIYO ,  前田雅俊 ,  MAEDA, MASATOSHI

IPC: C07C19/10 ,  C08K3/10

CPC classification number: G11B7/261 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  Y10T428/31504 ,  Y10T428/31678

Abstract: 本發明之熱反應型抗蝕劑材料，其特徵在於：元素之氟化物之沸點為200℃以上。藉此，可實現對於用以形成凹槽深度較深之圖案的氟氯烴系氣體之乾式蝕刻具有較高之耐性的熱反應型抗蝕劑材料。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之热反应型抗蚀剂材料，其特征在于：元素之氟化物之沸点为200℃以上。借此，可实现对于用以形成凹槽深度较深之图案的氟氯烃系气体之干式蚀刻具有较高之耐性的热反应型抗蚀剂材料。