公开(公告)号：TWI454838B

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：TW097147941

申请日：2008-12-10

申请人： HAP機械手 自動化及精密技術有限公司

发明人： 安德瑞茲克 露特雅 ,  ANDRITZKE, LOTHAR ,  布羅薛 厚兒格爾 ,  BROSCHE, HOLGER ,  克律格爾 史蒂芬 ,  KRUEGER, STEFFEN ,  波拉克 史蒂芬 ,  POLLACK, STEFFEN ,  懷斯 克勞斯 彼得 ,  WEISS, KLAUS-PETER ,  葛萊茲薛爾 漢斯 約翰 ,  GREIZSCHEL, HANS-JOACHIM

IPC分类号： G03F1/62

CPC分类号： G03F1/64 ,  H01L21/68707 ,  Y10S156/922 ,  Y10S156/937 ,  Y10T156/1153 ,  Y10T156/1168 ,  Y10T156/1911 ,  Y10T156/1978