公开(公告)号：US06471831B2

公开(公告)日：2002-10-29

申请号：US09757552

申请日：2001-01-09

申请人： Jean Qing Lu ,  Tom Yu ,  Linda Stenzel ,  Jeffrey Tobin

发明人： Jean Qing Lu ,  Tom Yu ,  Linda Stenzel ,  Jeffrey Tobin

IPC分类号： C23C1435

CPC分类号： H01J37/342 ,  C23C14/358 ,  H01J37/3405

摘要： A PVD system comprises a hollow cathode magnetron with a downstream plasma control mechanism. The magnetron has a hollow cathode with a non-planar target and at least one electromagnetic coil to generate and maintain a plasma within the cathode. The magnetron also has an anode located between the cathode and a downstream plasma control mechanism. The control mechanism comprises a first, second and third electromagnetic coil beneath a mouth of the target, vertically spaced so as to form a tapered magnetic convergent lens between the target mouth and a pedestal of the magnetron.

摘要翻译： PVD系统包括具有下游等离子体控制机构的空心阴极磁控管。 磁控管具有具有非平面靶的中空阴极和至少一个电磁线圈，以在阴极内产生和维持等离子体。 磁控管还具有位于阴极和下游等离子体控制机构之间的阳极。 控制机构包括位于目标的嘴部下方的第一，第二和第三电磁线圈，其垂直间隔开，以便在目标嘴与磁控管的基座之间形成锥形磁会聚透镜。