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公开(公告)号:TWI630367B
公开(公告)日:2018-07-21
申请号:TW106117096
申请日:2017-05-24
申请人: 日商CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人: 石垣裕之 , ISHIGAKI, HIROYUKI , 間宮隆弘 , MAMIYA, TAKAHIRO
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公开(公告)号:TW201814243A
公开(公告)日:2018-04-16
申请号:TW106117096
申请日:2017-05-24
申请人: CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人: 石垣裕之 , ISHIGAKI, HIROYUKI , 間宮隆弘 , MAMIYA, TAKAHIRO
摘要: 提供一種利用波長不同的光,可達成測量範圍的擴大,並達成測量效率的提升之三維測量裝置。 三維測量裝置1具備有:偏光分光器20,將射入之預定的光分割成偏光方向彼此正交的兩道偏光,將其中一道偏光作為測量光照射到工件W,將另一道光作為參考光照射到參考面23,並且將該等光再度合成並射出;第1投光系統2A,令第1光射入該偏光分光器20的第1面20a;第2投光系統2B,令第2光射入偏光分光器20的第2面20b;第1攝像系統4A,可拍攝從偏光分光器20的第1面20a射出之上述第1光;及第2攝像系統4B,可拍攝從偏光分光器20的第2面20b射出之上述第2光。
简体摘要: 提供一种利用波长不同的光,可达成测量范围的扩大,并达成测量效率的提升之三维测量设备。 三维测量设备1具备有:偏光分光器20,将射入之预定的光分割成偏光方向彼此正交的两道偏光,将其中一道偏光作为测量光照射到工件W,将另一道光作为参考光照射到参考面23,并且将该等光再度合成并射出;第1投光系统2A,令第1光射入该偏光分光器20的第1面20a;第2投光系统2B,令第2光射入偏光分光器20的第2面20b;第1摄像系统4A,可拍摄从偏光分光器20的第1面20a射出之上述第1光;及第2摄像系统4B,可拍摄从偏光分光器20的第2面20b射出之上述第2光。
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