公开(公告)号：TWI582850B

公开(公告)日：2017-05-11

申请号：TW100120802

申请日：2011-06-15

申请人： 默克專利有限公司 ,  MERCK PATENT GMBH

发明人： 信德 尼那多 ,  SHINDE, NINAD ,  長原達郎 ,  NAGAHARA, TATSURO ,  高野祐輔 ,  TAKANO, YUSUKE

IPC分类号： H01L21/316 ,  H01L21/027

CPC分类号： H01L21/0214 ,  B05D3/065 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/122 ,  C23C18/14 ,  H01L21/02222 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02348

公开(公告)号：TWI549187B

公开(公告)日：2016-09-11

申请号：TW101105177

申请日：2012-02-17

申请人： 默克專利有限公司 ,  MERCK PATENT GMBH

发明人： 高野祐輔 ,  TAKANO, YUSUKE ,  長原達郎 ,  NAGAHARA, TATSURO ,  尼納度 辛迪 ,  NINAD, SHINDE ,  岩田孝文 ,  IWATA, TAKAFUMI

IPC分类号： H01L21/316 ,  H01L21/336

CPC分类号： H01L21/76224 ,  C23C18/1212 ,  C23C18/122 ,  C23C18/127 ,  C23C18/1291 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02222 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02323 ,  H01L21/02326 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：TWI505035B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：TW097150659

申请日：2008-12-25

申请人： 默克專利有限公司 ,  MERCK PATENT GMBH

发明人： 能谷剛 ,  NOYA, GO ,  秋山靖 ,  AKIYAMA, YASUSHI ,  高野祐輔 ,  TAKANO, YUSUKE

IPC分类号： G03F7/11 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/091 ,  C08F220/06 ,  C08F2220/1891 ,  G03F7/11

公开(公告)号：TWI515767B

公开(公告)日：2016-01-01

申请号：TW098110878

申请日：2009-04-01

申请人： 馬克專利公司 ,  MERCK PATENT GMBH

发明人： 雅達拉 大衛 ,  ABDALLAH, DAVID ,  丹摩 勞夫R ,  DAMMEL, RALPH R. ,  高野祐輔 ,  TAKANO, YUSUKE ,  李晉 ,  LI, JIN ,  黑澤和則 ,  KUROSAWA, KAZUNORI

IPC分类号： H01L21/027 ,  H01L21/3065 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/40 ,  H01L21/02123 ,  H01L21/02222 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0234 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/3125 ,  Y10T428/24802