影像處理裝置
    1.
    发明专利
    影像處理裝置 审中-公开
    影像处理设备

    公开(公告)号:TW201729598A

    公开(公告)日:2017-08-16

    申请号:TW105104368

    申请日:2016-02-15

    Abstract: 一種影像處理裝置,包括影像傳輸率圖估測器、傳輸率圖優化器以及影像重建器。影像傳輸率圖估測器接收輸入影像,針對輸入影像的傳輸率進行估測並獲得估測傳輸率圖。傳輸率圖優化器接收估測傳輸率圖,並針對估測傳輸率圖進行多種不同程度的平滑化動作並藉以分別產生多數個平滑化估測傳輸率圖。傳輸率圖優化器並依據估測傳輸率圖及平滑化估測傳輸率圖來產生優化估測傳輸率圖。影像重建器接收優化估測傳輸率圖,並依據優化估測傳輸率圖重建輸入影像以產生輸出影像。

    Abstract in simplified Chinese: 一种影像处理设备,包括影像传输率图估测器、传输率图优化器以及影像重建器。影像传输率图估测器接收输入影像,针对输入影像的传输率进行估测并获得估测传输率图。传输率图优化器接收估测传输率图,并针对估测传输率图进行多种不同程度的平滑化动作并借以分别产生多数个平滑化估测传输率图。传输率图优化器并依据估测传输率图及平滑化估测传输率图来产生优化估测传输率图。影像重建器接收优化估测传输率图,并依据优化估测传输率图重建输入影像以产生输出影像。

    適應性局部臨限及色彩篩選
    2.
    发明专利
    適應性局部臨限及色彩篩選 审中-公开
    适应性局部临限及色彩筛选

    公开(公告)号:TW201514927A

    公开(公告)日:2015-04-16

    申请号:TW103127350

    申请日:2014-08-08

    Abstract: 本發明提供使用適應性局部臨限及色彩篩選來偵測一晶圓上之缺陷之方法及系統。一種方法包含:判定使用一檢測系統所產生之一晶圓之輸出中之像素的局部統計資料;基於該等局部統計資料來判定像素的哪些係離群點;及比較該等離群點與圍繞該等離群點之該等像素,以識別不屬於離群點之一群集之作為缺陷候選者之該等離群點。該方法亦包含:判定該等缺陷候選者之該等像素與圍繞該等缺陷候選者之該等像素之間之一色彩差異之一值。該方法進一步包含:識別具有大於或等於一預定值之該色彩差異之一值之作為擾亂點缺陷之該等缺陷候選者;及識別具有小於該預定值之該色彩差異之一值之作為真實缺陷之該等缺陷候選者。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供使用适应性局部临限及色彩筛选来侦测一晶圆上之缺陷之方法及系统。一种方法包含:判定使用一检测系统所产生之一晶圆之输出中之像素的局部统计数据;基于该等局部统计数据来判定像素的哪些系离群点;及比较该等离群点与围绕该等离群点之该等像素,以识别不属于离群点之一群集之作为缺陷候选者之该等离群点。该方法亦包含:判定该等缺陷候选者之该等像素与围绕该等缺陷候选者之该等像素之间之一色彩差异之一值。该方法进一步包含:识别具有大于或等于一预定值之该色彩差异之一值之作为扰乱点缺陷之该等缺陷候选者;及识别具有小于该预定值之该色彩差异之一值之作为真实缺陷之该等缺陷候选者。

    物品缺陷檢測方法、影像處理系統與電腦可讀取記錄媒體
    5.
    发明专利
    物品缺陷檢測方法、影像處理系統與電腦可讀取記錄媒體 审中-公开
    物品缺陷检测方法、影像处理系统与电脑可读取记录媒体

    公开(公告)号:TW201724017A

    公开(公告)日:2017-07-01

    申请号:TW104143977

    申请日:2015-12-28

    Abstract: 一種物品缺陷檢測方法、影像處理系統與電腦可讀取記錄媒體,此方法包括下列步驟。接收待測物品的測試影像及參考影像。取得測試影像中的測試區塊,並且自參考影像中取得對應的參考區塊,以分別產生測試區塊影像及參考區塊影像。將測試區塊影像及參考區塊影像分割為多個子區塊,再辨識及濾除干擾的子區塊,以產生已濾除測試區塊影像及已濾除參考區塊影像,進而取得偏移校正參數,以校正測試影像中的測試區塊,從而取得已校正測試區塊影像。將已校正測試區塊影像與參考區塊影像進行比對,以取得出待測物品對應於測試區塊的缺陷資訊。

