公开(公告)号：US20070044715A1

公开(公告)日：2007-03-01

申请号：US11464000

申请日：2006-08-11

申请人： Manfred Blattner ,  Markus Winterhalter ,  Ekkehard Mann

发明人： Manfred Blattner ,  Markus Winterhalter ,  Ekkehard Mann

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： H03B28/00 ,  H01J37/32165 ,  H01J2237/0206

摘要： Generating drive signals of at least two RF power generators which supply RF power to a plasma process, in which at least two drive signals, each driving one RF power generator, are generated in an RF generator driver. Each drive signal is generated by a respective function generator, such as a digital sine generator, of the generator driver.

摘要翻译： 产生至少两个向等离子体处理提供RF功率的RF功率发生器的驱动信号，其中在RF发生器驱动器中产生驱动一个RF功率发生器的至少两个驱动信号。 每个驱动信号由发电机驱动器的相应功能发生器（例如数字正弦发生器）产生。

公开(公告)号：US07981306B2

公开(公告)日：2011-07-19

申请号：US11464000

申请日：2006-08-11

申请人： Manfred Blattner ,  Markus Winterhalter ,  Ekkehard Mann

发明人： Manfred Blattner ,  Markus Winterhalter ,  Ekkehard Mann

IPC分类号： B44C1/22 ,  H01L21/302

CPC分类号： H03B28/00 ,  H01J37/32165 ,  H01J2237/0206

摘要： Generating drive signals of at least two RF power generators which supply RF power to a plasma process, in which at least two drive signals, each driving one RF power generator, are generated in an RF generator driver. Each drive signal is generated by a respective function generator, such as a digital sine generator, of the generator driver.

摘要翻译： 产生至少两个向等离子体处理提供RF功率的RF功率发生器的驱动信号，其中在RF发生器驱动器中产生驱动一个RF功率发生器的至少两个驱动信号。 每个驱动信号由发电机驱动器的相应功能发生器（例如数字正弦发生器）产生。