Patent search ap:("美商應用材料股份有限公司" OR "APPLIED MATERIALS Page INC.") AND inv:"迪先朵米奇歐"

1.

发明专利
用於腔室接口的氣體裝置、系統及方法有权
Simplified title: 用于腔室接口的气体设备、系统及方法

公开(公告)号：TWI693664B

公开(公告)日：2020-05-11

申请号：TW108113745

申请日：2014-09-25

Applicant: 美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： 馬帝瓦納根德拉 , MADIWAL, NAGENDRA V. , 迪寇提尼斯羅伯艾文 , DECOTTIGNIES, ROBERT IRWIN , 恩蓋葉安德魯 , NGUYEN, ANDREW , 魯特保羅B , REUTER, PAUL B. , 西可安琪拉R , SICO, ANGELA R. , 庫加爾麥可 , KUCHAR, MICHAEL , 莫瑞崔維斯 , MOREY, TRAVIS , 迪先朵米奇歐 , DISANTO, MITCHELL

IPC: H01L21/677

Patent Agency Ranking