公开(公告)号：TW201812705A

公开(公告)日：2018-04-01

申请号：TW106127070

申请日：2017-08-10

申请人： 美商澤塔儀器公司 ,  ZETA INSTRUMENTS, INC.

发明人： 許 詹姆士 建國 ,  XU, JAMES JIANGUO ,  索塔曼 隆尼 ,  SOETARMAN, RONNY ,  哈朵諾 布迪 ,  HARTONO, BUDI

IPC分类号： G06T15/08 ,  G06T7/521 ,  G01B11/06

CPC分类号： G02B21/244 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/26 ,  G02B21/367 ,  G06T7/0006 ,  G06T7/571 ,  G06T2207/10028 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10148 ,  G06T2207/30148

摘要： 一種產生三維資訊之方法包含：按預定步階變更樣本與光學顯微鏡之一物鏡之間的距離；在各預定步階處擷取一影像；判定各經擷取影像中之各像素之一特性值；針對各經擷取影像判定跨該經擷取影像中之所有像素之最大特性值；比較各經擷取影像之該最大特性值以判定各預定步階處是否存在該樣本之一表面；基於各經擷取影像中之各像素之該特性值判定聚焦在該樣本之一第一表面上之一第一經擷取影像；基於各經擷取影像中之各像素之該特性值判定聚焦在該樣本之一第二表面上之一第二經擷取影像；及判定該第一表面與該第二表面之間的一第一距離。

简体摘要： 一种产生三维信息之方法包含：按预定步阶变更样本与光学显微镜之一物镜之间的距离；在各预定步阶处截取一影像；判定各经截取影像中之各像素之一特性值；针对各经截取影像判定跨该经截取影像中之所有像素之最大特性值；比较各经截取影像之该最大特性值以判定各预定步阶处是否存在该样本之一表面；基于各经截取影像中之各像素之该特性值判定聚焦在该样本之一第一表面上之一第一经截取影像；基于各经截取影像中之各像素之该特性值判定聚焦在该样本之一第二表面上之一第二经截取影像；及判定该第一表面与该第二表面之间的一第一距离。