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公开(公告)号：TWI430444B
公开(公告)日：2014-03-11
申请号：TW096140090
申请日：2007-10-25
Applicant: 雷森公司 , RAYTHEON COMPANY
Inventor： 肯默 泰巴塔拜 , TABATABAIE, KAMAL , 羅伯特 霍洛克 , HALLOCK, ROBERT B.
IPC: H01L29/47 , H01L29/812 , H01L21/335
CPC classification number: H01L21/28587 , H01L29/66462
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