    Abstract in simplified Chinese: 一种物品缺陷检测方法、影像处理系统与电脑可读取记录媒体,此方法包括下列步骤。接收待测物品的测试影像及参考影像。取得测试影像中的测试区块,并且自参考影像中取得对应的参考区块,以分别产生测试区块影像及参考区块影像。将测试区块影像及参考区块影像分割为多个子区块,再辨识及滤除干扰的子区块,以产生已滤除测试区块影像及已滤除参考区块影像,进而取得偏移校正参数,以校正测试影像中的测试区块,从而取得已校正测试区块影像。将已校正测试区块影像与参考区块影像进行比对,以取得出待测物品对应于测试区块的缺陷信息。

    用於利用一數位匹配濾波器之增強型缺陷偵測之系統及方法
    6.
    发明专利
    用於利用一數位匹配濾波器之增強型缺陷偵測之系統及方法 审中-公开
    用于利用一数码匹配滤波器之增强型缺陷侦测之系统及方法

    公开(公告)号:TW201626329A

    公开(公告)日:2016-07-16

    申请号:TW104137396

    申请日:2015-11-12

    Abstract: 一樣本之增強型缺陷偵測包含針對一第一光學模式自一樣本之兩個或兩個以上位置獲取來自該樣本之兩個或兩個以上檢驗影像。該缺陷偵測亦基於針對該第一光學模式來自該兩個或兩個以上位置之該兩個或兩個以上檢驗影像,針對一選定缺陷類型而產生一經匯總缺陷分佈,以及計算針對該第一光學模式自該兩個或兩個以上位置獲取之該兩個或兩個以上檢驗影像之一或多個雜訊相關性特性。缺陷偵測進一步包含基於該所產生之經匯總缺陷分佈及該所計算之一或多個雜訊相關性特性而產生用於該第一光學模式之一匹配濾波器。

    Abstract in simplified Chinese: 一样本之增强型缺陷侦测包含针对一第一光学模式自一样本之两个或两个以上位置获取来自该样本之两个或两个以上检验影像。该缺陷侦测亦基于针对该第一光学模式来自该两个或两个以上位置之该两个或两个以上检验影像,针对一选定缺陷类型而产生一经汇总缺陷分布,以及计算针对该第一光学模式自该两个或两个以上位置获取之该两个或两个以上检验影像之一或多个噪声相关性特性。缺陷侦测进一步包含基于该所产生之经汇总缺陷分布及该所计算之一或多个噪声相关性特性而产生用于该第一光学模式之一匹配滤波器。

    厚度的測量方法、圖像的處理方法和執行其的電子系統
    10.
    发明专利
    厚度的測量方法、圖像的處理方法和執行其的電子系統 审中-公开
    厚度的测量方法、图像的处理方法和运行其的电子系统

    公开(公告)号:TW201723427A

    公开(公告)日:2017-07-01

    申请号:TW105128182

    申请日:2016-09-01

    Abstract: 可基於結構的原始圖像來測量所述結構中的第一層的厚度。可在原始圖像中辨識第一層的第一邊界。可基於以下而辨識在原始圖像中實質上無法區分的第二邊界:基於第一邊界而將原始圖像轉換成第一圖像;以及基於對第一圖像進行過濾而產生第二圖像。可基於調整原始圖像的局部圖像部分以將第一邊界的表示形式與軸線對齊而產生第一圖像,進而使得第一圖像包括與軸線實質上平行地延伸的第一邊界的表示形式。可自第二圖像辨識第二邊界,且可基於所辨識第一邊界及所辨識第二邊界而確定所述層的厚度。

    Abstract in simplified Chinese: 可基于结构的原始图像来测量所述结构中的第一层的厚度。可在原始图像中辨识第一层的第一边界。可基于以下而辨识在原始图像中实质上无法区分的第二边界:基于第一边界而将原始图像转换成第一图像;以及基于对第一图像进行过滤而产生第二图像。可基于调整原始图像的局部图像部分以将第一边界的表示形式与轴线对齐而产生第一图像,进而使得第一图像包括与轴线实质上平行地延伸的第一边界的表示形式。可自第二图像辨识第二边界,且可基于所辨识第一边界及所辨识第二边界而确定所述层的厚度。

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